JPH0227975Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0227975Y2 JPH0227975Y2 JP1985086150U JP8615085U JPH0227975Y2 JP H0227975 Y2 JPH0227975 Y2 JP H0227975Y2 JP 1985086150 U JP1985086150 U JP 1985086150U JP 8615085 U JP8615085 U JP 8615085U JP H0227975 Y2 JPH0227975 Y2 JP H0227975Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flux
- temperature
- specific gravity
- tank
- gravity value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(産業状の利用分野)
本考案は被半田付け物体、例えばプリント配線
基板にフラツクスを塗布するためのフラツクス塗
布装置に関する。
基板にフラツクスを塗布するためのフラツクス塗
布装置に関する。
(従来技術とその問題点)
被半田付け物体に半田付けする前にフラツクス
を塗布するのは、半田付け前の活性化を図り、良
好な半田付けを確保するためである。
を塗布するのは、半田付け前の活性化を図り、良
好な半田付けを確保するためである。
フラツクスが正確な濃度値のものでないときに
は、良好な半田付けが確保できなくなる。
は、良好な半田付けが確保できなくなる。
特に最近の半田付けの高精度化に伴い、フラツ
クスの濃度管理はより高精度化を要求されるよう
になつてきている。
クスの濃度管理はより高精度化を要求されるよう
になつてきている。
尚、フラツクスとは、フラツクス原液と希釈剤
(主にアルコール)との混合液である。
(主にアルコール)との混合液である。
しかるに従来のフラツクス塗布装置の大部分
は、第1図または第2図のフラツクス塗布装置
1,1′のようにフラツクス槽2内のフラツクス
3の比重を単に比重センサー4によつて検出し、
この比重値信号を、同じくフラツクス3内に浸し
た温度センサー5からの信号に基いて温度補正し
た比重値に換算しているにすぎず、正確な濃度の
フラツクス3が得られないものとなつている。
は、第1図または第2図のフラツクス塗布装置
1,1′のようにフラツクス槽2内のフラツクス
3の比重を単に比重センサー4によつて検出し、
この比重値信号を、同じくフラツクス3内に浸し
た温度センサー5からの信号に基いて温度補正し
た比重値に換算しているにすぎず、正確な濃度の
フラツクス3が得られないものとなつている。
6は液位センサー、7はフラツクス3のライフ
センサーである。
センサーである。
以下、詳細に第1図及び第2図のフラツクス塗
布装置1,1′について説明する。
布装置1,1′について説明する。
8は比重センサー4、温度センサー5、液位セ
ンサー6及びライフセンサー7の出力の比重の
上、下限が入力される制御回路で、温度センサー
5からの入力値で比重センサー4の入力値をある
基準温度に補正し、上、下限設定値と補正した比
重を比較したり、液位センサー6からの入力値で
液位を所定範囲内、すなわち上,下限値内に保つ
と共にライフセンサー7からの信号により、フラ
ツクス3を交換すべきか否かの出力を図示しない
表示部に表示する表示機能を有する。
ンサー6及びライフセンサー7の出力の比重の
上、下限が入力される制御回路で、温度センサー
5からの入力値で比重センサー4の入力値をある
基準温度に補正し、上、下限設定値と補正した比
重を比較したり、液位センサー6からの入力値で
液位を所定範囲内、すなわち上,下限値内に保つ
と共にライフセンサー7からの信号により、フラ
ツクス3を交換すべきか否かの出力を図示しない
表示部に表示する表示機能を有する。
9,10は電磁弁、11はポンプ、12は原液
を入れた原液槽、13は希釈剤(一般にはアルコ
ールを用いている)を入れた希釈液槽、14,1
5は供給パイプである。
を入れた原液槽、13は希釈剤(一般にはアルコ
ールを用いている)を入れた希釈液槽、14,1
5は供給パイプである。
尚、液位センサー6には、長さの異なる3本の
電極6a,6b,6cがあり、電極6aと6c,
6bと6cの導通によつてフラツクス3の上,下
限値が検出される。
電極6a,6b,6cがあり、電極6aと6c,
6bと6cの導通によつてフラツクス3の上,下
限値が検出される。
従つて、比重センサー4と温度センサー5の出
力値で比重の温度補正、温度補正された比重と
上,下限値との比較を制御回路8で行い、上限設
定値よりも高い場合は制御回路8の出力で電磁弁
10及びポンプ11を作動させて希釈液槽13内
の希釈液をフラツクス槽2に供給し、また下限設
定値よりも低い場合は制御回路8の出力で電磁弁
9及びポンプ11を作動させて原液槽12内の原
液をフラツクス槽2に供給してフラツクス3が所
定の範囲内の比重に入るように電磁弁9及びポン
プ11を制御している。
力値で比重の温度補正、温度補正された比重と
上,下限値との比較を制御回路8で行い、上限設
定値よりも高い場合は制御回路8の出力で電磁弁
10及びポンプ11を作動させて希釈液槽13内
の希釈液をフラツクス槽2に供給し、また下限設
定値よりも低い場合は制御回路8の出力で電磁弁
9及びポンプ11を作動させて原液槽12内の原
液をフラツクス槽2に供給してフラツクス3が所
定の範囲内の比重に入るように電磁弁9及びポン
プ11を制御している。
またフラツクス3が下限液位に達すると液位セ
ンサー6が下限値の出力を出し、フラツクス3の
比重が所定範囲に入るように制御回路8で制御し
ながら電磁弁9とポンプ11、電磁弁10とポン
プ11を交互に作動させてフラツクス3が上限値
に達するまで原液または希釈液をフラツクス槽2
に供給する。
ンサー6が下限値の出力を出し、フラツクス3の
比重が所定範囲に入るように制御回路8で制御し
ながら電磁弁9とポンプ11、電磁弁10とポン
プ11を交互に作動させてフラツクス3が上限値
に達するまで原液または希釈液をフラツクス槽2
に供給する。
このようにしてフラツクス槽2には常に一定条
件のフラツクス3が供給され、図示しない噴流器
によつてプリント配線基板等の被半田付け物体に
塗布される。
件のフラツクス3が供給され、図示しない噴流器
