JPH02265257A - Ｉｃウエハーの収納容器 - Google Patents
Ｉｃウエハーの収納容器Info
- Publication number
- JPH02265257A JPH02265257A JP1085694A JP8569489A JPH02265257A JP H02265257 A JPH02265257 A JP H02265257A JP 1085694 A JP1085694 A JP 1085694A JP 8569489 A JP8569489 A JP 8569489A JP H02265257 A JPH02265257 A JP H02265257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- monomer
- resin
- unsaturated nitrile
- acrylonitrile
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
を産業上の利用分野〕
本発明は、ＩＣウェハーの収納容器に関するものであり
、詳しくは耐薬品性に優れ、ＩＣウェハーを汚染しない
ＩＣウェハーの収納容器に関するものである。
、詳しくは耐薬品性に優れ、ＩＣウェハーを汚染しない
ＩＣウェハーの収納容器に関するものである。
従来、ＩＣウェハー（以下ウニ・バーと略す）は保管あ
るいは輸送中に酸化するため、再研磨しアセトン、トリ
クレン、イソプロピルアルコール等の溶剤で洗浄する。
るいは輸送中に酸化するため、再研磨しアセトン、トリ
クレン、イソプロピルアルコール等の溶剤で洗浄する。
熱風乾燥後、ポリエチレン、ポリプロピレン等の容器に
収納し次の工程に運ばれる。
収納し次の工程に運ばれる。
しかしながら、アセトン、トリクレン、イソプロピルア
ルコール等の溶剤は熱風乾燥により完全には飛散しがた
く、ウェハーに残り、収納容器に付着する。従来のポリ
エチレン、ポリプロピレン製の収納容器では付着した溶
剤により膨潤する。
ルコール等の溶剤は熱風乾燥により完全には飛散しがた
く、ウェハーに残り、収納容器に付着する。従来のポリ
エチレン、ポリプロピレン製の収納容器では付着した溶
剤により膨潤する。
溶剤により膨潤した部分は、溶剤が残存し、さらには、
樹脂から溶剤に可溶な物質が滲出する。このような容器
をウェハーの収納に用いた場合、乾燥後のウェハーを汚
染してしまう問題が未解決であった。
樹脂から溶剤に可溶な物質が滲出する。このような容器
をウェハーの収納に用いた場合、乾燥後のウェハーを汚
染してしまう問題が未解決であった。
本発明の目的は、耐薬品性に優れ、ＩＣウェハーを汚染
しないＩＣウェハーの収納容器を提供することにある。
しないＩＣウェハーの収納容器を提供することにある。
本発明者らは、かかる問題を解決する為鋭意検討した結
果、ＩＣウェハーの収納容器として特定の樹脂を使用す
ることにより、溶剤の残留、膨潤防止が可能となり、ウ
ェハーの汚染を防止できることを見出し、遂に本発明を
完成した。
果、ＩＣウェハーの収納容器として特定の樹脂を使用す
ることにより、溶剤の残留、膨潤防止が可能となり、ウ
ェハーの汚染を防止できることを見出し、遂に本発明を
完成した。
すなわち、本発明は、不飽和ニトリル単量体含有率が５
０重量％以上である高二） ＩＪル樹脂を成形してなる
ことを特徴とするＩｃウェハーの収納容器である。
０重量％以上である高二） ＩＪル樹脂を成形してなる
ことを特徴とするＩｃウェハーの収納容器である。
本発明で用いる高ニトリル樹脂とは、アクリロニトリル
、メタクリレートリルなどの不飽和ニトリル単量体を主
体とする共重合体であって、不飽和ニトリル単量体骨を
５ｏｆｆｌｆｆｉ％以上、好ましくは５５重量％以上含
むものである。
、メタクリレートリルなどの不飽和ニトリル単量体を主
体とする共重合体であって、不飽和ニトリル単量体骨を
５ｏｆｆｌｆｆｉ％以上、好ましくは５５重量％以上含
むものである。
不飽和ニトリル単量体と共重合しうる単量体としては、
スチレン、ブタジェン、イソプレン、メチルアクリレー
ト、エチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチ
ルメタアクリレートなどが挙げられ、これらの１種以上
を不飽和ニトリル単量体と共重合させる。
スチレン、ブタジェン、イソプレン、メチルアクリレー
ト、エチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチ
ルメタアクリレートなどが挙げられ、これらの１種以上
