JPH02278120A - 1トラック型アブソリュートエンコーダ用符号板及び読取ヘッド - Google Patents

1トラック型アブソリュートエンコーダ用符号板及び読取ヘッド

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JPH02278120A
JPH02278120A JP1098691A JP9869189A JPH02278120A JP H02278120 A JPH02278120 A JP H02278120A JP 1098691 A JP1098691 A JP 1098691A JP 9869189 A JP9869189 A JP 9869189A JP H02278120 A JPH02278120 A JP H02278120A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、1トラック型アブソリュートエンコーダ用
符号板及び読取ヘッドに関する。
[従来の技術] 特開昭54−118259号公報には、二列以上の磁化
パターンのトラックをもつ符号板と、磁気抵抗効果素子
 (Magnetoresistive Elemen
し:以下MR素子という)をセンサとした読取ヘッドと
を組合せた磁気式のアブソリュートエンコーダが示され
ている。
一般にこの種のアブソリュートエンコーダでは2Nの分
解能を得るにはアブソリュートパターンとして最低N木
のトラックが必要であり、符号板が円盤型であれば、複
数のトラックが同心円状に配列される。例えばN=4の
場合、円盤型符号板には四本の円形トラックが同心円状
に設けられ、これらのトラックに、磁化の方向による「
0」と「lJの二進符号のアブソリュートパターンが形
成される。夫々のトラックにはMR素子からなるセンサ
が割当られ、符号板がその中心口りに前記センサと相対
的に回転するのに伴って、符号板の任意の回転位置にて
得られる各センサの出力の組合せが符号板の絶対的な回
転位置を与えるコード信号になるようにしである。
一方、特開昭57−175211号公報または実開昭6
0−152916号公報には、「0」信号と「1」信号
に対応する二種の最小読取単位、つまり磁気式の場合で
は磁気を持つ最小読取単位と磁気を持たない最小読取単
位とを所定の配列で1トラック上に並べてなる符号板と
、この符号板と相対移動可能でトラック長さ方向に配置
された複数のセンサからなる読取ヘッドとを備え、各セ
ンサから出力される信号列を二進コードとして絶対位置
を検出する磁気式又は光学式の1トラック型アブソリユ
ートエンコーダが示されている。
この上うな1トラック型アブソリユートエンコーダでは
、磁気式であれ、光学式であれ、複数のセンサで対応す
る複数の最小読取単位(符号)を同時に読む場合、仮に
それらの符号の中に「0」から「1」又は「1」から「
0」へと変化したばかりの符号を2個以上含むとすると
、符号板のパターン精度又は読取ヘッドのセンサ配置パ
ターン精度が低い(逆に高精度の符号板や読取ヘッドは
製造が難しく実用的ではない)ため、複数のセンサが同
時に変化後の符号を常に読取るとは限らない。つまり、
一方のセンサは変化前の符号を読取り、他方のセンサは
変化後のセンサを読取ることがある。
そうすると、読取られた二進コードの中に仮に1個の読
み誤りがあるとすると、1トラック型の場合、絶対位置
の変化と二進コードの変化との間には規則性がないため
に、とんでもない絶対位置が検出されることになる。そ
の結果、読取精度が低下する。
この問題の一つの解決策として本発明者らは、先に同一
または併設の符号板」二に1トラック型アブソリユート
パターンと平行にインクリメンタルパターンのトラック
を設け、このインクリメンタルトラックを利用して作っ
たクロック信号をストローブ信号に用いてラッチ回路を
動作させることにより、複数のセンサがそれぞれ最小読
取単位のほぼ中央部に位置した時に同時に読取ってアブ
ソリュート出力(二進コード)を得る方式を発明した(
特願昭63−170782) ’e また、前記複数の
センサに代えて原則として1個のセンサで複数の最小読
取単位を時系列的に読取って、その後、直列・並列デー
タ変換を行い、これによって先の発明と同じアブソリュ
ート出力を得る方式(特願昭63−171922)を発
明した。
一例として、前者の方式の概要を第8図(a) (b)
