JPH02288247A - ウェハ移し替え治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造プロセスにおいてロフト単位の
ウェハを移し替える際に用いられるウェハ移し替え治具
（以下、移し替え治具という）に関する。

〔従来の技術〕

従来から、ウェハキャリアと拡散炉内に挿入されるウェ
ハボートなどとの間でロフト単位のウェハを移し替える
ために用いられる移し替え治具２０としては、第６図で
示すように、互いに対向する多数のウェハ係大溝２１が
それぞれ並設された前後一対のつかみ具２２．２３をピ
ン２４によって連結するとともに、このピン２４を支点
としてつかみ具２２．２３をその前後方向（図では、矢
印へで示す）に沿って揺動させ、相対的に接近及び離間
させるように構成してなるものが知られている。そして
、この移し替え治具２０においては、ピン２４のそれぞ
れに装着されたつる巻バネ２５によって両つかみ具２２
．２３を互いに閉操作側に揺動付勢する一方、つかみ具
２２．２３それぞれの上方に連設された把手２６．２７
を作業者が握り寄せることにより、つかみ具２２．２３
が開操作されるようになっている。

そこで、作業者が移し替え治具２０の把手２６２７を握
り寄せてつかみ具２２．２３を開操作し、これらのつか
み具２２．２３をウェハキャリア（図示していない）上
に立姿勢で積載された多数のウェハＷを挟み込むように
して被せたのち、把手２６．２７の握り寄せを解除すれ
ば、つかみ具２２．２３はつる巻バネ２５の弾性力によ
って閉操作されることになり、これらのつかみ具２２．
２３間にはウェハ係入溝２１の数に対応した１０フト分
（２５枚程度）のウェハＷがつかみ持たれる。

そして、このようにしてつかみ持たれてウェハキャリア
から取り出された１０ット分のウェハＷは、拡散炉内に
挿入されるウェハボート（図示していない）に移し替え
られることになる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、前記従来構成の移し替え治具２０を用いると
、多数のウェハＷをロア）単位でつかみ持つことができ
、ウェハキャリアとウェハボートとの間でロフト単位の
ウェハＷを移し替えることができるにも拘わらず、この
移し替え治具２０を構成するつかみ具２２．２３を開操
作するための把手２６．２７がつかみ具２２．２３の上
方に設けられているため、つぎのような不都合が生じて
いた。

すなわち、例えば、複数のプロセスチューブが上下方向
に沿って配設されてなる拡散炉のように、各ウェハボー
ト引き出し個所の上側に他のＶＷ部分が庇状に張り出し
ており、プロセスチューブから引き出されたウェハボー
ト上方におけるウェハ移し替えスペースが少ない場合に
は、この移し替えスペース内に移し替え治具２０の把手
２６．２７を握り寄せた作業者の手が入らなくなるため
、この移し替え治具２０でつかみ持ったウェハＷをウェ
ハボートに移し替えることができなくなってしまう、そ
こで、このような場合には、いわゆる真空吸着ビンセッ
ト（図示していない）などを用いてウェハＷを一枚づつ
移し替えることになるが、真空吸着ピンセットなどを用
いたウェハＷの移し替え作業には多大な手間を要するば
かりか、ウェハＷのクランクや欠けを招いてしまうとい
う恐れがあった。

本発明は、上下方向におけるウェハ移し替えスペースが
少ない場合でも、何らの不都合なくロット単位のウェハ
を容易に移し替えることが可能な移し替え治具の提供を
目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

本発明にかかる移し替え治具は、このような目的を達成
するために、互いに対向する多数のウェハ係入溝がそれ
ぞれ並設されて相対的に接近及び離反しろる前後一対の
つかみ具をフレームに取りつけ、かつ、このフレームに
後方に向かって突出する把手を設けるとともに、前記つ
かみ具を開閉操作する操作レバーを前記把手に沿って共
握り可能に配設したことを特徴とするものである。

〔作用〕

上記構成によれば、第２図で示すように、作業者が片手
でウェハ移し替え治具を構成するフレームから後方に向
かって突出する把手を支持するとともに、この把手に沿
って配設された操作レバーを片手の手指によって共握り
すれば、前後一対のつかみ具が開操作されることになる
。そこで、この移し替え治具においては、その後方、す
なわち、側方に設けられた操作レバーを共握りするか否
かによってつかみ具の開閉操作が行われることになり、
上下方向におけるウェハ移し替えスペースが少なくても
何らの不都合なくロフト単位のウェハを移し替えること
が可能となる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図ないし第５図は本発明にかかる移し替え治具を示
しており、これらの図における符号１は移し替え治具で
ある。この移し替え治具１は、前後方向（図では、矢印
Ａで示す）に沿って配設された一対のつかみ具２，３と
、これらを支持するフレーム４とを備えており、つかみ
具２．３のそれぞれは１０ット分（２５枚程度）のウェ
ハＷを並列した際の幅寸法に相当する横幅を有する上部
つかみ具２ａ、３ａ及び下部つかみ具２ｂ、３ｂによっ
て構成されている。また、フレーム４は左右一対のフレ
ーム板４ａ、４ａによって構成されており、このフレー
ム４には後方に向かって突出する１本の把手５が設けら
れている。なお、これらのフレーム板４ａ、４ａは、チ
タン合金などのような軽量高剛性金属材料によって形成
されていそして、つかみ具２を構成する上部つかみ具２
ａと、つかみ具３を構成する上部つかみ具３ａとは、そ
の左右に位置するフレーム板４ａ、４ａに対し、これら
を連結する架橋状にネジ止め固定されており、これらの
つかみ具２ａ、３ａそれぞれの内側には互いに対向する
多数のウェハ係入溝６が並設されている。一方、つかみ
具２．３の下部つかみ具２ｂ、３ｂそれぞれは、フレー
ム板４ａ。