によつてプリント配線基板等の被半田付け物体に
塗布される。
また別の従来のフラツクス塗布装置1′につい
ては、第2図を用いて以下に説明する。尚、第1
図と共通する箇所の説明は、省略する。
ては、第2図を用いて以下に説明する。尚、第1
図と共通する箇所の説明は、省略する。
第2図を参照して、27は温度補正回路、28
は作動増幅器、16はデジタルパネルメータ、1
7は上,下限比重設定器、19は電磁弁制御回路
である。これらによつて制御回路8が構成され
る。
は作動増幅器、16はデジタルパネルメータ、1
7は上,下限比重設定器、19は電磁弁制御回路
である。これらによつて制御回路8が構成され
る。
20は圧力エアー源、21,22は圧力エアー
供給パイプである。
供給パイプである。
従つて、自動操作時に切換スイツチ23を第2
図に示すように自動側に倒す。すると温度センサ
ー5は温度に応じた出力を出し、この出力の一部
は温度補正回路27に入り、温度補正回路27に
より温度を基準に、例えば20℃以上であれば温度
補正に必要な差分の負の出力を、20℃以下であれ
ば正の出力を出すように補正され、この出力と比
重センサー4の比重に見合つた出力を20℃に換算
するように差動増幅器28に出力する。
図に示すように自動側に倒す。すると温度センサ
ー5は温度に応じた出力を出し、この出力の一部
は温度補正回路27に入り、温度補正回路27に
より温度を基準に、例えば20℃以上であれば温度
補正に必要な差分の負の出力を、20℃以下であれ
ば正の出力を出すように補正され、この出力と比
重センサー4の比重に見合つた出力を20℃に換算
するように差動増幅器28に出力する。
この差動増幅器28の出力は、上,下限設定器
17の上,下限設定値と共に上,下限比重判定回
路18で比重の値が比較される。
17の上,下限設定値と共に上,下限比重判定回
路18で比重の値が比較される。
比重の値が高いかまたは低い場合は、上,下限
比重判定回路18より電磁弁制御回路19へ出力
が出て電磁弁9または10を制御して圧力エアー
源20より圧力エアーAを圧力エアー供給パイプ
21,22へ供給する出力を出し、圧力エアーA
はフラツクス原液24を入れた原液槽12または
希釈液25を入れた希釈液槽13に供給される。
比重判定回路18より電磁弁制御回路19へ出力
が出て電磁弁9または10を制御して圧力エアー
源20より圧力エアーAを圧力エアー供給パイプ
21,22へ供給する出力を出し、圧力エアーA
はフラツクス原液24を入れた原液槽12または
希釈液25を入れた希釈液槽13に供給される。
従つて、電磁弁9または10が開いている時間
に比例した量だけ原液槽12または希釈液槽13
から原液24または希釈液25がフラツクス槽2
に供給され、フラツクス3の比重を所定範囲内に
維持する。
に比例した量だけ原液槽12または希釈液槽13
から原液24または希釈液25がフラツクス槽2
に供給され、フラツクス3の比重を所定範囲内に
維持する。
尚、液位センサー6でフラツクス3の上限液位
の出力が出ると、ただちに電磁弁9または10を
閉じる。また液位センサー6でフラツクス3の下
限液位の出力が出ると、液位が上限液位である上
限値の出力があるまで比重を所定範囲内にしなが
ら原液24または希釈液25をフラツクス槽2に
供給する。
の出力が出ると、ただちに電磁弁9または10を
閉じる。また液位センサー6でフラツクス3の下
限液位の出力が出ると、液位が上限液位である上
限値の出力があるまで比重を所定範囲内にしなが
ら原液24または希釈液25をフラツクス槽2に
供給する。
以上の従来のフラツクス塗布装置1,1′は、
フラツクス3をある程度の比重のものに常に維持
できる。
フラツクス3をある程度の比重のものに常に維持
できる。
しかしながら、上記したように従来のフラツク
ス塗布装置1,1′では、単に測定した比重値信
号を所定の温度値に補正しているにすぎず、実際
に使用するフラツクス3を所定の温度のものに直
していないため、正確な濃度(比重)のフラツク
ス3が得られないため、高精度な半田付けを行う
ことができない欠点があつた。
ス塗布装置1,1′では、単に測定した比重値信
号を所定の温度値に補正しているにすぎず、実際
に使用するフラツクス3を所定の温度のものに直
していないため、正確な濃度(比重)のフラツク
ス3が得られないため、高精度な半田付けを行う
ことができない欠点があつた。
すなわち、フラツクス3の温度が半田付けの良
否の割合を表わす欠点率に大きな影響を与えるに
も係らず、従来のフラツクス塗布装置1,1′で
は、フラツクス3の定温温調管理対策については
ほとんど考慮されていないのが現状である。
否の割合を表わす欠点率に大きな影響を与えるに
も係らず、従来のフラツクス塗布装置1,1′で
は、フラツクス3の定温温調管理対策については
ほとんど考慮されていないのが現状である。
更に詳しく述べると、フラツクスはアルコール
を含んでいるが故に、温度変化によつてその濃度
(比重)が大きく変化するため、単に温度補正す
るだけでは、精度良く半田付けを行えないのであ
る。
を含んでいるが故に、温度変化によつてその濃度
(比重)が大きく変化するため、単に温度補正す
るだけでは、精度良く半田付けを行えないのであ
る。
尚、第1図及び第2図のフラツクス塗布装置
1,1′については、図示していないが第3図に
示すように空気源26から送られてきた空気によ
つてフラツクス3を発泡筒29によつて泡状に
し、発泡筒カバー30によつて上方に案内し、発
泡ノズル31により平坦な形態とし、半田付け対
象となるプリント配線基板等の被半田付け物体に
塗布するフラツクス噴流装置を備えている。
1,1′については、図示していないが第3図に
示すように空気源26から送られてきた空気によ
つてフラツクス3を発泡筒29によつて泡状に
し、発泡筒カバー30によつて上方に案内し、発
泡ノズル31により平坦な形態とし、半田付け対
象となるプリント配線基板等の被半田付け物体に
塗布するフラツクス噴流装置を備えている。
また別の従来のフラツクス塗布装置1″として
は、特開昭53−72755号に示すものがある。
は、特開昭53−72755号に示すものがある。
このフラツクス塗布装置1″について、以下に
第3図を参照して説明する。
第3図を参照して説明する。
このフラツクス塗布装置1″は、フラツクス槽
2内に熱電対やサーミスタ等の温度センサー5を
入れ、この温度センサー5からの信号を温度制御
装置に加え、温度設定器33からの設定温度値信