を不飽和ニトリル単量体と共重合させる。
また、高ニトリル樹脂としては、ブタジェン−アクリロ
ニトリル共重合体、インブレン−アクリロニトリル共重
合体５ブタジエン−スチレン共重合体、ポリブタジェン
、ポリイソプレンなどのゴム状重合体と上記共重合体と
の混合物、およびこれらのゴム状重合体の存在下に不飽
和ニトリル単量体と上記共重合性単量体をグラフト重合
させたものも使用可能である。特に、アクリロニトリル
単量体含有量が５０重量％以上であり、かつ多量のアク
リロニトリル単量体と該アクリロニトリル単量体と共重
合性を有する単量体との混合物を共役ジエン系合成ゴム
の存在下で重合して製造したものが加工性、耐１１ｔＮ
性などのバランスが良く、かつ、耐薬品性も良好である
ので好ましい。
ニトリル共重合体、インブレン−アクリロニトリル共重
合体５ブタジエン−スチレン共重合体、ポリブタジェン
、ポリイソプレンなどのゴム状重合体と上記共重合体と
の混合物、およびこれらのゴム状重合体の存在下に不飽
和ニトリル単量体と上記共重合性単量体をグラフト重合
させたものも使用可能である。特に、アクリロニトリル
単量体含有量が５０重量％以上であり、かつ多量のアク
リロニトリル単量体と該アクリロニトリル単量体と共重
合性を有する単量体との混合物を共役ジエン系合成ゴム
の存在下で重合して製造したものが加工性、耐１１ｔＮ
性などのバランスが良く、かつ、耐薬品性も良好である
ので好ましい。
なお、不飽和ニトリル単量体含有量が５０重量％未満で
は耐薬品性が不足し易く容器が膨潤されやすくなるので
好ましくない。
は耐薬品性が不足し易く容器が膨潤されやすくなるので
好ましくない。
本発明に用いる収納容器は、上記高ニトリル樹脂を通常
のＴダイ押出法、カレンダー法、インフレーション法等
により成形して得られたシートを真空成形、圧空成形な
どすることにより製造される。また、上記樹脂を直接射
出成形などすることにより製造することも出来る。高ニ
トリル樹脂は、容易に深絞りが可能で、種々の形状、例
えば円、四角、六角、等の容器を容易に得ることが出来
る。
のＴダイ押出法、カレンダー法、インフレーション法等
により成形して得られたシートを真空成形、圧空成形な
どすることにより製造される。また、上記樹脂を直接射
出成形などすることにより製造することも出来る。高ニ
トリル樹脂は、容易に深絞りが可能で、種々の形状、例
えば円、四角、六角、等の容器を容易に得ることが出来
る。
本発明の収納容器の壁の厚さは、内容量、必要強度等に
より変わるが、通常０．０５〜５Ｉ＋ｌｆｆ１が適当で
あり、好ましくは０．１〜１誦ｍである。 ０．０５ｍ
ｍ未満では剛性が不足し昌（、また、５１を越えでも良
いが作業性が不良となったり、コストアップの原因とな
るので好ましくない。
より変わるが、通常０．０５〜５Ｉ＋ｌｆｆ１が適当で
あり、好ましくは０．１〜１誦ｍである。 ０．０５ｍ
ｍ未満では剛性が不足し昌（、また、５１を越えでも良
いが作業性が不良となったり、コストアップの原因とな
るので好ましくない。
以下、実施例により本発明を説明する。
実施例Ｉ
ブタジェン−アクリロニトリルゴム状共重合体（ブタジ
ェン含量７０重量％）１０重量部の存在下にアクリロニ
トリル７５重量部とメチルヌクアクリレート２５重量部
の混合物を乳化重合して得た高ニトリル樹脂（アクリロ
ニトリル含量、約７０重量％、窒素分析値による。）を
用い、押出し法により厚み０．７ｍｍのシートを得た。
ェン含量７０重量％）１０重量部の存在下にアクリロニ
トリル７５重量部とメチルヌクアクリレート２５重量部
の混合物を乳化重合して得た高ニトリル樹脂（アクリロ
ニトリル含量、約７０重量％、窒素分析値による。）を
用い、押出し法により厚み０．７ｍｍのシートを得た。
このシートを真空成形して深さ１５ｃ＋＊の収納容器を
製造した。この容器を洗浄溶剤としてアセトンに２３°
Ｃで２週間浸漬をｆテった０次いで該容器に４インチの
ミラーウェハーを収納し、３０分後にウェハーの塵の付
着状況および酸化を調べた。塵の付着量の測定結果を第
１表に、酸化評価結果を第２表に示す。
製造した。この容器を洗浄溶剤としてアセトンに２３°
Ｃで２週間浸漬をｆテった０次いで該容器に４インチの
ミラーウェハーを収納し、３０分後にウェハーの塵の付
着状況および酸化を調べた。塵の付着量の測定結果を第
１表に、酸化評価結果を第２表に示す。
実施例２
溶剤としてトリクレンを用いる他は実施例１を繰り返し
た。結果を第１表および第２表に示す。
た。結果を第１表および第２表に示す。
実施例３
樹脂としてブタジェン−アクリロニトリルゴム状重合体