４ａの下側所定位置に配設されたピン７．８を中心とし
、かつ、前後方向に沿って揺動可能に支持された左右一
対づつの連結アーム９．］０に対してネジ止め固定され
ている。すなわち、これらの下部つかみ具２ｂ、３ｂは
、前後方向に沿って接近及び離反しうるように構成され
ており、互いに逆方向に向かって接近及び離反するよう
に連動リンク１２を介して連結されている。そして、こ
れらの下部つかみ具２ｂ、３ｂそれぞれの内側にも、上
部つかみ具２ａ、３ａのウェハ係入溝６と同一ピッチと
された多数のウェハ係入溝１１が並設されている。なお
、これらのつかみ具２ａ、２ｂ。

３ａ、３ｂは適度の弾性と耐熱性とを合わせ持ったフッ
素系樹脂材料によって形成される一方、下部つかみ具２
ｂ、３ｂを連結する連動リンク１２の支点となるピン１
３．１４の頭部は隣接するウェハＷへの接触を考慮して
樹脂材料で形成されている。

一方、把手５は平面視丁字形に形成されており、左右の
フレーム板４ａ、４ａ間に架橋状でネジ止め固定されて
いる。そして、この把手５の前側下方位置にはピン１５
を中心とし、かつ、上下方向に沿って揺動しうる操作レ
バー１６が設けられており、この操作レバー１６と後側
に位置する下部つかみ具３ｂとはリンク１７を介して連
動するようになっている。さらに、操作レバー１６を支
持するピン１５には、第４図及び第５図で示すように、
つる巻バネ１８が装着されており、操作レバー１６はつ
る巻バネ１８によって下方に向かって突出するように揺
動付勢されている。そこで、この操作レバー１６に連結
された下部つかみ具３ｂと、これと連動リンク１２を介
して連結された下部つかみ具２ｂとは、つる巻バネ１８
によって互いに接近する方向、すなわち、ウェハＷをつ
かみ持つ閉操作側に揺動付勢されていることになる。

なお、このつる巻バネ１８は、少なくとも１０ット分の
ウェハＷの重量（１−１，５Ｋｇ程度）を支持するのに
充分な弾性力を有している。また、図示していないが、
把手５の下側所定位置につる巻バネ１８の弾性力による
操作レバー１６の閉操作側に向かう動作を規制するため
のストッパーを設けておいてもよい。

したがって、本実施例の移し替え治具１を用いてウェハ
Ｗをつかみ持つ場合、把手５をつかんだ片手の手指で操
作レバー１６を共握りすれば、第５図で示すように、つ
かみ具２，３を構成する下部つかみ具２ｂ、３ｂが前後
方向に沿って開操作されることになり、また、操作レバ
ー１６から手指を放せば、第４図で示すように、下部つ
かみ具２ｂ、３ｂがつる巻バネ１８の弾性力によって閉
操作されることになる。そこで、これらの操作により、
第２図で示すように、上部つかみ具２ａ。

３ａ及び下部つかみ具２ｂ、３ｂによって１０フト分の
ウェハＷが保持されることになる。さらに、このように
してつかみ持ったウェハＷをウェハボートもしくはウェ
ハキャリアに移し替えるときには、再び操作レバー１６
を把手５とともに握ればよいことになる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明にかかる移し替え治具にお
いては、ウェハをつかみ持つ前後一対のつかみ具が取り
つけられたフレームの側方に把手を設けるとともに、つ
かみ具を開閉操作する操作レバーを把手に沿って共握り
可能に配設しているので、片手で把手を支持した作業者
がその手指によって操作レバーを共握りすればつかみ具
が開操作され、また、その手指を放せばつかみ具が閉操
作されることになる。したがって、この移し替え治具で
は、その側方に設けられた把手に沿って配設された操作
レバーを共握りするか否かによってつかみ具の開閉操作
が行われることになり、上下方向におけるウェハ移し替
えスペースが少なくて作業者の手が入らない場合にも、
何らの不都合なくロフト単位のウェハを移し替えること
が可能となる。

そこで、従来例のように、真空吸着ピンセットを用いて
ウェハを移し替える必要がなくなり、この移し替え作業
に要する手間を省くことができるとともに、ウニへのク
ラックや欠けを招く恐れもなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本発明の実施例を示しており、第
１図はウェハ移し替え治具の外観斜視図、第２図はウェ
ハをつかみ持った状態におけるウェハ移し替え治具の外
観斜視図、第３図はウェハ移し替え治具の平面図、第４
図はつかみ具を閉操作した状態におけるウェハ移し替え
治具の側面図、第５図はつかみ具を開操作した状態にお
けるウェハ移し替え治具の一部切欠き側面図である。ま
た、第６図は従来例にかかるウェハ移し替え治具の外観
斜視図である。 図における符号１はウェハ移し替え治具、２゜３はつか
み具、２ａ、３ａは上部つかみ具、２ｂ。 ３ｂは下部つかみ具、４はフレーム、４ａはフレーム板
、５は把手、６，１１はウェハ係入溝、１６は操作レバ
ーである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）互いに対向する多数のウェハ係入溝がそれぞれ並
   設されて相対的に接近及び離反しうる前後一対のつかみ
   具をフレームに取りつけ、かつ、このフレームに後方に
   向かって突出する把手を設けるとともに、前記つかみ具
   を開閉操作する操作レバーを前記把手に沿って共握り可
   能に配設したことを特徴とするウェハ移し替え治具。