号と温度センサー5からの信号とを比較し、熱交
換装置34を作動させてフラツクス槽2内のフラ
ツクス3の温度を上げたり、下げたりして、フラ
ツクス3を所定の温度になるようにしている。
尚、第3図において符号32は、温度制御装置を
示す。
2内に熱電対やサーミスタ等の温度センサー5を
入れ、この温度センサー5からの信号を温度制御
装置に加え、温度設定器33からの設定温度値信
号と温度センサー5からの信号とを比較し、熱交
換装置34を作動させてフラツクス槽2内のフラ
ツクス3の温度を上げたり、下げたりして、フラ
ツクス3を所定の温度になるようにしている。
尚、第3図において符号32は、温度制御装置を
示す。
このフラツクス塗布装置1″は、フラツクス3
そのものの温度を一定に保つている点において
は、確かに有用なものである。
そのものの温度を一定に保つている点において
は、確かに有用なものである。
このため、実用化されているが、このフラツク
ス塗布装置1″は、単にフラツクス3の温度を一
定に保つているのみで、実際のフラツクス3の比
重を測定していないため、フラツクス3を正確な
濃度値のものに維持できないため、高精度な半田
付けが期待できない欠点があつた。例えば、フラ
ツクス塗布装置1″使用時に、温度制御回路33
の電源を入れて、温度センサー5が働くようにし
ても、該温度センサー5からの信号を基に熱交換
装置34を作動させても、冷え切つているフラツ
クス3は所定の温度に瞬時に上げることができ
ず、応答作動の非常に悪いものとなり、フラツク
ス3が所定の温度値になるまでの長い時間の間は
使用できない欠点があつた。
ス塗布装置1″は、単にフラツクス3の温度を一
定に保つているのみで、実際のフラツクス3の比
重を測定していないため、フラツクス3を正確な
濃度値のものに維持できないため、高精度な半田
付けが期待できない欠点があつた。例えば、フラ
ツクス塗布装置1″使用時に、温度制御回路33
の電源を入れて、温度センサー5が働くようにし
ても、該温度センサー5からの信号を基に熱交換
装置34を作動させても、冷え切つているフラツ
クス3は所定の温度に瞬時に上げることができ
ず、応答作動の非常に悪いものとなり、フラツク
ス3が所定の温度値になるまでの長い時間の間は
使用できない欠点があつた。
またフラツクス3が温度変化していて、例え
ば、フラツクス槽2内にフラツクス原液又は希釈
液を供給するなどしてフラツクス3の比重補正や
液面制御を行つたりすると、フラツクス3は温度
変化をきたし、その比重値に大きな狂いを生ずる
が、フラツクス3が所定の温度値になるまで長い
時間がかかり、その間は大幅に狂つて比重値のフ
ラツクス3を使用しなければならず、高精度な半
田付けが行えない欠点がある。
ば、フラツクス槽2内にフラツクス原液又は希釈
液を供給するなどしてフラツクス3の比重補正や
液面制御を行つたりすると、フラツクス3は温度
変化をきたし、その比重値に大きな狂いを生ずる
が、フラツクス3が所定の温度値になるまで長い
時間がかかり、その間は大幅に狂つて比重値のフ
ラツクス3を使用しなければならず、高精度な半
田付けが行えない欠点がある。
またフラツクス塗布装置1″によると、単にフ
ラツクス3の温度を一定に保つているのみで、実
際のフラツクス3の比重を測定していないため
に、フラツクス3を正確な濃度値〔比重値〕のも
のに維持できない欠点があり、またその時のフラ
ツクス3の温度補正を行つていないので、この点
においても正しい比重値のフラツクス3に補正で
きず、正確且つ高精度の半田付けを期待できない
欠点があつた。
ラツクス3の温度を一定に保つているのみで、実
際のフラツクス3の比重を測定していないため
に、フラツクス3を正確な濃度値〔比重値〕のも
のに維持できない欠点があり、またその時のフラ
ツクス3の温度補正を行つていないので、この点
においても正しい比重値のフラツクス3に補正で
きず、正確且つ高精度の半田付けを期待できない
欠点があつた。
こうした欠点をフラツクス塗布装置1″が持つ
のは、フラツクス3が、アルコール系希釈液を含
んでいるためで、このフラツクス3は熱交換装置
により暖められると、フラツクス3内のアルコー
ルが蒸発してフラツクス3の比重値が大きく変動
する為である。
のは、フラツクス3が、アルコール系希釈液を含
んでいるためで、このフラツクス3は熱交換装置
により暖められると、フラツクス3内のアルコー
ルが蒸発してフラツクス3の比重値が大きく変動
する為である。
またフラツクス3はアルコール系希釈液を用い
ているため、大気中などの水分を吸収混入するた
め、その比重値を大きく変動させ、実際には水分
混入したフラツクス3を暖めていることになるた
め、フラツクス3の比重を一定に保つために望ま
しい温度に保つことができず、フラツクス3を一
定の比重値に保つことができない欠点を持つ。そ
の他、フラツクス3に不純物が混入した場合に
も、フラツクス3はその比重値を変動するが、フ
ラツクス塗布装置1″の場合には、こうした欠点
に対処できず、結果として、フラツクス3を一定
の比重値に保つことができず、精度良い半田付け
を期待できない欠点があつた。
ているため、大気中などの水分を吸収混入するた
め、その比重値を大きく変動させ、実際には水分
混入したフラツクス3を暖めていることになるた
め、フラツクス3の比重を一定に保つために望ま
しい温度に保つことができず、フラツクス3を一
定の比重値に保つことができない欠点を持つ。そ
の他、フラツクス3に不純物が混入した場合に
も、フラツクス3はその比重値を変動するが、フ
ラツクス塗布装置1″の場合には、こうした欠点
に対処できず、結果として、フラツクス3を一定
の比重値に保つことができず、精度良い半田付け
を期待できない欠点があつた。
(本考案の目的)
本考案は上記従来技術の欠点及び問題点を解決
するためになされたもので、従来フラツクス塗布
装置においてフラツクスの比重を一定に保つに当
たつて、上記したフラツクス塗布装置1,1′の
ようにフラツクス3の比重を比重センサー4を用
いて検出し、その検出した比重値信号を、フラツ
クス3に浸して温度センサー5からの温度信号に
よつて温度補正するという方法と、上記フラツク
ス塗布装置1″のようにフラツクス3の温度を温
度センサー5を用いて温度検出し、該検出したフ
ラツクス3の温度信号を基に熱交換装置34を作
動制御して単にフラツクス3を一定の温度に保つ
だけで、フラツクス3を所定の比重値にあるよう