（ブタジェン含ＷＬ８０重量％）１０重量部の存在下に
アクリロニトリル７０重量部、メチルメタクリレ−１５
重量部およびスチレン５重量部からなる混合物を重合し
て高ニトリル樹脂（アクリロニトリル分約６５重量％、
窒素分析による。）を用いる他は実施例１を繰返した。
（ブタジェン含ＷＬ８０重量％）１０重量部の存在下に
アクリロニトリル７０重量部、メチルメタクリレ−１５
重量部およびスチレン５重量部からなる混合物を重合し
て高ニトリル樹脂（アクリロニトリル分約６５重量％、
窒素分析による。）を用いる他は実施例１を繰返した。
結果を第１表および第２表に示す。
比較例１
樹脂として通常のポリエチレンを用いる他は実施例１を
繰返した。結果を第１表および第２表に示す。
繰返した。結果を第１表および第２表に示す。
比較例２
溶剤としてトリクレンを用いる他は比較例１を繰り返し
た。結果を第１表および第２表に示す。
た。結果を第１表および第２表に示す。
比較例３
樹脂として通常のポリプロピレンを用いる他は実施例１
を繰返した。結果を第１表および第２表に示す。
を繰返した。結果を第１表および第２表に示す。
第１表
ウェハー表面塵付着量
クリーン度二クラス１０００のクリーンルーム内にて測
定した。
定した。
：日立エンジニアリング製
レーザー表面検査装置＋１ＬＤ３００Ｂ測定装置
第２表
ウェハー表面酸化測定結果
〔発明の効果〕
本発明のＩＣウェハーの収納容器は耐薬品性に優れ、溶
剤による膨潤がなく、ＩＣウェハーの汚染が防止され、
ＩＣメーカーの作業能率アンプに寄与すること大である
。
剤による膨潤がなく、ＩＣウェハーの汚染が防止され、
ＩＣメーカーの作業能率アンプに寄与すること大である
。
特許出願人 三井東圧化学株式会社
数値は各元素のスペクトルの面積を示す。
測定条件
装置 ＝ＶＧ社製 ＥＳＣＡル八Ｂ、へＫ ＩｆＸ線源
：Ｍｇ−にα Ｘ線出カニ ３００Ｗ
：Ｍｇ−にα Ｘ線出カニ ３００Ｗ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、不飽和ニトリル単量体含有率が５０重量％以上であ
る高ニトリル樹脂を成形してなることを特徴とするＩＣ
ウェハーの収納容器。 ２、高ニトリル樹脂がアクリロニトリル単量体と該アク
リロニトリル単量体と共重合性を有する単量体との混合
物を共役ジエン系合成ゴムの存在下で重合して製造した
ものである請求項１記載のＩＣウェハーの収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1085694A JP2507803B2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | Ｉｃウエハ―の収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1085694A JP2507803B2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | Ｉｃウエハ―の収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02265257A true JPH02265257A (ja) | 1990-10-30 |
| JP2507803B2 JP2507803B2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=13865940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1085694A Expired - Lifetime JP2507803B2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | Ｉｃウエハ―の収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2507803B2 (ja) |
-
1989
- 1989-04-06 JP JP1085694A patent/JP2507803B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2507803B2 (ja) | 1996-06-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090416 Year of fee payment: 13 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |