JPH0229815Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0229815Y2 JPH0229815Y2 JP1984187845U JP18784584U JPH0229815Y2 JP H0229815 Y2 JPH0229815 Y2 JP H0229815Y2 JP 1984187845 U JP1984187845 U JP 1984187845U JP 18784584 U JP18784584 U JP 18784584U JP H0229815 Y2 JPH0229815 Y2 JP H0229815Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- spindle
- stator
- hydrostatic
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Motor Or Generator Frames (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
この考案は、極小内径研削及び小径ドリリング
用高速スピンドル等として利用される静圧気体軸
受装置に関するものである。
用高速スピンドル等として利用される静圧気体軸
受装置に関するものである。
従来の技術
極小内径研削及び小径ドリリング用高速スピン
ドル等として利用される静圧気体軸受装置に対し
精密化と高速化が要求されている。第２図は斯か
る目的で使用されているスピンドル装置を例示す
る縦断面図であつて、１はハウジング、２はハウ
ジング１内に貫通配置されたスピンドル、３はス
ピンドル２を回転駆動させるモータ、４は静圧ラ
ジアル軸受、５はスラスト軸受である。
ドル等として利用される静圧気体軸受装置に対し
精密化と高速化が要求されている。第２図は斯か
る目的で使用されているスピンドル装置を例示す
る縦断面図であつて、１はハウジング、２はハウ
ジング１内に貫通配置されたスピンドル、３はス
ピンドル２を回転駆動させるモータ、４は静圧ラ
ジアル軸受、５はスラスト軸受である。
ハウジング１は軸方向に給気通路６を形成し、
かつ、給気通路６と連通させて軸方向数箇所に半
径方向に延びる給気孔７，７……を形成してい
る。また、ハウジング１は、一方（図中左方）の
端面に中央部に軸受スリーブ８ａを有する蓋板８
を取付け、他方（図中右方）の端面にスラスト板
９を取付け、更にスラスト板９の外側面にスラス
ト押え１０を取付けている。
かつ、給気通路６と連通させて軸方向数箇所に半
径方向に延びる給気孔７，７……を形成してい
る。また、ハウジング１は、一方（図中左方）の
端面に中央部に軸受スリーブ８ａを有する蓋板８
を取付け、他方（図中右方）の端面にスラスト板
９を取付け、更にスラスト板９の外側面にスラス
ト押え１０を取付けている。
スピンドル２は大径の軸受部２ａとその先端
（図中左方）に設けた小径の取付部２ｂとからな
り、取付部２ｂを蓋板８の軸受スリーブ８ａを貫
通させてその先端部を蓋板８の外側面から突出さ
せてある。
（図中左方）に設けた小径の取付部２ｂとからな
り、取付部２ｂを蓋板８の軸受スリーブ８ａを貫
通させてその先端部を蓋板８の外側面から突出さ
せてある。
モータ３はステータ１１とロータ１２とで構成
され、ステータ１１はハウジング１の内径面に圧
入等の適当な固着手段によつて固着され、ロータ
１２はスピンドル２の軸受部２ａ上に固着されて
いる。ステータ１１は多数のステータコアを軸方
向に積重ね、その円周等配置に全長に亘つてコイ
ル１３を巻装させたものである。そして、このス
テータ１１はハウジング１に形成された給気孔
７，７……と対応させて外周面全周に亘つて環状
溝１４，１４……を形成し、かつ、各環状溝１
４，１４……の底部にステータ１１の内径面に開
口した内径側にノズル１５ａを有するノズル孔１
５を円周等配置に多数形成して静圧ラジアル軸受
４の噴出機能を備えている。１６，１６……はス
テータ１１の内径面側に形成された排出孔で、図
面では示されてないがコイル１３を巻装させるコ
イル孔と連通されている。
され、ステータ１１はハウジング１の内径面に圧
入等の適当な固着手段によつて固着され、ロータ
１２はスピンドル２の軸受部２ａ上に固着されて
いる。ステータ１１は多数のステータコアを軸方
向に積重ね、その円周等配置に全長に亘つてコイ
ル１３を巻装させたものである。そして、このス
テータ１１はハウジング１に形成された給気孔
７，７……と対応させて外周面全周に亘つて環状
溝１４，１４……を形成し、かつ、各環状溝１
４，１４……の底部にステータ１１の内径面に開
口した内径側にノズル１５ａを有するノズル孔１
５を円周等配置に多数形成して静圧ラジアル軸受
４の噴出機能を備えている。１６，１６……はス
テータ１１の内径面側に形成された排出孔で、図
面では示されてないがコイル１３を巻装させるコ
イル孔と連通されている。
静圧スラスト軸受５はスラスト板９にスピンド
ル２の軸受部２ａの端面と対向させてスピンドル
２回りの円周等配置に先端にノズル１７ａを有す
るノズル孔１７を多数形成し、かつ、スラスト押
え１０の内側面に多数のノズル孔１７と連通する
環状溝１８を形成すると共に、ハウジング１の給
気通路６から分岐して環状溝１８に連通する分岐
通路１９を形成している。
ル２の軸受部２ａの端面と対向させてスピンドル
２回りの円周等配置に先端にノズル１７ａを有す
るノズル孔１７を多数形成し、かつ、スラスト押
え１０の内側面に多数のノズル孔１７と連通する
環状溝１８を形成すると共に、ハウジング１の給
気通路６から分岐して環状溝１８に連通する分岐
通路１９を形成している。
尚、２０は一端をコネクタ２１を介してハウジ
ング１の給気通路６に接続し、他端を系外の圧空
源、例えば、コンプレツサ（図示せず）等に接続
した給気パイプで、コンプレツサからの圧縮空気
を給気通路６に供給する。
ング１の給気通路６に接続し、他端を系外の圧空
源、例えば、コンプレツサ（図示せず）等に接続
した給気パイプで、コンプレツサからの圧縮空気
を給気通路６に供給する。
以上構造のスピンドル装置は、使用時モータ３
のステータ１１に装着したコイル１３に電流を印
加してロータ１２及びスピンドル２を回転させる
と共に、コンプレツサから給気パイプ２０を介し
てハウジング１の給気通路６へ圧縮空気を供給す
る。すると、給気通路６に供給された圧縮空気
は、各給気孔７，７……及び分岐通路１９へ流れ
込み、各給気孔７，７……よりステータ１１の環
状溝１４，１４……を経てノズル孔１５，１５…
…のノズル１５ａ，１５ａ……からロータ１２の
表面に向かつて噴出し、ステータ１１とロータ１
２との間に静圧ラジアル軸受４を構成してスピン
ドル２に生じるラジアル荷重を負荷する。一方、
分岐通路１９に流れ込んだ圧縮空気は、分岐通路
１９より環状溝１８を経てノズル孔１７，１７…
…のノズル孔１７ａ，１７ａ……からスピンドル
２の軸受部２ａの端面に向かつて噴出し、スピン
ドル２の軸受部２ａの端面とスラスト板９との間
に静圧スラスト軸受５を構成してスピンドル２に
生じるスラスト荷重を負荷する。この場合、スピ
ンドル２はスラスト板９とのエア・ギヤツプを保
持する為、図面では示されていないが、スラスト
板９側に磁気吸引されている。静圧ラジアル軸受
４及び静圧スラスト軸受５に供給された圧縮空気
は、一部は各部の隙間から外部へ排出され、残り
はステータ１１に形成された排出孔１６，１６…
…からコイル孔を経て外部へ排出される。
のステータ１１に装着したコイル１３に電流を印
加してロータ１２及びスピンドル２を回転させる
と共に、コンプレツサから給気パイプ２０を介し
てハウジング１の給気通路６へ圧縮空気を供給す
る。すると、給気通路６に供給された圧縮空気
は、各給気孔７，７……及び分岐通路１９へ流れ
込み、各給気孔７，７……よりステータ１１の環
状溝１４，１４……を経てノズル孔１５，１５…
…のノズル１５ａ，１５ａ……からロータ１２の
表面に向かつて噴出し、ステータ１１とロータ１
２との間に静圧ラジアル軸受４を構成してスピン
ドル２に生じるラジアル荷重を負荷する。一方、
分岐通路１９に流れ込んだ圧縮空気は、分岐通路
１９より環状溝１８を経てノズル孔１７，１７…
…のノズル孔１７ａ，１７ａ……からスピンドル
２の軸受部２ａの端面に向かつて噴出し、スピン
ドル２の軸受部２ａの端面とスラスト板９との間
に静圧スラスト軸受５を構成してスピンドル２に
生じるスラスト荷重を負荷する。この場合、スピ
ンドル２はスラスト板９とのエア・ギヤツプを保
持する為、図面では示されていないが、スラスト
板９側に磁気吸引されている。静圧ラジアル軸受
４及び静圧スラスト軸受５に供給された圧縮空気
は、一部は各部の隙間から外部へ排出され、残り
はステータ１１に形成された排出孔１６，１６…
…からコイル孔を経て外部へ排出される。
考案が解決しようとする問題点
前記静圧気体軸受装置において静圧ラジアル軸
受４は、モータ３のステータ１１としても機能す
る必要がある為、ステータ１１を構成するコイル
１３が側方へはみ出している。これによつて、ス
ピンドル２の小径な取付部２ｂの軸方向長さが増
大し、取付部２ｂのラジアル剛性が大巾に低下す
ると共に軸−軸受系の共振周波数が低下して静圧
気体軸受装置の回転精度に低下を来す。
受４は、モータ３のステータ１１としても機能す
る必要がある為、ステータ１１を構成するコイル
１３が側方へはみ出している。これによつて、ス
ピンドル２の小径な取付部２ｂの軸方向長さが増
大し、取付部２ｂのラジアル剛性が大巾に低下す
ると共に軸−軸受系の共振周波数が低下して静圧
気体軸受装置の回転精度に低下を来す。
問題点を解決するための手段
この考案は、大径の軸受部とその先端に設けた
小径の取付部を有するスピンドルを、モータ兼用
の静圧ラジアル軸受並びに静圧スラスト軸受を介
して回転自在に支持する静圧気体軸受装置に於い
て、前記静圧ラジアル軸受を兼ねるモータのステ
ータを構成するコイルのはみ出し部分に、前記ス
テータの内径と同じ内径寸法を有する非磁性樹脂
のモールド層を被覆し、このモールド層の内径内
へスピンドルの軸受部を延長挿入したものであ
る。
小径の取付部を有するスピンドルを、モータ兼用
の静圧ラジアル軸受並びに静圧スラスト軸受を介
して回転自在に支持する静圧気体軸受装置に於い
て、前記静圧ラジアル軸受を兼ねるモータのステ
ータを構成するコイルのはみ出し部分に、前記ス
テータの内径と同じ内径寸法を有する非磁性樹脂
のモールド層を被覆し、このモールド層の内径内
へスピンドルの軸受部を延長挿入したものであ
る。
作 用
この考案は、ステータよりはみ出すコイルに非
磁性樹脂のモールド層を被覆し、そのモールド層
で静圧ラジアル軸受の軸受面を形成してスピンド
ルの軸受部を延長してその分、取付部を短くした
ものである。
磁性樹脂のモールド層を被覆し、そのモールド層
で静圧ラジアル軸受の軸受面を形成してスピンド
ルの軸受部を延長してその分、取付部を短くした
ものである。
モールド層はステータの外側に位置し、しかも
非磁性体であることから、スピンドルと接触した
としてもモータ機能に何ら悪影響を及ぼすもので
はなく、したがつて、樹脂軸受としての作用も期
待できる。
非磁性体であることから、スピンドルと接触した
としてもモータ機能に何ら悪影響を及ぼすもので
はなく、したがつて、樹脂軸受としての作用も期
待できる。
実施例
第１図はこの考案を実施したスピンドル装置を
示すもので、第２図と同一符号は同一物を示す。
第２図のスピンドル装置と相違するのは、ステー
タ１１の前面側のコイル１３のはみ出し部分に、
ステータ１１の内径と同じ内径寸法を有する非磁
性樹脂のモールド層２２を被覆し、このモールド
層２２の内径内へスピンドル２の軸受部２ａを延
長挿入したのみで、その他の構成は同じである。
示すもので、第２図と同一符号は同一物を示す。
第２図のスピンドル装置と相違するのは、ステー
タ１１の前面側のコイル１３のはみ出し部分に、
ステータ１１の内径と同じ内径寸法を有する非磁
性樹脂のモールド層２２を被覆し、このモールド
層２２の内径内へスピンドル２の軸受部２ａを延
長挿入したのみで、その他の構成は同じである。
この考案は、ステータ１１の前面側のコイル１
３のはみ出す部分に、非磁性樹脂のモールド層２
２を被覆し、そのモールド層２２の内径面で静圧
ラジアル軸受４の軸受面を形成するようにしたの
で、静圧ラジアル軸受４の軸承機能をスピンドル
２の先端部側に延長することができ、これにより
スピンドル２の大径を有する軸受部２ａを延長
し、その分、小径を有する取付部２ｂを短くする
ことができる。この場合、モールド層２２の軸方
向長さは、スピンドル２の直径をＤとし、ノズル
孔１５，１５……のノズル１５ａ，１５ａ……間
の距離をＬとして静圧ラジアル軸受４の形成に最
適なＬ／Ｄ≦１の条件を考慮に入れて設定するの
が望ましい。
３のはみ出す部分に、非磁性樹脂のモールド層２
２を被覆し、そのモールド層２２の内径面で静圧
ラジアル軸受４の軸受面を形成するようにしたの
で、静圧ラジアル軸受４の軸承機能をスピンドル
２の先端部側に延長することができ、これにより
スピンドル２の大径を有する軸受部２ａを延長
し、その分、小径を有する取付部２ｂを短くする
ことができる。この場合、モールド層２２の軸方
向長さは、スピンドル２の直径をＤとし、ノズル
孔１５，１５……のノズル１５ａ，１５ａ……間
の距離をＬとして静圧ラジアル軸受４の形成に最
適なＬ／Ｄ≦１の条件を考慮に入れて設定するの
が望ましい。
ところで、静圧ラジアル軸受４はモータ３のス
テータ１１を兼ねているので、静圧ラジアル軸受
４としては、ステータ１１とスピンドル(2)上に固
着したロータ１２との間に、静圧空気軸受の形成
に最適な0.01mm乃至0.05mm程度の見掛け上の間
隙、即ち、エア・ギヤツプを保持することが望ま
しい反面、モータ３としては、ステータ１１とス
ピンドル２上に固着したロータ１２との間に磁気
的な平衡状態を作り出す為、前記静圧空気軸受と
して最適な0.01mm乃至0.05mmのエア・ギヤツプよ
りも大きい0.1mm乃至0.2mm程度の磁気的な間隙を
ステータ１１とスピンドル２上に固着したロータ
１２との間に存在させて置く必要がある。
テータ１１を兼ねているので、静圧ラジアル軸受
４としては、ステータ１１とスピンドル(2)上に固
着したロータ１２との間に、静圧空気軸受の形成
に最適な0.01mm乃至0.05mm程度の見掛け上の間
隙、即ち、エア・ギヤツプを保持することが望ま
しい反面、モータ３としては、ステータ１１とス
ピンドル２上に固着したロータ１２との間に磁気
的な平衡状態を作り出す為、前記静圧空気軸受と
して最適な0.01mm乃至0.05mmのエア・ギヤツプよ
りも大きい0.1mm乃至0.2mm程度の磁気的な間隙を
ステータ１１とスピンドル２上に固着したロータ
１２との間に存在させて置く必要がある。
そこで、この考案に於いては、上記の異なつた
間隙寸法に関する要求を同時的に満足する為、ス
テータ１１とスピンドル２上に固着したロータ１
２との間には、モータ３として最適な0.1mm乃至
0.2mmの磁気的な離間距離を確保させ、静圧ラジ
アル軸受４の軸受機能が延長されたモールド層２
２及びステータ１１とスピンドル２の軸受部２ａ
との間には、静圧気体軸受として最適な0.01mm乃
至0.05mm程度の見掛け上の間隙を確保させてい
る。
間隙寸法に関する要求を同時的に満足する為、ス
テータ１１とスピンドル２上に固着したロータ１
２との間には、モータ３として最適な0.1mm乃至
0.2mmの磁気的な離間距離を確保させ、静圧ラジ
アル軸受４の軸受機能が延長されたモールド層２
２及びステータ１１とスピンドル２の軸受部２ａ
との間には、静圧気体軸受として最適な0.01mm乃
至0.05mm程度の見掛け上の間隙を確保させてい
る。
考案の効果
この考案は、ステータの前面側のコイルのはみ
出し部分に被覆した非磁性樹脂のモールド層でラ
ジアル軸受の軸受面を形成するようにしたので、
スピンドルの大径を有する軸受部を先端側に延長
してその分、小径を有する取付部を短くすること
ができ、これにより、スピンドルの取付部のラジ
アル剛性を向上させることができると共に軸−軸
受系の共振周波数を上げることが可能となり、静
圧気体軸受装置の回転精度の向上が図れる。
出し部分に被覆した非磁性樹脂のモールド層でラ
ジアル軸受の軸受面を形成するようにしたので、
スピンドルの大径を有する軸受部を先端側に延長
してその分、小径を有する取付部を短くすること
ができ、これにより、スピンドルの取付部のラジ
アル剛性を向上させることができると共に軸−軸
受系の共振周波数を上げることが可能となり、静
圧気体軸受装置の回転精度の向上が図れる。
第１図はこの考案の静圧気体軸受装置の縦断面
図、第２図は従来の静圧気体軸受装置の縦断面図
である。 １……ハウジング、２……スピンドル、２ａ…
…軸受部、２ｂ……取付部、３……モータ、４…
…静圧ラジアル軸受、５……静圧スラスト軸受、
８……蓋体、９……スラスト板、１０……スラス
ト押え、１１……ステータ、１２……ロータ、１
３……コイル、２２……モールド層。
図、第２図は従来の静圧気体軸受装置の縦断面図
である。 １……ハウジング、２……スピンドル、２ａ…
…軸受部、２ｂ……取付部、３……モータ、４…
…静圧ラジアル軸受、５……静圧スラスト軸受、
８……蓋体、９……スラスト板、１０……スラス
ト押え、１１……ステータ、１２……ロータ、１
３……コイル、２２……モールド層。
Claims (1)
- 大径の軸受部とその先端に小径の取付部を有す