に管理する方法が知られており、上記の何れか一
方の方法を用いるだけで、フラツクス3を所定の
比重値に管理していたが、これらの方法を追及し
た結果、上記したような種々の欠点を持つため
に、フラツクス3を正確な比重値に管理すること
ができず、結果として精度良く半田付けをうこと
が出来ないことが判明した。
するためになされたもので、従来フラツクス塗布
装置においてフラツクスの比重を一定に保つに当
たつて、上記したフラツクス塗布装置1,1′の
ようにフラツクス3の比重を比重センサー4を用
いて検出し、その検出した比重値信号を、フラツ
クス3に浸して温度センサー5からの温度信号に
よつて温度補正するという方法と、上記フラツク
ス塗布装置1″のようにフラツクス3の温度を温
度センサー5を用いて温度検出し、該検出したフ
ラツクス3の温度信号を基に熱交換装置34を作
動制御して単にフラツクス3を一定の温度に保つ
だけで、フラツクス3を所定の比重値にあるよう
に管理する方法が知られており、上記の何れか一
方の方法を用いるだけで、フラツクス3を所定の
比重値に管理していたが、これらの方法を追及し
た結果、上記したような種々の欠点を持つため
に、フラツクス3を正確な比重値に管理すること
ができず、結果として精度良く半田付けをうこと
が出来ないことが判明した。
ここに本考案は、上記従来の方法を有機的一体
に結合して上記2つの方法それぞれが持つ欠点を
補うと共に、全く新規で新たな別効果を生み出す
フラツクス塗布装置を提供することで、フラツク
ス塗布装置の使用時に電源投入後においても、ま
たフラツクス塗布中においても、常に精度良くフ
ラツクスを一定の比重値に設定できるように管理
でき、従つて極めて精度良く半田付けを行うこと
を可能にするフラツクス塗布装置を提供すること
を目的としてなされたものである。
に結合して上記2つの方法それぞれが持つ欠点を
補うと共に、全く新規で新たな別効果を生み出す
フラツクス塗布装置を提供することで、フラツク
ス塗布装置の使用時に電源投入後においても、ま
たフラツクス塗布中においても、常に精度良くフ
ラツクスを一定の比重値に設定できるように管理
でき、従つて極めて精度良く半田付けを行うこと
を可能にするフラツクス塗布装置を提供すること
を目的としてなされたものである。
(考案の目的達成手段)
かかる本考案の目的は、希釈剤とフラツクス原
液とからなるフラツクスを貯蔵するフラツクス槽
内の比重を検出する手段を設け、上記比重検出手
段によつて得られたフラツクスの比重値を設定温
度における比重値に補正する手段を設け、上記フ
ラツクスを設定された温度に上げ上げする定温温
調装置を設け、上記フラツクスの温度を検出する
手段を設け、該温度検出手段からの信号に基づい
て上記フラツクスを設定温度における比重値に補
正する手段及び定温温調装置を作動させて上記フ
ラツクスを一定の比重値に保つようにしたフラツ
クス管理装置を提供することによつて達成でき
る。
液とからなるフラツクスを貯蔵するフラツクス槽
内の比重を検出する手段を設け、上記比重検出手
段によつて得られたフラツクスの比重値を設定温
度における比重値に補正する手段を設け、上記フ
ラツクスを設定された温度に上げ上げする定温温
調装置を設け、上記フラツクスの温度を検出する
手段を設け、該温度検出手段からの信号に基づい
て上記フラツクスを設定温度における比重値に補
正する手段及び定温温調装置を作動させて上記フ
ラツクスを一定の比重値に保つようにしたフラツ
クス管理装置を提供することによつて達成でき
る。
(実施例)
図面第4図以下を参照して、本考案の実施例を
説明する。
説明する。
本考案のフラツクス塗布装置1では、フラツ
クス3を貯蔵したフラツクス槽2′とフラツクス
塗布部35を一体にしてもよいが、更に都合のよ
いものとするために、フラツクス3を貯蔵したフ
ラツクス槽2′とフラツクス塗布部35を分離し
たものを実施例として説明する。
クス3を貯蔵したフラツクス槽2′とフラツクス
塗布部35を一体にしてもよいが、更に都合のよ
いものとするために、フラツクス3を貯蔵したフ
ラツクス槽2′とフラツクス塗布部35を分離し
たものを実施例として説明する。
フラツクス槽2′は、途中にフラツクス原液供
給ポンプ36、希釈剤供給ポンプ37を設けた供
給パイプ38を介して原液槽12、希釈液槽13
に接続されている。
給ポンプ36、希釈剤供給ポンプ37を設けた供
給パイプ38を介して原液槽12、希釈液槽13
に接続されている。
ポンプ37,38は制御回路39からの信号に
よつて駆動制御され、原液槽12内のフラツクス
原液24又は/及び希釈液槽13内の希釈液25
が供給パイプ38を通つてフラツクス槽2′内に
供給され、フラツクス槽2′内のフラツクス3の
液位及び比重を一定に保つようにしている。
よつて駆動制御され、原液槽12内のフラツクス
原液24又は/及び希釈液槽13内の希釈液25
が供給パイプ38を通つてフラツクス槽2′内に
供給され、フラツクス槽2′内のフラツクス3の
液位及び比重を一定に保つようにしている。
フラツクス槽2′のフラツクス3には、上記同
様に伝達線40を介して比重センサー4に接続さ
れたボブ41が浸されている。
様に伝達線40を介して比重センサー4に接続さ
れたボブ41が浸されている。
またフラツクス槽2′内のフラツクス3には、
フラツクス3の液位を検出するための上記で既に
説明している液位センサー6がその先端の電極部
6Aを浸している。
フラツクス3の液位を検出するための上記で既に
説明している液位センサー6がその先端の電極部
6Aを浸している。
更にまた、フラツクス槽2′内のフラツクス3
の温度を検出するための温度センサー5をフラツ
クス3に浸している。
の温度を検出するための温度センサー5をフラツ
クス3に浸している。
フラツクス槽2′は自動半田付け装置に設置す
る場合と自動半田付け装置から取り外す場合とが
あるが、本考案における実施例では、自動半田付
け装置を小型にするため、フラツクス槽2′は自
動半田付け装置から取り外した位置に配設し、フ
ラツクス塗布部35のみを自動半田付け装置に設
置することとする。
る場合と自動半田付け装置から取り外す場合とが
あるが、本考案における実施例では、自動半田付
け装置を小型にするため、フラツクス槽2′は自
動半田付け装置から取り外した位置に配設し、フ
ラツクス塗布部35のみを自動半田付け装置に設
置することとする。
フラツクス槽2′は、中間にフラツクス供給ポ
ンプ42、電磁バルブ43を設けたフラツクス供
給管44及びフラツクス供給管44に接続された
供給管45を介して発泡ノズル46に接続されて
いる。
ンプ42、電磁バルブ43を設けたフラツクス供
給管44及びフラツクス供給管44に接続された
供給管45を介して発泡ノズル46に接続されて
いる。
発泡ノズル46は上端部に開口47を有し、内
部にフラツクス3を少量貯蔵するフラツクス貯蔵
用空胴部48を有し、該空胴部48の下部にはフ
ラツクス3を泡状にするための発泡筒49が設け
られている。
部にフラツクス3を少量貯蔵するフラツクス貯蔵
用空胴部48を有し、該空胴部48の下部にはフ
ラツクス3を泡状にするための発泡筒49が設け
られている。
この発泡筒49は、エアー供給管50を介して
エアーポンプ51に接続されている。
エアーポンプ51に接続されている。
従つて、エアーポンプ51が駆動されることで
エアーがエアー供給管50を通り、発泡筒49よ
りエアーを発生することにより、発泡筒49によ
つて泡状にされた発泡エアー状フラツクス52が
発泡ノズル46の開口47の上部より噴出され被
半田付け物体に塗布される。
エアーがエアー供給管50を通り、発泡筒49よ
りエアーを発生することにより、発泡筒49によ
つて泡状にされた発泡エアー状フラツクス52が
発泡ノズル46の開口47の上部より噴出され被
半田付け物体に塗布される。
発泡ノズル46には、この内部、すなわち空胴
部48内のフラツクス3の温度を検出するための
温度センサー53が設けられている。
部48内のフラツクス3の温度を検出するための
温度センサー53が設けられている。
この温度センサー53によつて被半田付け物体
へ塗布する直前の発泡ノズル46内のフラツクス
3の温度を検出できるので、この温度センサー5
3からの信号に基いて後記するフラツクス3の定
温温調装置54を制御回路39によつて駆動制御
することで、発泡ノズル46内の温度を設定温度
のものにできる。
へ塗布する直前の発泡ノズル46内のフラツクス
3の温度を検出できるので、この温度センサー5
3からの信号に基いて後記するフラツクス3の定
温温調装置54を制御回路39によつて駆動制御
することで、発泡ノズル46内の温度を設定温度
のものにできる。
すなわち、発泡エアー状フラツクス52が設定
温度のものとなるので、正確な濃度のフラツクス
3を被半田付け物体に塗布できるため、精度のよ
い半田付けを容易に行える。
温度のものとなるので、正確な濃度のフラツクス
3を被半田付け物体に塗布できるため、精度のよ
い半田付けを容易に行える。
尚、発泡ノズル46においても、常に一定の液
位になるようにフラツクス3が収納される必要が
あるので、発泡ノズル46には、液位センサー5
5が設けられている。 液位センサー55の信号
が制御回路39に入力され、発泡ノズル46内の
フラツクス3の液位が一定になるまでフラツクス
供給ポンプ42、電磁バルブ43を駆動制御して
フラツクス槽2゜内のフラツクス3を発泡ノズル
46に供給するようにしている。発泡ノズル46
は、その周囲を断熱カバー56で覆つている。
位になるようにフラツクス3が収納される必要が
あるので、発泡ノズル46には、液位センサー5
5が設けられている。 液位センサー55の信号
が制御回路39に入力され、発泡ノズル46内の
フラツクス3の液位が一定になるまでフラツクス
供給ポンプ42、電磁バルブ43を駆動制御して
フラツクス槽2゜内のフラツクス3を発泡ノズル
46に供給するようにしている。発泡ノズル46
は、その周囲を断熱カバー56で覆つている。
定温温調装置54の内部においては、供給管4
5の外周に、第5図に示すようにフラツクス3を
外部から暖めるためのヒーター56が巻かれてい
る。
5の外周に、第5図に示すようにフラツクス3を
外部から暖めるためのヒーター56が巻かれてい
る。
このようにした理由は、フラツクス3が有機溶
剤であるため、発泡ノズル46内において直接フ
ラツクス3を暖めることは危険なことによる。
剤であるため、発泡ノズル46内において直接フ
ラツクス3を暖めることは危険なことによる。
また供給管45の外周には、冷却器57に接続
された冷却パイプ58の端部が、第5図に示すよ
うに巻かれていて、フラツクス3を供給管45の
外部から冷やすようにしている。
された冷却パイプ58の端部が、第5図に示すよ
うに巻かれていて、フラツクス3を供給管45の
外部から冷やすようにしている。
第6図は本考案の主なシステムブロツク図を示
す。
す。
液位センサー55からの信号は、液位上下判定
回路59に入力され、発泡ノズル46内のフラツ
クス3が一定レベルの液位になるまで、フラツク
ス供給回路60によつてフラツクス供給ポンプ4
2及び電磁バルブ43を駆動してフラツクス槽
2′内のフラツクス3をフラツクス供給管44及
び供給管45を介して発泡ノズル46にフラツク
ス3を供給する。
回路59に入力され、発泡ノズル46内のフラツ
クス3が一定レベルの液位になるまで、フラツク
ス供給回路60によつてフラツクス供給ポンプ4
2及び電磁バルブ43を駆動してフラツクス槽
2′内のフラツクス3をフラツクス供給管44及
び供給管45を介して発泡ノズル46にフラツク
ス3を供給する。
フラツクス塗布装置1の使用時に駆動スイツ
チ61をオンするとエアーポンプ駆動回路62に
よつてエアーがエアー供給管50、発泡筒49を
通つて発泡エアー状フラツクス52が開口47よ
り噴出され、被半田付け物体に塗布される。
チ61をオンするとエアーポンプ駆動回路62に
よつてエアーがエアー供給管50、発泡筒49を
通つて発泡エアー状フラツクス52が開口47よ
り噴出され、被半田付け物体に塗布される。
温度センサー53からの出力信号により、温度
判定回路67により定温温調装置54が作動制御
される。
判定回路67により定温温調装置54が作動制御
される。
比重センサー4からの比重値信号は、比重判定
回路63に入力された後、比重温度補正回路64
に入力されて温度判定回路65からの設定温度に
換算した温度信号に見合つた比重信号に補正す
る。尚、比重センサー4からの信号は、上記比重
判定回路63に入力される。
回路63に入力された後、比重温度補正回路64
に入力されて温度判定回路65からの設定温度に
換算した温度信号に見合つた比重信号に補正す
る。尚、比重センサー4からの信号は、上記比重
判定回路63に入力される。
フラツクス槽2′内のフラツクス3を所定の比
重値のものに維持するため、補正回路64からの
信号により原液供給ポンプ36または希釈剤供給
ポンプ37を駆動し、適宜量の原液槽12内の原
液24または希釈液槽13内の希釈液25を供給
パイプ38を介してフラツクス槽2′内に供給す
る。
重値のものに維持するため、補正回路64からの
信号により原液供給ポンプ36または希釈剤供給
ポンプ37を駆動し、適宜量の原液槽12内の原
液24または希釈液槽13内の希釈液25を供給
パイプ38を介してフラツクス槽2′内に供給す
る。
液位センサー6からの信号は、液位判定回路6
6に入力され、フラツクス槽2′内のフラツクス
3が一定レベルになるまで、ポンプ36または3
7を駆動してフラツクス槽2′内にフラツクス3
を供給する。
6に入力され、フラツクス槽2′内のフラツクス
3が一定レベルになるまで、ポンプ36または3
7を駆動してフラツクス槽2′内にフラツクス3
を供給する。
(本考案の効果)
本考案は上記したようにフラツクスの定温管理
調節を行ない、またフラツクスの比重をも測定し
ているので、更には、その時の温度値における比
重値に補正しているので、フラツクスを正確な濃
度に設定できるため従来のフラツクス塗布装置に
比較して精度の良い半田付けが確保できるという
実用上の効果甚大なるものである。
調節を行ない、またフラツクスの比重をも測定し
ているので、更には、その時の温度値における比
重値に補正しているので、フラツクスを正確な濃
度に設定できるため従来のフラツクス塗布装置に
比較して精度の良い半田付けが確保できるという
実用上の効果甚大なるものである。
即ち、本考案によれば、フラツクスの温度を検
出する手段を設け、該温度検出手段からの信号に
基づいて上記フラツクスを設定温度における比重
値に補正する手段及び定温温調装置を作動させて
上記フラツクスを一定の比重値に保つようにした
ため、フラツクス塗布装置使用時に当たつて、フ
ラツクスを一定の比重値に保つために定温温調装
置を作動させるに当たつて、フラツクスが一定の
温度値にならない場合でも、あるいはフラツクス
が減少してフラツクス原液または希釈液を供給し
て、温度変化をきたしてその比重値変動が生じた
場合でも、比重センサーによつて検出したフラツ
クスの比重値を温度センサーからの信号によりそ
の比重値を温度補正しているため、比較的精度良
好にフラツクスを所定の比重値に管理でき、良好
な半田付けを行うことができる。
出する手段を設け、該温度検出手段からの信号に
基づいて上記フラツクスを設定温度における比重
値に補正する手段及び定温温調装置を作動させて
上記フラツクスを一定の比重値に保つようにした
ため、フラツクス塗布装置使用時に当たつて、フ
ラツクスを一定の比重値に保つために定温温調装
置を作動させるに当たつて、フラツクスが一定の
温度値にならない場合でも、あるいはフラツクス
が減少してフラツクス原液または希釈液を供給し
て、温度変化をきたしてその比重値変動が生じた
場合でも、比重センサーによつて検出したフラツ
クスの比重値を温度センサーからの信号によりそ
の比重値を温度補正しているため、比較的精度良
好にフラツクスを所定の比重値に管理でき、良好
な半田付けを行うことができる。
またフラツクスが望ましい比重値に設定される
ように温度センサーからの信号を基に定温温調装
置を作動制御してフラツクスの温度を上げ下げし
て、当該フラツクスを所定の温度値に保つように
しているため、フラツクスを望ましい比重値に設
定管理でき、従つて、極めて正確な比重値のフラ
ツクスを確保でき、極めて精度の良好な半田付け
が期待できる。
ように温度センサーからの信号を基に定温温調装
置を作動制御してフラツクスの温度を上げ下げし
て、当該フラツクスを所定の温度値に保つように
しているため、フラツクスを望ましい比重値に設
定管理でき、従つて、極めて正確な比重値のフラ
ツクスを確保でき、極めて精度の良好な半田付け
が期待できる。
このように定温温調装置を作動制御してフラツ
クスを所定の温度値に確保しておいた場合におい
ても、上記のようにフラツクス内のアルコールの
蒸発、水分混入、不純物の混入が生じ、フラツク
スの比重値や温度変化をきたした場合でも、比重
センサーによつて、その時のフラツクスの比重値
を検出しており、また温度センサーによつてフラ
ツクスの温度値を検出しているため、検出したフ
ラツクスの比重値信号を温度補正して、誤差の少
ない正確なフラツクスの比重値管理を行えるの
で、精度良く半田付けを行うことができる。
クスを所定の温度値に確保しておいた場合におい
ても、上記のようにフラツクス内のアルコールの
蒸発、水分混入、不純物の混入が生じ、フラツク
スの比重値や温度変化をきたした場合でも、比重
センサーによつて、その時のフラツクスの比重値
を検出しており、また温度センサーによつてフラ
ツクスの温度値を検出しているため、検出したフ
ラツクスの比重値信号を温度補正して、誤差の少
ない正確なフラツクスの比重値管理を行えるの
で、精度良く半田付けを行うことができる。
しかも、この場合、フラツクスの測定比重値信
号を考慮して、定温温調装置をコトロールして最
適な温度にフラツクスを保つ事が可能なので、従
来に比較して極めて高精度にフラツクスを望まし
い比重値に保つことが可能になり、高精度の半田
付けを行うことができる。
号を考慮して、定温温調装置をコトロールして最
適な温度にフラツクスを保つ事が可能なので、従
来に比較して極めて高精度にフラツクスを望まし
い比重値に保つことが可能になり、高精度の半田
付けを行うことができる。
またフラツクス槽とフラツクス塗布部とを分離
すれば、例えばフラツクス塗布部のみを自動半田
付け装置に設置し、フラツクス槽を自動半田付け
装置から取り外しておけば、自動半田付け装置を
非常に小型化できる。
すれば、例えばフラツクス塗布部のみを自動半田
付け装置に設置し、フラツクス槽を自動半田付け
装置から取り外しておけば、自動半田付け装置を
非常に小型化できる。
また上記のように分離することによつて、フラ
ツクス塗布部は、非常に小型で足りるため、発泡
ノズル内のフラツクスを定温管理するための定温
温調装置を小型且つ安価に形成することができ
る。
ツクス塗布部は、非常に小型で足りるため、発泡
ノズル内のフラツクスを定温管理するための定温
温調装置を小型且つ安価に形成することができ
る。
尚、この例では、発泡ノズル46にフラツクス
を供給する供給管の外部からフラツクスを加熱し
たり冷却したりしているが、フラツクスを入れた
発泡ノズル46の外部からフラツクスを加熱、冷
却してもよい。