に示す。
この第8図(a)の例はスケール目盛数が24=16 
(N=4)パルスの光学式の例で、円盤型符号板101
に1トラック型のアブソリュートパターンのトラック1
02とインクリメンタルトラック103が製作されてい
る。トラック102のアブソリュートパターンは、 roooollolollllooM になっている。104−、〜104−aは、トラック1
02の読取用の光センサであり、これにより4ビツトの
二進コードからなるアブソリュート信号を得る。インク
リメンタルトラック103は別の光センサ105によっ
て読取られる。尚、106は符号板1の回転軸心である
第8図(b)は、これらセンサによる読取結果を処理す
る出力回路の例を示したもので、センサ105からのイ
ンクリメンタル信号と、センサ104−1〜104−、
かうのアブソリュート信号とを、各々パルス整形回路1
10.1io−、〜110−4で矩形波に波形整形し、
その後、アブソリュート信号はそのままラッチ回路11
4へ入力し、インクリメンタルパルスはワンショット回
路112へ人力してその立上りと立下りの両方の時点で
クロックパルスを発生させ、これをラッチ回路114の
ストローブ信号として使用する。この場合、前記クロッ
クパルスはアブソリュート信号を構成する単位パルスの
パルス幅の略中夫の時点(センサが最小読取単位の中央
部に位置した時点)にて立上るようにしである。ラッチ
回路114はクロックパルスが到来する度にその時のア
ブソリュート信号のパルスの高低レベル(このレベルの
高と低が「0」 「1」信号の一方及び他方に相当する
)を読取り、つぎのクロックが入るまでその値をラッチ
して、出力端子116−、〜116−4に出力し続ける
[発明が解決しようとする課題] このようなラッチ方式によって前述の1トラック型アブ
ソリユートエンコーダ出力の読取精度低下は回避された
が、今度は同期用のクロック信号を得るために必要なイ
ンクリメンタルパターンのトラックをアブソリュートパ
ターンのトラックと別に設けなければならないため、エ
ンコーダ組立時に両者間の高精度な位相調整を行なう必
要があり、これが組立を難しくし、製造コストを高くす
るという問題点を生じた。そのほか同一符号板に2つの
トラックを設ける場合には符号板が小型化できないとい
う第2の問題点もあった。
[課題を解決するための手段] そこで本発明は、そのような符号板において二種の最小
読取単位の少なくとも一方について、その信号確定部を
単位の長さ部分の全体ではなく一部とし、それらの間の
間隙部分を利用して同一トラック上に同期信号用の一部
ピッチの読取マークを形成したものである。
[作 用] 本発明において、アブソリュート信号における信号確定
部とは、その単位が「0」信号を表わすのか「1」信号
を表わすのかを確定する領域(範囲)を指している。例
えば光学式を例にとって解り易く説明すると、実施例に
対応する第1A図に示すように、一定ピツチで並んでい
る複数の最小読取単位のうちの「1」信号を表わす一方
の単位の中にはその一部のみに暗黒領域(斜線部分)が
あるのに対し、「0」信号を表わす他方の単位には暗黒
部分が全く存在しない。この一方の単位中の部分的な暗
黒領域部分こそがその単位を「1」信号として確定させ
る信号確定部である。
これに対して、従来の符号板では、第2図に示すように
、「1」信号を表わす一方の単位の全領域が暗黒領域(
斜線部分)によって占められ、単位全体が信号確定部に
なっていた。
本発明の符号板では、単位の一部領域にしか信号確定部
がないことから、その単位の読取に際しては前記一部領
域の暗黒領域内で読取を行なう必要がある。尚、どの読
取単位についても、単位の領域中のほぼ中央位置に信号
確定部が存在することが望ましい。そうすれば、最小読
取単位の長さλを小さくすることができる。
本発明の符号板では最小読取単位をその信号確定部で読
取ることになるため、読取に際してタイミングをとるた
めのクロック信号が別途必要になる。このクロック信号
を得るために、本発明の符゛号板では前記アブソリュー
トパターンのトラック中において前記信号確定部同士の
間の間隙部分を利用して、一定ピツチ、つまり最小読取
単位の長さんに等しいピッチで配列された複数の読取単
位マーク(第1A図参照)からなるインクリメンタルパ
ターンを設け、これを別のセンサで読取ってクロック信
