JPH0225424B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は金属蒸気を基板に蒸着させる蒸着装
置の熱しや閉に関するものである。

〔従来技術〕

従来の蒸着装置に使用されているるつぼを第１
図は示す。図において、１はるつぼ、２は金属、
３は複数の小孔、４は金属蒸気、５はフイラメン
ト、６は電源、７は電源、８はグリツド、９はフ
イラメント、１０は電源、１１は電源、１２は加
速電極、１３は基板、１４は蒸着膜、１５は電
源、１６はシールド板、１７は真空容器である。

次に動作を説明する。第１図において、フイラ
メント５は電源６によつて加熱され、電源７によ
つて与えられた電圧により電子の衝突を受けてる
つぼ１は加熱される。るつぼ１内の金属２は蒸発
し、小孔３より真空中に噴射する。噴射された金
属蒸気４はフイラメント９、電源１０、グリツド
８によつて電子の衝突を受けてイオン化し、加速
電極１２と電源１５によつて金属蒸気４は加速さ
れ、基板１３に射突し蒸着膜１４を作る。この
時、るつぼ１は高温になり輻射熱が周囲に放出さ
れる。

このため、るつぼ１の外周には輻射熱を反射さ
せるシールド板１６を側面と底部に配置してお
り、上部は加速電極１２を熱シールド板と共用す
る。しかし、加速電極１２はるつぼ１より離れた
位置であるため金属蒸気４が広がつて通るための
開口部が大きくとられている。このためるつぼ１
の噴射面からの輻射熱は開口部通り基板１３に到
達して、加熱することになるので、基板１３を冷
す必要がある。

〔発明の実施例〕

本発明は上記のような欠点をなくすため、るつ
ぼ１から噴出する面上の近傍に小孔３から噴出す
る金属蒸気４をさまたげない第３図に示すような
細長い長方形の穴をあけた断熱材を上面にはり付
け輻射熱が基板に直接届かないようにして、基板
の熱影響を小さくしたものである。

第２図において、２１は断熱材、２２は断熱材
２１に設けた細長い長方形の穴である。その他は
従来と同じである。

るつぼ１の小孔３から噴出する金属蒸気は、小
孔２２を通るが、この穴の面積は小さく、るつぼ
１からの輻射熱のほとんどが遮へいされる。

第４図は他の実施例を示すもので、断熱材２３
の開口部は干鳥足状に配列され上面に向つて拡開
した円錐状の複数個の穴２４で形成されている。
これによつて、るつぼの小孔間の距離を大きくで
きるので、穴明け加工が容易になる。また、蒸着
中の熱応力による割れも少なくなる。なお、穴２
４は円錐状でなく、円筒状の穴でもよい。

〔発明の効果〕

この発明によると、断熱材でるつぼからの輻射
熱のほとんどが遮ぎられるので、基板に到達する
熱が非常に少なくなるため、基板への熱の影響を
低減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の薄膜形成装置を示す構成図、第
２図は本発明の一実施例を示す構成図、第３図は
第２図の主要部を示す斜視図、第４図はこの発明
の他の実施例を示す斜視図である。 図において、１はるつぼ、１２は加速電極、１
３は基板、２１は断熱材、２２は穴である。な
お、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 真空中でるつぼ内の金属を高温で溶融し、上
   記るつぼ内の溶融金属の蒸気を複数個の小孔から
   真空中に噴射してイオン化し、イオン化された金
   属蒸気をさらに加速して基板に衝突させて上記基
   板に薄膜を形成させるものにおいて、開口部をも
   つた断熱材で上記るつぼの上面を被い、上記小孔
   を上記断熱材の開口部に連通するように配列した
   ことを特徴とする薄膜形成装置。 ２ 断熱材の開口部は長方形でるつぼの小孔が複
   数個配列されていることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の薄膜形成装置。 ３ 断熱材の開口部は干鳥足状に配置されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄
   膜形成装置。