JPH0230659Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

〔考案の技術分野〕 本考案は、たとえば半導体集積回路素子の生産
工場で、レジスト膜の塗布、露光、エツチング等
の作業のために用いる空気清浄装置に関する。 〔考案の技術的背景〕 従来、半導体素子の製造工程のように塵埃を極
度に嫌う作業を行なう場合、たとえば第５図に示
すような空気清浄装置が用いられる。 支柱１によつて囲まれた矩形の枠体の後側上部
に１次フイルタ２およびフアン３を第１のケース
４に収納して設ける。そして第１のケース４に連
接する第２のケース５の底面に２次フイルタ６を
設け、この２次フイルタ６を通過した空気を清浄
空気吐出口７から空気清浄域８へ向つて下向きに
吹出すようにしている。そして９は空気清浄域８
の前面に設けた作業用開口、１０ａは空気清浄域
８の両側部を外気から遮断する透明なビニール等
のカーテンである。さらに１０ｂは空気清浄域８
の後側を画成する、プラスチツク、鉄、ボード等
の硬板、１０ｃは作業台、１０ｄは照明灯であ
る。そして第２のケース５の内壁には被覆材グラ
スウール等の消音材１０ｅを貼付し、騒音の発生
を抑制するようにしている。 〔背景技術の問題点〕 しかしながらこのようなものでは、作業用開口
から空気清浄域へ外気が流入し易く、清浄度を高
く保てない欠点があつた。 〔考案の目的〕 本考案は上記の事情に鑑みてなされたもので簡
単構成により作業用開口から空気清浄域への外気
の流入を著るしく減少でき、高い空気清浄度を維
持することができる空気清浄装置を提供すること
を目的とするものである。 〔考案の概要〕 本考案は、作業用開口の上縁部から空気清浄域
内へ斜めに延出した第１のガイド板の先端から第
２のガイド板を垂下したことを特徴とするもので
ある。 〔考案の実施例〕 以下、本考案の一実施例を第１図に示す側断面
図、第２図に示す平面図を参照して詳細に説明す
る。支柱１１によつて囲まれた矩形の枠体の後側
上部に第１のケース１２を設け、この第１のケー
ス１２に連接して上記枠体の前側上部に第２のケ
ース１３を配置する。上記第１のケース１２は底
部に還気を吸込む開口を設け、この開口に比較的
粗い一次フイルタ１４を交換自在に設けている。
そして第１のケース１２内にフアン１５を設け、
空気供給口１６から第２のケース１３内へ空気を
吹出す。第２のケース１３内には上記空気供給口
１６から吹出された空気を下方へ指向させるダク
ト１７を設け、このダクト１７の出口には空気流
を整流する多孔状拡散具１８を配設し、ここを通
過した空気流は第２のケース１３の底面に着脱自
在に装着した高性能の、たとえばDOP法による
効率が99.97％以上の二次フイルタ１９を通過し、
空気清浄域２０内へ下方へ向かつて吹き出す。な
お第２のケース１３の二次フイルタ１９の下面に
は清浄化した空気が空気清浄域２０で層流状態ま
たは、それに近い状態で下降流動させるために、
多孔板等による下向きに開口した清浄空気吐出口
２１を設けている。そして空気清浄域２０の前面
側に作業用開口２２を設けている。そしてこの作
業用開口２２の上端縁から空気清浄域２０へ斜め
に、かつ傾斜角を可変可能に第１のガイド板２３
を延出する。さらにこの第１のガイド板２３の先
端から第２のガイド板２４を垂下するように設け
ている。なお第１、第２のガイド板２３，２４は
極力塵埃の付着とそれによる再発塵を防止するた
めに、たとえば無帯電タイプのアクリル板を用い
る。そして２５は、空気清浄域２０内に配置した
作業台、２６は照明灯である。そして空気清浄域
２０の両側は着脱自在の透明なビニール等のカー
テン２７で周囲空気から遮断し、このカーテン２
７を取外して複数の空気清浄装置の側部を相互に
連接して使用できるようにしている。また空気清
浄域２０の後側は鉄板、プラスチツク板等の硬板
２８で清浄空気と周囲空気とを遮断する。なお、
空気清浄域２０を流過した清浄空気は、その下端
に設けた間隙から１次フイルタ１４へもどるよう
にしている。 このような構成であれば周囲空気は１次フイル
タ１４でろ過された第１のケース１２内へ吸引さ
れる。そしてフアン１５により第２のケース１３
内へ吹き出される。第２のケース１３ではダクト
１７により空気流を下方へ指向させるとともにダ
クト１７の出口に配設した多孔状拡散具１８によ
り空気流を整流し、この空気流の流路に略直交し
て配置した二次フイルタへ分散供給する。そして
二次フイルタ１９を通過して高清浄度化した空気
を清浄空気吐出口２１を介して空気清浄域２０の
上部から下方へ向けて吹き出す。そして作業用開
口２２の部分では第１のガイド板２３により空気
流は若干、内側を指向してエア、カーテン効果を
生じる。 しかしながら、第１のガイド板２３だけではこ
こで流向を修整された空気流は空気清浄域２０の
内方へ向かうために清浄化したエリアは縮少し、
かつここで乱流を生じ易く、外部の汚染空気を誘
引、拡散する問題があつた。 これに対して上記実施例では第１のガイド板２
３の先端から第２のガイド板２４を垂下して設け
ている。このため第１のガイド板２３で流向を修
整した空気流を、付着流（コアンダ効果）により
再び第２のガイド板２４に沿つて鉛直方向へ流下
させることができる。したがつて、清浄エリアを
せばめることなく、作業用開口２２にエア、カー
テンを形成でき、空気流の乱れも著るしく少なく
できる。 次に上記実施例に示す第１、第２のガイド板を
有する空気清浄装置と、この装置から第２のガイ
ド板を除去した装置の空気流の分布および清浄度
を比較した。 両、空気清浄装置は、幅1300m／ｍ、奥行
970m／ｍ、床面から清浄空気吐出口２１までの
高さ1400m／ｍの空気清浄域に対して0.4kWのシ
ロツコフアンによつて40m³／minの風量で清浄空
気を吹き出すものである。そして作業用開口は、
幅1300m／ｍ、高さは床面から第２のガイド板２
４の下端までの大きさである。 なお、風速の測定点は、第３図に示す側面図の
ように作業用開口に平行で、かつ該開口から
120m／ｍ内側の第１の測定面、170m／ｍ内側の
第２の測定面上で、かつ第４図に示す正面図のよ
うに開口の左端から150m／ｍ、350m／ｍ、
550m／ｍ、750m／ｍ、950m／ｍおよび
1150m／ｍの各測定ラインａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，
ｆにおいて床面（FL）から900m／ｍ、1000m／
ｍ、1100m／ｍ、1200m／ｍの高さの点である。
この測定結果を次の第１表乃至第４表に示す。

【表】

【表】

【表】

【表】

【表】 この測定結果から第１表と第３表とを比較すれ
ば明らかなように、第１、第２のガイド板を設け
たものは、第２のガイド板を有しないものに比し
て清浄域の下方においても風速の低下が少なく、
かつ平均風速も速い。したがつて、第１、第２の
ガイド板を設けたものでは開口面に良好なエアカ
ーテンを形成することができ、また風速も略均一
で、乱れも極めて少なく、したがつて外部からの
汚染も誘引し難い。 同様に第２表と第４表との結果を比較すると、
風速の乱れは略、同程度であるが、平均風速では
第１、第２のガイド板を有する上記実施例の装置
の方が0.02m／ｓ程度、速くエアカーテンの効果
が優れていることを示している。 次の清浄度の測定点は、開口の左端から
650m／ｍの幅方向の中心で、第３図に示すよう
に第１の測定面で床面から1200m／ｍのＡ点、床
面から1000m／ｍのＢ点、同様に第２の測定面で
床面から1200m／ｍのＣ点、床面から1000m／ｍ
のＤ点の４点について測定した。この測定結果を
次の第５表、第６表に示す。なお、測定にあたつ
ての周囲環境は一般居室程度の清浄度であつた。

【表】

〔考案の効果〕

以上のように本考案によれば簡単な構成で空気
清浄域を高度に清浄化した状態にできる空気清浄
装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す側断面図、第
２図は上記実施例の平面図、第３図、第４図は空
気清浄装置の性能を測定した測定位置を説明する
図で第３図は側面図、第４図は正面図、第５図は
従来の空気清浄装置の一例を示す側断面図であ
る。 １４……一次フイルタ、１５……フアン、１９
……二次フイルタ、２０……空気清浄域、２２…
…作業用開口、２３……第１のガイド板、２４…
…第２のガイド板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 画成した空気清浄域と、この空気清浄域の上
   方に設けられ下方へ向つて清浄空気を吹き出す
   清浄空気吐出口と、上記空気清浄域の一側部に
   設けた作業用開口と、この作業用開口の上縁部
   から上記空気清浄域内へ斜めに延出した第１の
   ガイド板と、この第１のガイド板の先端から垂
   下した第２のガイド板とを具備する空気清浄装
   置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項記載のものに
   おいて、第１のガイド板は傾斜角度を調節可能
   に設けたことを特徴とする空気清浄装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項記載のものに
   おいて、第１、第２のガイド板は無帯電タイプ
   のアクリル板である空気清浄装置。