号を人手できるようにしである。読取単位マークはアブ
ソリュートパターン読取のための同期信号として用いら
れるクロック信号を発生させるためのマークである。
一般にクロック信号処理系の特性などによって同期性が
多少バラつくので、このバラつきの範囲を符号板と読取
ヘッドとの相対速度から計算して単位ごとの読取位置の
トラック長さ方向の変動範囲を予め求め、この変動範囲
を包含するようにアブソリュートパターンの前記信号確
定部の最小長さ範囲を前記変動範囲以上に広くしておく
ことが好ましい。
信号確定部は、最小読取単位のほぼ中央部に設けること
が好ましい。
本発明の符号板には、特徴的なこととして、アブソリュ
ート信号用の信号確定部の外にインクリメンタル信号用
の読取単位マークが存在するが、両者は別々に同時に読
取る必要がある。従って、読取ヘットには少なくとも2
つのセンサが必要であると共に、それらのセンサは、上
記信号確定部と読取単位マークとの間隔にほぼ等しい間
隔で配置されている必要がある(第1B図参照)。
mll倍信号確定部最小読取単位のほぼ中央部に設け、
また読取単位マークを最小読取単位の境界付近に設けた
場合には、上記2つのセンサの間隔をほぼ(m + 1
 / 2 )λとすることになる。
ここで、λは符号板の最小読取単位の長さ、mは0又は
正の整数である。
従って本発明は、第2発明として、 「符号板のトラック長手方向に沿って配置された少なく
とも2つのセンサを備えた読取ヘッドにおいて、 前記センサの一方をインクリメンタル信号用とし、他方
をアブソリュート信号用とし、かつ両者の間隔をほぼ(
m+172)λたけ離したことを特徴とする読取ヘッド
」 を提供する。
アブソリュート信号用のセンサとインクリメンタル信号
用のセンサが、それぞれ信号確定部Aと同期信号用読取
単位マークBとを区別して検出できるようにしなければ
ならない。従って、A、  Bは物理的性質の異なるも
のが好ましい。
しかし、製造する上からはA、Bの物理的性質が同一の
方がコストを低下させることができるので好ましい。例
えば、アブソリュートパターンの’OJ  [1Fに対
応する最小読取単位と同じ物理的性質を有する2つの微
小領域を隣接して形成したものを読取単位マークとし、
両領域の境界でクロック信号を得るようにする<Hxc
図参照)。
例えば光学式の場合、第1C図に示すように、光透過率
が異なる二種の微小領域(透明部と暗黒部など)の隣接
対を前記読取単位マークとするのかよい。読取単位マー
クは、一定ピツチλでアブソリュートパターンの信号確
定部間の間隙に配置して同一トラック中にインクリメン
タルパターンを形成するが、これら同期信号の読取単位
マークは必ずしもアブソリュートパターンの最小読取単
位間の境界部に合致させる必要はない。
ところが、第1C図の場合、アブソリュート信号用セン
サとインクリメンタル信号センサは、信号確定部Aと読
取単位マークBとを区別して読取ることができない。そ
こで、第1D図に示すように、同一の最小読取単位内で
、信号確定部Aが暗黒領域のときには、読取単位マーク
B暗黒微小領域と信号確定部A(暗黒領域)との間の透
明部分を同様に暗黒領域とし、1つの大きな暗黒領域と
してしまうのである。
こうして、インクリメンタル信号用センサが透明微小領
域から暗黒微小領域の変化(0から1への変化)を検出
した時にのみクロック信号を発生させ、このクロック信
号に同期させてアブソリュート信号用センサで信号確定
部を読取らせるのである。
こうしてお(と、トラックが矢印Y方向に動く場合、読
取単位マークをインクリメンタル信号用センサが通過を
始める時にOから1への変化を検出するので、この時に
クロック信号を発生させ、次に同−最小読取単位内でイ
ンクリメンタル信号用センサが信号確定部を通過し終る
時に1から0への変化を検出するが、この時には0から
1への変化ではないのでクロック信号を発生させない。
こうすれば、信号確定部でクロック信号が発生すること
はない。
尚、第1D図の場合、読取単位マークBが信号確定部A
の右側(同−最小読取単位内で)にあってもよく、その
場合にも両者の間に位置する部分は暗黒にする。この場
合には読取単位マークAの暗黒微小領域から透明微小領
域への変化(1から0への変化)が検出された時にのみ
クロック信号が発せられるようにする。
尚、本発明の如く、アブソリュートパターンの信号確定
部を最小読取単位の領域中の一部分として形成すると共
に同一トラック中にインクリメンタルパターン用の読取
単位マークを設ける構造にすると、例えばリソグラフィ
ー技術を利用して符号板を製作することにより、両パタ
ーン間の位相精度の極めて高い符号板を得ることができ
、アブソリュートエンコーダの組み立てと調整が容易に
なる。
本発明の符号板を用いたアブソリュートエンコーダでは
、例えば本発明の符号板に対してトラックの長手方向に
相対移動可能な複数のセンサを設け、そのうちのどれか
によってインクリメンタルパターンを読取ってクロック
信号を得ると共に、残余の複数のセンサによって所定の
単位数を同時に読取ることでアブソリュート信号のパル
スの各高低レベルを読取る際に、最小読取単位の長さλ
より短い確定部だけを、前記クロック信号に同期させて
、対応するパルスの幅内の時点で読取るのである。
複数のセンサを用いずに1個のセンサでアブソリュート
パターンを時系列で読取ってもよい。この場合、センサ
から取り出されるパルス列は前記アブソリュートパルス
の一定単位ピッチに従うデジタルコード配列に対応した
シリアルデータとなっており、従って該パルス列を構成
する単位パルスの高低レベルを前記単位毎に前記クロッ
ク信号に同期して順次読取る。この場合にも、前記クロ
ック信号に基づいて前記パルス列の各単位パルスの立上
り・立下りから離れた安定な時点でアブソリュート信号
用センサ出力の読取が行なわれるので、エンコーダ出力
に誤りが発生するのを極めて少なくすることが可能とな
る。
そして本発明では、アブソリュートパターン中の最小読
取単位が「0」であるか「1ノであるかを確定する信号
確定部を、前記単位の長さえより小さく形成したので、
隣接する信号確定部との間に間隔をあけられることにな
り、相互の影響が少なくなる利点がある。
また、前記クロック信号は符号板のアブソリュートパタ
ーンを形成した同じトラック中に一緒に設けられたイン
クリメンタルパターンの読取り結果から得たものとなる
ので、例えば同一符号板の別のトラックのインクリメン
タルパターンから得たものや、軸で連結された別の符号
板のインクリメンタルパターンから得たものに比べて、
トラック同士の相対精度や符号板同士を連結する軸のね
じれを考慮に入れる必要がなく、従って前記信号確定部
のトラック長さ方向の寸法を極めて短くして、エンコー
ダの分解能を向上させることもできるものである。
本発明の実施例を図面と共に説明すれば以下の通りであ
る。
[実施例コ 第3図は、本実施例のロータリーエンコーダ用符号板の
模式平面図であり、センサ位置を重畳して示す。
第3図において、符号板1にはその回転軸心6を中心と
する1本の円形トラック2が形成されている。
ここでトラック2はアブソリュートパターンを有するト
ラックであり、トラックを2n=8 (n=3ビツト)
分割して8個の最小読取単位が形成されている。
ここでは透明領域が「0」を、また暗黒領域が「1」を
それぞれ表わすことにしてあり、このアブソリュートパ
ターンは、第3図矢印Xの位置から反時計回りに数える
と、 oooi  t  tot となっている。
ここでは、読取単位マークBを、反時計回りに見た場合
の最小読取単位(長さえ)の始端部に設けてあり、マー
クBの始端は単位の始端に一致させである。そして、符
号「1」の最小読取単位の場合には、それの信号確定部
AとマークBとの問は暗黒に塗られている(第1D図に
相当)。
次に読取ヘットについて説明する。読取ヘッドは図面に
は示していないが、センサの相対位置が重要であるので
、それだけを第3図に重畳して示しである。
センサは、アブソリュート信号用3−1.3−2.3−
3.3−4の4個、インクリメンタル信号用4Bが1個
である。アブソリュート信号用のセンサは、ここではn
=3ビツトであるので3個あればよいが、反時計回り時
に3−1.3−2.3−1の3個を使用し、時計回り時
に3−4.3−3.3−2の3個を使用することにして
いる。
こうすると、正転逆転どちらでも絶対位置が検出できる
センサ4bと最も近いセンサ3−1とは、最小読取単位
の長さくピッチ)をλとするとき、はぼ1/2λたけ殖
してあり、またセンサ3−1.3−2.3−3の相互間
隔はえである。これは、読取単位マークを最小読取単位
の始端部に設けてあり、他方信号確定部を最小読取単位
の中央部に設けてあり、各センサはそれぞれに対応する
位置に来なければならないからである。
正転逆転を区別して検出すめために、別にセンサ4a、
4bを設けてあり、センサ4bは、インクリメンタル信
号用と兼用している。
これら各センサはいずれも光源(例: LED)と光電
変換素子(例:)オドダイオード)との対からなり、両
者の間に符号板のトラックが位置する。トラックの透明
領域がセンサを横切るとセンサ出力は高レベルとなり、
暗黒領域がセンサを横切るとセンサ出力は低レベルとな
る。
第4図に読取ヘッドの各センサ出力を処理するための信
号処理回路の一例を簡略的に示す。
この符号板と読取ヘッドとからなるエンコーダで、符号
板1を第3図矢印Xの位置から時計回りに1回転させた
ときのインクリメンタル信号用センサ4bの出力(パル
ス波形)を第5図に示す。
このパルスの立下り(0か61への変化時)がいずれも
トラックの最小読取単位ごとに設けた読取単位マークの
始端(0か61への変化個所)と一致する。そこで、こ
の立下りが検出された場合にのみワンショット回路から
クロック信号を出してラッチをかけ、アブソリュート信
号用センサ3−1.3−2.3−3をONにして各セン
サに対応する最小読取単位の各信号確定部の0.1を読
取る。例えば第5図の位置では、センサ3−1.3−2
.3−3ともに0を検出し、この位置における二進コー
トはro OOJとなる。
アブソリュート信号用センサが読取る二進コード(ここ
では3ビツト)は、同しものがないようにパターンか出
来ているので、以上のよう/を方法で絶対位置を知るこ
とかできる。又、任意の自然数Nに対し、2に一’<N
≦2になる自然数Kがあり、「0」 「1」のN個の列
に対し、連続したに個の二進コードかパターンのどの場
所を見ても同じものはないパターンが存在することが知
られているので、この11−ラック型アブソリュートパ
ターンはさらに大きなパルス数のものでも可能である。
以上、ロータリーエンコーダを例として説明しだか、リ
ニアエンコーダにも適用でき、また磁気式その他の任意
の検出方式のエンコーダにも適用可能である。
[参考コ アブソリュートパターンの配列の決定は次のようにして
行なう。
即ち、目盛数が少ないときは順次試行錯誤的に行なって
もよいが、目盛数が多くなるとコンピュータで演算させ
る必要がある。
前述の4目盛の場合で説明すると、例えば各目盛が「0
」の場合は必ず存在するから、先ず4つの「O」の連続
ro、(1,O,OJを考える。そして「0」が5つ連
続すると同じ組合せが生じてしまうことになるから、「
0」が4つ続いた後には必ず「1」がくると考える。こ
のようにして順次「0」か「1」かを追加していき、4
つずつの区切りで1目盛ずつシフトしたときに同じ内容
の組合せが生じないようにすればよい。
このようにしてコンピュータに演算させた結果を第6図
(a)(b)(c)(d)に示す。
第6図(a)は32目盛、即ちN=5ビットの場合のア
ブソリュートパターン、第6図(b)は64目盛、即ち
N=6ビツトの場合のアブソリュートパターン、第6図
(C)は256目盛、即ちN=8ビットの場合のアブソ
リュートパターン、そして第6図(d)は1024目盛
、即ちN=10ビットの場合のアブソリエートパターン
中である。
第6図(b)(c)(d)のアブソリュートパターンは
、行の末尾の目盛がその次(下)の行の先頭の目盛につ
ながって一連のものとして構成される。
これら第6図のアブソリュートパターンをロータリーエ
ンコーダに用いる場合には、最下行の最後の目盛が第1
行の先頭の目盛につながって無端状に連続するようにす
る。
第6図の例では、アブソリュート信号用センサをアブソ
リュートパターンの1目盛相当分の間隔(λ)で連続配
置する場合のコード配列を示したが、パターンが細かく
なってセンサの寸法上の制限により1目盛間隔での連続
配置が物理的に困難になる場合は、アブソリュートパタ
ーンのコード配列を工夫することによって、例えばコー
ド配列の1目盛置きに2人の間隔でセンサを配置するこ
とができる。そのような−例として第7図にN=10の
場合のアブソリュートパターンを示す。この場合はN=
10であるから10個のセンサが1目盛置き、つまり間
隔2λで配置される。
勿論、他の間隔についても同様にアブソリュートコード
を適宜定めることは可能であり、−数的にはλの整数倍
の間隔についてアブソリュートコードを作ることができ
る。