るスピンドルを、モータ兼用の静圧ラジアル軸受
並びに静圧スラスト軸受を介して回転自在に支持
する静圧気体軸受に於いて、前記静圧ラジアル軸
受を兼ねるモータのステータを構成するコイルの
はみ出し部分に、前記ステータの内径と同じ内径
寸法を有する非磁性樹脂のモールド層を被覆し、
このモールド層の内径内へスピンドルの軸受部を
延長挿入したことを特徴とする静圧気体軸受装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984187845U JPH0229815Y2 (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984187845U JPH0229815Y2 (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61104758U JPS61104758U (ja) | 1986-07-03 |
| JPH0229815Y2 true JPH0229815Y2 (ja) | 1990-08-10 |
Family
ID=30745315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984187845U Expired JPH0229815Y2 (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229815Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0756593Y2 (ja) * | 1992-07-01 | 1995-12-25 | 株式会社中西歯科器械製作所 | エアーベアリングモーター |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5755015A (en) * | 1980-09-18 | 1982-04-01 | Nippon Mektron Kk | Keyboard with touch sensitive element |
-
1984
- 1984-12-11 JP JP1984187845U patent/JPH0229815Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61104758U (ja) | 1986-07-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH1169717A (ja) | ブラシレスｄｃモータ | |
| JPWO2023072461A5 (ja) | ||
| JPH0229815Y2 (ja) | ||
| JP4204251B2 (ja) | 静圧気体軸受スピンドル装置 | |
| JP2661924B2 (ja) | 磁気駆動装置 | |
| CN115507120A (zh) | 一种磁悬浮主动式三自由度轴承、电机和压缩机 | |
| JPH08186953A (ja) | スピンドル装置 | |
| JPH0321189Y2 (ja) | ||
| JPH1113761A (ja) | 静圧磁気複合軸受 | |
| JP2000024918A (ja) | ウェハー研磨装置 | |
| JPH04168961A (ja) | モータ | |
| JPH06738Y2 (ja) | トルク検出装置 | |
| JPS60121314A (ja) | 静圧軸受装置 | |
| JPH036138Y2 (ja) | ||
| JPH0448114Y2 (ja) | ||
| JPH06106013B2 (ja) | スピンドル装置 | |
| JPH1019603A (ja) | 磁気エンコーダ | |
| JPH02311153A (ja) | 外測回転子形電動機 | |
| JPS6218013Y2 (ja) | ||
| JPH04112655A (ja) | スピンドルモータ | |
| KR100315522B1 (ko) | 헤드드럼 조립체 | |
| JPS6314218U (ja) | ||
| JPH08145059A (ja) | 吸着機構付スピンドル装置 | |
| JPS6110078U (ja) | 空気軸受部を持つリニアアクチユエ−タ | |
| JPH05122883A (ja) | モータ |