JPH0236239Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の利用分野〕 本考案は、布帛を低温プラズマ処理する装置に
おける低温プラズマ発生用の極板に関するもので
ある。

〔考案の背景〕

従来、工業的に織物、編物、不織布などの布帛
を連続的に、例えば染色前の工程では、その布帛
を繊維に付着されている撥水性夾雑物を除去、あ
るいは親水化し布帛に染料液が容易に浸透せしめ
るための精練工程および染色後布帛の柔軟性、撥
水性、静電防止、防汚性、吸水性などの特性を付
与するための仕上工程があるが、いずれの工程も
水系で処理を行なつているものであつた。このた
め、従来のこの種の処理工程においては、多量の
熱量を必要とすること、さらには、精練工程の場
合処理された布帛に含まれる残液、あるいは夾雑
物及び又は付着物を除去せしめるための多数の水
洗機、及びこれらの各水洗機内に供給すべき多量
の水資源が必要であること、更に水洗された排液
を廃棄処理するための装置が必要である等のこと
から、布帛を処理するには多量の水資源、熱エネ
ルギー、設備費等がかさんでいるのが現状であ
る。更には水洗機より排出される廃液中には必然
的にも薬剤が含まれることから、排液公害等の問
題も生じ該廃液の処理にも多大なる設備費、人件
費が嵩んでいるもので、特に繊維加工業界におい
ては、経済性に欠けるものであつた。

このようなことから、最近では、布帛等の繊維
製品に低温プラズマ雰囲気で処理して、例えば布
帛の糊抜、精練効果あるいは仕上加工効果を得る
ことが提案されているが、この布帛の低温プラズ
マ処理時において、その反応器内の布帛移送路に
おける低温プラズマ雰囲気、即ち低温プラズマ密
度が不均一であると、布帛に対する低温プラズマ
処理が不均一となることは当然のことである。例
えば低温プラズマを発生せしめるために提案され
ている極板は、一対の平板状極板を、発生低温プ
ラズマ雰囲気を均一ならしめるために平行状態で
隔設し、この一対の極板間に高周波の電位差を付
与させることで生じる。低温プラズマ雰囲気中
に、処理すべき布帛を通過せしめるようにして目
的とする処理加工を行なつているが、この一対の
平板状極板を平行に保たせることが難かしく、特
に処理すべき布帛幅に対応させる広幅の平板状極
板の場合は、その極板の自重等による撓みによつ
て対の極板を平行に保持させることは不可能であ
つた。また、この広幅の平板状極板の撓みを除去
せしめるために、極板の一部に骨材を添設するこ
とが考えられるが、極板の一部に骨材等の凸条物
があると、これによつて部分的にスパーク（放
電）を生じ低温プラズマの発生密度が不均一とな
り、さらには最高出力が低くなる等の問題点があ
つた。

〔考案の目的〕

本考案は、かかることに鑑みてなされたもの
で、対の極板を平行に対設保持することができる
ようにして、その極板相互間で生じる低温プラズ
マ密度を、その極板の両方向に均一化せしめるこ
とができると共に、被処理物及び極板の過熱を有
効に抑制することができる低温プラズマ発生用極
板を提供することを目的とするものである。

〔考案の実施例〕

以下に本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

１は、極板２を構成するための複数枚の極板部
材であつて、これらの極板部材１は、帯状に裁断
された板素材の長手方向両側辺縁部を円弧状の屈
曲部３に形成せしめてなる単一形状部材である。
そしてこれら極板部材１で極板２を構成するに
は、その極板部材１の多数枚を、表裏交互にして
各屈曲部３が表裏で重合するように組合せ、さら
にその極板部材１の辺縁を対応する極板部材に溶
接４により固着せしめるものである（第２図参
照）。従つて各極板部材１の相互間には、空胴部
５が形成されるが、この空胴部５の両端を、閉塞
し、かつ相隣する空胴部５を上記閉塞部を貫通す
る連通管６で接続して、各空胴部５を冷却水の連
通路に形成しているものである。

以上が本実施例よりなるプラズマ発生用極板の
構成であるが、次にその作用について述べると、
使用に際し、上記極板２を平行に対設するがこの
対設態様は、第３図に示す如く、対設される各極
板部材１，１の間隔が一定となるように平行に配
置するものである。このように対設した極板２を
不図示の減圧室（真空室）内に位置せしめ、さら
にこの極板２に高周波を給電することにより、双
方極板間に低温プラズマが生起されるが、この極
板２は、空胴部５が骨材即ち補強材としての役目
を兼ねているので、該極板２が撓んだり、歪んだ
りすることなく各極板部材１の平面性が確保でき
る効果がある。さらに各極板部材１の辺縁連接部
は、円弧状に曲げ加工し、対向極板面に対して隆
起部が生じないように形成していることから、双
方極板間の部分的位置でスパークを生じることな
く、面方向に均一な低温プラズマ雰囲気を生起せ
しめることができる効果もある。さらにこの極板
によれば冷水を流通し得る空胴部５が一体的に形
成されていることから、この空胴部５内に冷水等
の冷媒を流通させることにより、極板２を冷却す
ることができるので、極板２が加熱により歪み、
あるいは被処理布帛が加されることもなく、従つ
て面方向に均一密度の低温プラズマが生起できる
効果がある。

〔考案の概要〕

以上のように本考案は帯状素材の長手方向両側
辺縁部を、円弧状の屈曲部３に屈曲形成せしめて
なる単一形状かつ複数枚の極板部材１を、その屈
曲部３が表裏交互に重合されて空胴部５が形成さ
れるようにして、各極板部材１を連結せしめ、さ
らにその空胴部５を冷媒流通路に構成したことを
特徴とする低温プラズマ発生用極板である。

〔考案の効果〕

従つてこの極板によれば、極板部材１の辺縁重
合部によつて形成される空胴部５が、骨材即ち補
強体としての役目を兼ねているので、この極板が
撓んだり、歪んだりすることなく各極板部材１の
平面性が確保できる。さらにその空胴部５内に冷
水等の冷媒を流通させることにより、極板２を冷
却することができるので、極板２が加熱により歪
まされることもなく、従つて面方向に均一密度の
低温プラズマが生起でき、また被加工布帛の加熱
を抑制することができる効果がある。さらに各極
板部材１の辺縁連接部は、円弧状に曲げ加工し、
対向極板面に対して隆起部が生じないように形成
していることから、双方極板間で部分的スパーク
を生じることなく、面方向に均一な低温プラズマ
雰囲気を生起せしめることができる効果もある。

【図面の簡単な説明】

図面はいずれも本考案よりなる極板の実施例を
示し、第１図はその平面図、第２図はその側面
図、第３図はその使用状態を示した側面説明図で
ある。 １……極板部材、２……極板、３……屈曲部、
４……溶接、５……空胴、６……連通管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 帯状素材の長手方向両側辺縁部を、円弧状の屈
   曲部３に屈曲形成せしめてなる単一形状かつ複数
   枚の極板部材１を、その屈曲部３が表裏交互に重
   合されて空胴部５が形成されるようにして、各極
   板部材１を連結せしめ、さらにその空胴部５を冷
   媒流通路に構成したことを特徴とする低温プラズ
   マ発生用極板。