を供給する供給管の外部からフラツクスを加熱し
たり冷却したりしているが、フラツクスを入れた
発泡ノズル46の外部からフラツクスを加熱、冷
却してもよい。
いずれにしても上記のように分離することによ
つて、定温温調管理装置を小型且つ安価に形成で
きるものである。
つて、定温温調管理装置を小型且つ安価に形成で
きるものである。
尚、上記実施例では、2つの温度センサー5と
53を用いた場合を示したが、何れか1つの温度
センサーを用いるだけでも良く、例えば、温度セ
ンサー53を省略し、温度センサー5を共用する
ようにすると、温度センサー5からの信号を温度
判定回路65及び67に出力するようにすれば良
い。しかし、実施例においては、フラツクス塗布
部をフラツクス槽と分離した例を示したので、こ
のような場合、発泡直前のフラツクスの温度情報
を知ることがフラツクスを望ましい比重値に設定
できるので、2つの温度センサー5と53を用い
て上記のようにそれぞれの温度センサー5,53
からの信号を上記温度判定回路65,67に出力
するようにすることが望ましい。従つて、温度セ
ンサー53は、発泡ノズル内に設けておくと非常
に有用なものとなる。特にこのようにした場合、
発泡ノズル内のフラツクスを常に望ましい温度に
維持できるので、フラツクスを正確な濃度のもの
にできるため、精度のよい半田付けを行うことが
できる。
53を用いた場合を示したが、何れか1つの温度
センサーを用いるだけでも良く、例えば、温度セ
ンサー53を省略し、温度センサー5を共用する
ようにすると、温度センサー5からの信号を温度
判定回路65及び67に出力するようにすれば良
い。しかし、実施例においては、フラツクス塗布
部をフラツクス槽と分離した例を示したので、こ
のような場合、発泡直前のフラツクスの温度情報
を知ることがフラツクスを望ましい比重値に設定
できるので、2つの温度センサー5と53を用い
て上記のようにそれぞれの温度センサー5,53
からの信号を上記温度判定回路65,67に出力
するようにすることが望ましい。従つて、温度セ
ンサー53は、発泡ノズル内に設けておくと非常
に有用なものとなる。特にこのようにした場合、
発泡ノズル内のフラツクスを常に望ましい温度に
維持できるので、フラツクスを正確な濃度のもの
にできるため、精度のよい半田付けを行うことが
できる。
第1図乃至第3図はそれぞれ従来の異なる例と
して示したフラツクス塗布装置の説明図、第4図
は本考案のフラツクス塗布装置の説明図、第5図
は同フラツクス塗布装置の定温温調装置の説明
図、第6図は同フラツクス塗布装置の制御システ
ムの説明図である。 符号の説明、1,1′,1″,1……フラツク
ス塗布装置、2,2′……フラツクス槽、3……
フラツクス、4……比重センサー、5……温度セ
ンサー、6……液位センサー、7……ライフセン
サー、8……制御回路、9,10……電磁弁、1
1……ポンプ、12……原液槽、13……希釈液
槽、14,15……供給パイプ、16……デジタ
ルパネルメーター、17……上,下限比重設定
器、18……上,下限比重判定回路、19……電
磁弁制御回路、20……圧力エアー源、21,2
2……圧力エアー供給パイプ、23……切換スイ
ツチ、24……フラツクス原液、25……希釈
液、26……空気源、27……温度補正回路、2
8……差動増幅器、29……発泡筒、30……発
泡筒カバー、31……発泡ノズル、32……温度
制御装置、33……温度設定器、34……熱交換
装置、35……フラツクス塗布部、36……フラ
ツクス原液供給ポンプ、37……希釈剤供給ポン
プ、38……供給パイプ、39……制御回路、4
0……伝達線、41……ボブ、42……フラツク
ス供給ポンプ、43……電磁バルブ、44……フ
ラツクス供給管、45……供給管、46……発泡
ノズル、47……開口、48……フラツクス貯蔵
用空胴部、49……発泡筒、50……エアー供給
管、51……エアーポンプ、52……発泡エアー
状フラツクス、53……温度センサー、54……
定温温調装置、55……液位センサー、56……
ヒーター、57……冷却器、58……冷却パイ
プ、59……液位上下判定回路、60……フラツ
クス供給回路、61……駆動スイツチ、62……
エアーポンプ駆動回路、63……比重判定回路、
64……比重温度補正回路、65……温度判定回
路、66……液位判定回路。
して示したフラツクス塗布装置の説明図、第4図
は本考案のフラツクス塗布装置の説明図、第5図
は同フラツクス塗布装置の定温温調装置の説明
図、第6図は同フラツクス塗布装置の制御システ
ムの説明図である。 符号の説明、1,1′,1″,1……フラツク
ス塗布装置、2,2′……フラツクス槽、3……
フラツクス、4……比重センサー、5……温度セ
ンサー、6……液位センサー、7……ライフセン
サー、8……制御回路、9,10……電磁弁、1
1……ポンプ、12……原液槽、13……希釈液
槽、14,15……供給パイプ、16……デジタ
ルパネルメーター、17……上,下限比重設定
器、18……上,下限比重判定回路、19……電
磁弁制御回路、20……圧力エアー源、21,2
2……圧力エアー供給パイプ、23……切換スイ
ツチ、24……フラツクス原液、25……希釈
液、26……空気源、27……温度補正回路、2
8……差動増幅器、29……発泡筒、30……発
泡筒カバー、31……発泡ノズル、32……温度
制御装置、33……温度設定器、34……熱交換
装置、35……フラツクス塗布部、36……フラ
ツクス原液供給ポンプ、37……希釈剤供給ポン
プ、38……供給パイプ、39……制御回路、4
0……伝達線、41……ボブ、42……フラツク
ス供給ポンプ、43……電磁バルブ、44……フ
ラツクス供給管、45……供給管、46……発泡
ノズル、47……開口、48……フラツクス貯蔵
用空胴部、49……発泡筒、50……エアー供給
管、51……エアーポンプ、52……発泡エアー
状フラツクス、53……温度センサー、54……
定温温調装置、55……液位センサー、56……
ヒーター、57……冷却器、58……冷却パイ
プ、59……液位上下判定回路、60……フラツ
クス供給回路、61……駆動スイツチ、62……
エアーポンプ駆動回路、63……比重判定回路、
64……比重温度補正回路、65……温度判定回
路、66……液位判定回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 希釈剤とフラツクス原液とからなるフラツク
スを貯蔵するフラツクス槽内の比重を検出する
