JPH0228833B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0228833B2 JPH0228833B2 JP56161725A JP16172581A JPH0228833B2 JP H0228833 B2 JPH0228833 B2 JP H0228833B2 JP 56161725 A JP56161725 A JP 56161725A JP 16172581 A JP16172581 A JP 16172581A JP H0228833 B2 JPH0228833 B2 JP H0228833B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- capacity capacitor
- under test
- large capacity
- circuit under
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 43
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 41
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/316—Testing of analog circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、アナログ信号処理用の電子回路を単
一の半導体基板内へ集積化した半導体集積回路の
交流諸特性を高速で測定する試験方法に関する。
一の半導体基板内へ集積化した半導体集積回路の
交流諸特性を高速で測定する試験方法に関する。
かかる半導体集積回路（以下被試験集積回路と
記す）の交流諸特性を測定するにあたり、従来被
試験集積回路の周辺に大容量のコンデンサを付加
する場合があつた。このコンデンサは、直流電圧
阻止交流信号通過、異常発振の防止、リツプル除
去などさまざまな目的に沿つて付加されている。
記す）の交流諸特性を測定するにあたり、従来被
試験集積回路の周辺に大容量のコンデンサを付加
する場合があつた。このコンデンサは、直流電圧
阻止交流信号通過、異常発振の防止、リツプル除
去などさまざまな目的に沿つて付加されている。
第１図は従来の交流諸特性の試験回路の構成例
を示す図であり、図中１は被試験集積回路、２は
大容量の入力コンデンサ、３は交流測定信号源、
４は大容量のコンデンサ、５は被試験集積回路用
直流電源、６は直流電源用スイツチそして７は交
流出力測定器である。
を示す図であり、図中１は被試験集積回路、２は
大容量の入力コンデンサ、３は交流測定信号源、
４は大容量のコンデンサ、５は被試験集積回路用
直流電源、６は直流電源用スイツチそして７は交
流出力測定器である。
以上のように構成された試験回路の直流電源用
スイツチ６を閉成することによつて被試験集積回
路１へ所定の直流電圧を印加するとともに、交流
測定信号源３から交流測定信号を供給して交流特
性を測定する場合、コンデンサ２と４の接続され
る被試験集積回路の端子の抵抗が高くコンデンサ
の充電々流が小さいと、時定数（CR時定数）が
極めて大きくなる。このため、交流諸特性の測定
は、コンデンサ２および４への充電が完了し、被
試験集積回路１が安定状態に達したのちに行わね
ばならなかつた。勿論、上述した端子の抵抗が比
較的低い場合であつても、コンデンサが大容量で
あるとやはり充電時定数は大きくなる。
スイツチ６を閉成することによつて被試験集積回
路１へ所定の直流電圧を印加するとともに、交流
測定信号源３から交流測定信号を供給して交流特
性を測定する場合、コンデンサ２と４の接続され
る被試験集積回路の端子の抵抗が高くコンデンサ
の充電々流が小さいと、時定数（CR時定数）が
極めて大きくなる。このため、交流諸特性の測定
は、コンデンサ２および４への充電が完了し、被
試験集積回路１が安定状態に達したのちに行わね
ばならなかつた。勿論、上述した端子の抵抗が比
較的低い場合であつても、コンデンサが大容量で
あるとやはり充電時定数は大きくなる。
このように、従来の試験回路を用いた場合に
は、試験作業時間の中に待期のための時間が点め
る割合が大きく、このため高速の測定が困難であ
り、作業能率の低下は避けられなかつた。
は、試験作業時間の中に待期のための時間が点め
る割合が大きく、このため高速の測定が困難であ
り、作業能率の低下は避けられなかつた。
本発明は、以上説明してきた従来の試験回路に
存在した不都合の排除を意図してなされたもので
あり、本発明の試験方法の特徴は、大容量コンデ
ンサを大容量ならびに小容量のコンデンサに分割
し、直流電源印加時には被試験集積回路に小容量
のコンデンサを付加して回路が異常状態に陥いる
ことを抑え、同時に大容量のコンデンサを被試験
集積回路とは異るコンデンサ充電器で急速充電
し、充電の完了したコンデンサを被試験集積回路
へ接続する方法を採ることによつて高速測定を可
能としたところにある。
存在した不都合の排除を意図してなされたもので
あり、本発明の試験方法の特徴は、大容量コンデ
ンサを大容量ならびに小容量のコンデンサに分割
し、直流電源印加時には被試験集積回路に小容量
のコンデンサを付加して回路が異常状態に陥いる
ことを抑え、同時に大容量のコンデンサを被試験
集積回路とは異るコンデンサ充電器で急速充電
し、充電の完了したコンデンサを被試験集積回路
へ接続する方法を採ることによつて高速測定を可
能としたところにある。
以下に本発明の試験方法を可能にする試験回路
の構成を示す第２図を参照して本発明について詳
しく説明する。図示するように、本発明の試験方
法で採用する試験回路では、第１図で示した大容
量コンデンサ２と４にかわつて大容量コンデンサ
２′と小容量コンデンサ８ならびに大容量コンデ
ンサ４′と９が準備され、また、大容量コンデン
サ２′と４′は回路切換器１０と１１を介して小容
量コンデンサ８と９に並列に接続出来る関係で配
置され、さらに大容量コンデンサ２′と４′には小
容量コンデンサ８と９が接続される被試験集積回
路の端子電圧を正確に検出して急速に充電する高
入力抵抗の増幅器よりなる充電回路１２，１３を
接続した構成が採られている。
の構成を示す第２図を参照して本発明について詳
しく説明する。図示するように、本発明の試験方
法で採用する試験回路では、第１図で示した大容
量コンデンサ２と４にかわつて大容量コンデンサ
２′と小容量コンデンサ８ならびに大容量コンデ
ンサ４′と９が準備され、また、大容量コンデン
サ２′と４′は回路切換器１０と１１を介して小容
量コンデンサ８と９に並列に接続出来る関係で配
置され、さらに大容量コンデンサ２′と４′には小
容量コンデンサ８と９が接続される被試験集積回
路の端子電圧を正確に検出して急速に充電する高
入力抵抗の増幅器よりなる充電回路１２，１３を
接続した構成が採られている。
本発明では、かかる構成の試験回路を用い、以
下のようにして被試験集積回路の交流諸特性の測
定が行われる。先ず、従来と同様、直流電源用ス
イツチ６を閉成して被試験集積回路用電源５から
被試験集積回路１に所定の電源電圧Vccを印加す
る。この電源電圧Vccの印加時には回路切換器１
０と１１は図示する接点を選択している。このた
め大容量のコンデンサ２′と４′は被試験集積回路
１には接続されてはおらず、小容量のコンデンサ
８と９のみが接続されるところとなり、これらの
小容量コンデンサにより試験回路の異常発振など
の異常状態に陥いることを防いでいる。ところ
で、充電回路１２と１３は電源投入直後における
被試験集積回路１の端子電圧を検出し、被試験集
積回路１が安定状態となるレベルまで大容量コン
デンサ２′と４′を急速に充電する。
下のようにして被試験集積回路の交流諸特性の測
定が行われる。先ず、従来と同様、直流電源用ス
イツチ６を閉成して被試験集積回路用電源５から
被試験集積回路１に所定の電源電圧Vccを印加す
る。この電源電圧Vccの印加時には回路切換器１
０と１１は図示する接点を選択している。このた
め大容量のコンデンサ２′と４′は被試験集積回路
１には接続されてはおらず、小容量のコンデンサ
８と９のみが接続されるところとなり、これらの
小容量コンデンサにより試験回路の異常発振など
の異常状態に陥いることを防いでいる。ところ
で、充電回路１２と１３は電源投入直後における
被試験集積回路１の端子電圧を検出し、被試験集
積回路１が安定状態となるレベルまで大容量コン
デンサ２′と４′を急速に充電する。
このようにして大容量コンデンサ２′と４′の充
電が完了したのち、回路切換器１０と１１を働か
せることにより大容量コンデンサ２′と４′を被試
験集積回路１の端子へ接続する。コンデンサ８と
２′ならびに９と４′は第１図で示した大容量コン
デンサを分割したものであるため、上記の動作で
被試験集積回路１の端子には第１図で示した大容
量コンデンサ２ならびに４と等しい容量値をも
ち、しかも充電の完了したコンデンサが接続され
る。次いで、交流出力測定器７を用いて交流諸特
性の測定をなすことにより、本発明にかかる試験
が完了する。
電が完了したのち、回路切換器１０と１１を働か
せることにより大容量コンデンサ２′と４′を被試
験集積回路１の端子へ接続する。コンデンサ８と
２′ならびに９と４′は第１図で示した大容量コン
デンサを分割したものであるため、上記の動作で
被試験集積回路１の端子には第１図で示した大容
量コンデンサ２ならびに４と等しい容量値をも
ち、しかも充電の完了したコンデンサが接続され
る。次いで、交流出力測定器７を用いて交流諸特
性の測定をなすことにより、本発明にかかる試験
が完了する。
なお、充電器１２と１３は被試験集積回路１と
は高抵抗接続されているため、試験回路の交流特
性には何等の影響も及ぼさない。
は高抵抗接続されているため、試験回路の交流特
性には何等の影響も及ぼさない。
以上説明したところから明らかなように、本発
明の試験方法によれば、大容量コンデンサを被試
験集積回路を介すことなく急速に充電し、充電完
了後にこれを被試験集積回路に接続することによ
つて被試験集積回路を安定状態としているため、
極めて速い測定が可能であり、試験作業の能率を
著しく高めることのできる効果が奏される。
明の試験方法によれば、大容量コンデンサを被試
験集積回路を介すことなく急速に充電し、充電完
了後にこれを被試験集積回路に接続することによ
つて被試験集積回路を安定状態としているため、
極めて速い測定が可能であり、試験作業の能率を
著しく高めることのできる効果が奏される。
第１図は従来の被試験集積回路の交流特性を測
定する代表的な回路図、第２図は本発明にかかる
交流特性の試験方法を可能にする代表的な回路例
を示す図である。 １……被試験集積回路、２……大容量コンデン
サ、３……交流測定信号源、４……大容量コンデ
ンサ、５……被試験集積回路用直流電源、６……
直流電源用スイツチ、７……交流出力測定器、
８，９……分割小容量コンデンサ、２′，４′……
分割大容量コンデンサ、１０，１１……回路切換
器、１２，１３……被試験集積回路端子電圧検出
用高入力抵抗増幅器よりなる大容量コンデンサ充
電回路。
定する代表的な回路図、第２図は本発明にかかる
交流特性の試験方法を可能にする代表的な回路例
を示す図である。 １……被試験集積回路、２……大容量コンデン
サ、３……交流測定信号源、４……大容量コンデ
ンサ、５……被試験集積回路用直流電源、６……
直流電源用スイツチ、７……交流出力測定器、
８，９……分割小容量コンデンサ、２′，４′……
分割大容量コンデンサ、１０，１１……回路切換
器、１２，１３……被試験集積回路端子電圧検出
用高入力抵抗増幅器よりなる大容量コンデンサ充
電回路。
Claims (1)
- １ 所定の外部端子に大容量コンデンサの接続さ
れる半導体集積回路の交流特性を試験するにあた
り、前記大容量コンデンサを小容量コンデンサと
大容量コンデンサとに分割し、同分割小容量コン
デンサを前記半導体集積回路の前記外部接続端子
へ接続した状態で動作電圧を印加し、さらに前記
分割大容量コンデンサを回路切換器を介して前記
外部接続端子へ接続可能な関係で配設するととも
に動作電圧印加直後には前記外部端子への接続を
断ち、同外部端子の電圧を検出する高入力抵抗増
幅器よりなる充電回路で急速充電し、次いで充電
完了ずみ分割大容量コンデンサを前記外部接続端
子へ繋ぎ前記半導体集積回路を安定状態に設定す
ることを特徴とする半導体集積回路の試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56161725A JPS5862575A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | 半導体集積回路の試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56161725A JPS5862575A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | 半導体集積回路の試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5862575A JPS5862575A (ja) | 1983-04-14 |
| JPH0228833B2 true JPH0228833B2 (ja) | 1990-06-26 |
Family
ID=15740690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56161725A Granted JPS5862575A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | 半導体集積回路の試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5862575A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6350072U (ja) * | 1986-09-20 | 1988-04-05 |
-
1981
- 1981-10-09 JP JP56161725A patent/JPS5862575A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5862575A (ja) | 1983-04-14 |
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