このようなアブソリュートパターンによれば1トラック
でアブソリュートパターンが実現できるので、所謂イン
クリメンタル型のエンコーダと大きさが殆ど変わらない
アブソリュートエンコーダを得ることが可能である。
[発明の効果コ 以上に述べたように、本発明によれば、符号板のアブソ
リエートパターン中の信号確定部が最小読取単位より小
さく形成され、且つその間隙にインクリメンタルパター
ンのための読取マークが形成されているから、単一トラ
ックでアブソリュートパターンとインクリメンタルパタ
ーンの両方を含む符号板が得られ、アブソリュートパタ
ーンについては隣接する読取単位の影響が少なくなって
読取精度が向上すると共に、符号板自体およびそれと組
み合わされる検出器のコンパクト化にも寄与する。また
符号板のアブソリュートパターンおよびインクリメンタ
ルパターンの形成と、エンコーダの組み立ておよび調整
の面でもそれらが容易になるという利点がある。すなわ
ち、同一トラック上から得られるクロック信号に基づい
てアブソリュート信号を読取るので、個々のセンサから
検出されたパルス信号の高低レベルを安定した時点で同
時に読取ることができ、出力に誤りの生じる恐れのない
高精度なアブソリュートエンコーダを得ることができる
ものである。
【図面の簡単な説明】
第1A〜ID図は本発明の符号板の一例を示す概略部分
平面図、第2図は従来例の、概略部分平面図、第3図は
光学式アブソリュートエンコーダ用の本発明の一実施例
に係る符号板の模式平面図、第4図は信号処理回路の例
を示す概略回路図、第5図は検出波形の説明図、第6図
(a)〜(d)は異なる目盛数のアブソリュート信号を
得るためのアブソリュートパターンのいくつかの例を示
す説明図、第7図はアブソリュートパターンの別の例を
示す説明図、第8図(a)は従来例に係る光学式アブソ
リュートエンコーダ用符号板の模式平面図、同図(b)
はその信号処理回路を示す回路図である。 (主要部分の符号の説明) 1:符号板 2ニドラツク 3−1;アブソリュート信号用センサ 3−2=アブソリユ一ト信号用センサ 長手方向 3−3:アブソリュート信号用センサ 命−−−λ         λ        λ3
−4:アブソリュート信号用センサ 4最少読取単位→1少読取単位→千最少読取単位4b:
インクリメンタル信号用センサ 5 : (欠番) 6 : 回転軸心

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、「0」信号と「1」信号に対応する二種の最小読取
    単位を所定の配列で1トラック上に並べてなる1トラッ
    ク型アブソリュートエンコーダ用符号板において、 少なくとも一方の種類の前記最小読取単位が該単位の長
    さより短い信号確定部を有し、同じトラック上の前記信
    号確定部間の隙間部分に前記単位の長さに対応する一定
    ピッチで同期信号用読取単位マークが設けられているこ
    とを特徴とする1トラック型アブソリュートエンコーダ
    用符号板。 2、請求項1の符号板において、(イ)同一の最小読取
    単位内における読取り単位マークと、(ロ)前記「1」
    の最小読取り単位における信号確定部と、(ハ)これら
    両者の間の領域とが同一の物理的性質を持ち、かつ、(
    ニ)前記「0」の最小読取り単位の信号確定部と、(ホ
    )トラック上の全ての残りの領域とが前記物理的性質と
    は異なる物理的性質を持つことを特徴とする1トラック
    型アブソリュートエンコーダ用符号板。 3、符号板のトラック長手方向に沿って配置された少な
    くとも2つのセンサを備えた読取りヘッドにおいて、 前記センサの一方をインクリメンタル信号用とし、他方
    をアブソリュート信号用とし、かつ両者の間隔をほぼ(
    m+1/2)λ(但し、λは符号板の最小読取単位の長
    さ、mは0又は正の整数)だけ離したことを特徴とする
    読取ヘッド。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011226965A (ja) * 2010-04-21 2011-11-10 Nikon Corp エンコーダ及びエンコーダの位置検出方法

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