手段を設け、上記比重検出手段によつて得られ
たフラツクスの比重値を設定温度における比重
値に補正する手段を設け、上記フラツクスを設
定された温度に上げ上げする定温温調装置を設
け、上記フラツクスの温度を検出する手段を設
け、該温度検出手段からの信号に基づいて上記
フラツクスを設定温度における比重値に補正す
る手段及び定温温調装置を作動させて上記フラ
ツクスを一定の比重値に保つようにしたことを
特徴とするフラツクス塗布装置。 (2) 上記定温温調装置は、フラツクスを発泡させ
る発泡ノズル内のフラツクスの温度を上げ下げ
することができる位置に配置されていることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項記載
のフラツクス塗布装置。 (3) 上記フラツクスの温度を検出する手段は、フ
ラツクス槽のフラツクスに浸した第1の温度セ
ンサーと、上記フラツクスを発泡する発泡ノズ
ル内のフラツクスに浸した第2の温度センサー
とからなり、上記第1の温度センサーからの信
号に基づいてフラツクス槽内のフラツクスの比
重値を設定温度における比重値に補正する手段
を作動させ、上記第2の温度センサーからの信
号に基づいて発泡ノズル内のフラツクスを設定
された温度に上げ下げする定温温調装置を作動
させるようにしたことを特徴とする実用新案登
録請求の範囲第(2)項記載のフラツクス塗布装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985086150U JPH0227975Y2 (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985086150U JPH0227975Y2 (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62113861U JPS62113861U (ja) | 1987-07-20 |
| JPH0227975Y2 true JPH0227975Y2 (ja) | 1990-07-27 |
Family
ID=30942195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985086150U Expired JPH0227975Y2 (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227975Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0831684B2 (ja) * | 1988-11-19 | 1996-03-27 | 株式会社日立製作所 | はんだ付方法及びはんだ付装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS563103U (ja) * | 1979-06-19 | 1981-01-12 | ||
| JPS5620946A (en) * | 1979-07-30 | 1981-02-27 | Sharp Corp | Air conditioner |
| JPS592937U (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-10 | 富士重工業株式会社 | エンジン駆動ゼネレ−タ |
| JPS5935796U (ja) * | 1982-08-31 | 1984-03-06 | 日産ディーゼル工業株式会社 | 防振カバ− |
-
1985
- 1985-06-07 JP JP1985086150U patent/JPH0227975Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62113861U (ja) | 1987-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4792078A (en) | Device for controlling concentration and temperature of flux | |
| JP7072453B2 (ja) | 基板処理装置、および基板処理方法 | |
| US20050121495A1 (en) | Temperature control system for solder handling devices and method for temperature control for those devices | |
| JPH0227975Y2 (ja) | ||
| CN110600419A (zh) | 一种静电吸盘及其使用方法 | |
| JP2006035587A (ja) | 液体粘度調整管理システム | |
| JPH0242384Y2 (ja) | ||
| JP2003130587A (ja) | 冷却水の循環冷却装置及びその水質管理方法 | |
| CN116339416A (zh) | 一种机床仪器液压循环液体温度调控系统 | |
| JPH0227976Y2 (ja) | ||
| JP2003148852A (ja) | チャック用温度制御装置及びチャックの温度制御方法 | |
| JPH0214856Y2 (ja) | ||
| JPS58214847A (ja) | 温度制御装置 | |
| CN114428038A (zh) | 一种落球法测液体粘滞系数实验装置 | |
| JP2002140119A (ja) | ワーク温度制御装置 | |
| CN223910727U (zh) | 一种ptc加热膜印刷浆料的粘度测试装置 | |
| JP2001208637A (ja) | 検査装置 | |
| CN220602765U (zh) | 一种高温表面源 | |
| CN223662047U (zh) | 光伏产线的能源供应系统 | |
| KR20010056088A (ko) | 반도체 장치 제조용 현상설비의 현상액 온도 제어장치 | |
| JPH08170807A (ja) | 蒸気加熱装置 | |
| JPH1078824A (ja) | 流体温度制御装置およびその方法 | |
| CN216560370U (zh) | 一种油脂氧化稳定性测试仪 | |
| KR200252743Y1 (ko) | 반도체 마킹장비의 온도조절시스템 | |
| JP2002197920A (ja) | 温度制御用水供給装置 |