JPH0236240Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の利用分野〕 本考案は、布帛を低温プラズマ処理する装置に
おける低温プラズマ発生用の極板に関するもので
ある。

〔考案の背景〕

従来、工業的に織物、編物、不織布などの布帛
を連続的に、例えば染色前の工程では、その布帛
を繊維に付着されている撥水性夾雑物を除去、あ
るいは親水化し布帛に染料液が容易に浸透せしめ
るための精練工程および染色後布帛の柔軟性、撥
水性、静電防止、防汚性、吸水性などの特性を付
与するための仕上工程があるが、いずれの工程も
水系で処理を行なつているものであつた。このた
め、従来のこの種の処理工程においては、多量の
熱量を必要とすること、さらには、精練工程の場
合処理された布帛に含まれる残液、あるいは夾雑
物及び又は付着物を除去せしめるための多数の水
洗機、及びこれらの各水洗機内に供給すべき多量
の水資源が必要であること、更に水洗された排液
を廃棄処理するための装置が必要である等のこと
から、布帛を処理するには多量の水資源、熱エネ
ルギー、設備費等がかさんでいるのが現状であ
る。更には水洗機より排出される廃液中には必然
的にも薬剤が含まれることから、排液公害等の問
題も生じ該廃液の処理にも多大なる設備費、人件
費等が嵩んでいるもので、特に繊維加工業界にお
いては、経済性に欠けるものであつた。

このようなことから、最近では、布帛等の繊維
製品に低温プラズマ雰囲気で処理して、例えば布
帛の糊抜、精練効果あるいは仕上加工効果を得る
ことが提案されているが、この布帛の低温プラズ
マ処理時において、その反応器内の布帛移送路に
おける低温プラズマ雰囲気、即ち低温プラズマ密
度が不均一であると、布帛に対する低温プラズマ
処理が不均一となることは当然のことである。例
えば低温プラズマを発生せしめるために提案され
ている極板は、一対の平板状極板を、発生低温プ
ラズマ雰囲気を均一ならしめるために、平行状態
で隔設し、この一対の極板間に高周波の電位差を
付与させることで生じる、低温プラズマ雰囲気中
に処理すべき、布帛を通過せしめるようにして目
的とする処理加工を行なつているが、この一対の
平板状極板を平行に保たせることが難かしく、特
に処理すべき布帛幅に対応させる広幅の平板状極
板の場合は、その極板の自重等による撓みによつ
て対の極板を平行に保持させることは不可能であ
つた。また、この広幅の平板状極板の撓みを除去
せしめるために、極板の一部に骨材を添設するこ
とが考えられるが、極板の一部に骨材等の凸条物
があると、これによつて部分的にスパーク（放
電）を生じ低温プラズマ発生密度が不均一とな
り、さらには最高出力が低くなる等の問題点があ
つた。

〔考案の目的〕

本考案は、かかることに鑑みてなされたもの
で、対の極板を平行に対設保持することができる
ようにして、その極板相互間で生じる低温プラズ
マ密度を、その極板の両方向に均一化せしめるこ
とができると共に、被処理物及び極板の過熱を有
効に抑制することができる低温プラズマ発生用極
板を提供することを目的とするものである。

〔考案の実施例〕

以下に本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

１は、冷水を流通せしめることができる冷却パ
イプあつて、この冷却パイプ１は円管で形成され
ている。この冷却パイプ１はその複数本を平行に
隔設すると共に、各冷却パイプ１の相互間に帯状
の極板部材２を架設し、かつその極板部材２と冷
却パイプ１とを溶接３によつて固着する。また上
記冷却パイプ１と極板部材２との結合部構造は、
その結合部において隆起部が生じないようにする
ため、帯状極板部材２の両側辺縁部を、冷却パイ
プ１の略1/4周面上に被着される1/4円弧の曲面に
形成し、これら極板部材２は、各冷却パイプ１間
でそのパイプ１の上下交互に架設され、全体的で
一枚の極板４に構成されているものである。５は
各冷却パイプ１の端部を直列的に接続している冷
水連通管である。

以上が本実施例よりなるプラズマ発生用極板の
構成であるが、次にその作用について述べると、
使用に際し、上記極板４を平行に対設するがこの
対設態様は、第３図に示す如く、対設される各極
板部材２，２の間隔が一定となるように平行に配
置するものである。このように対設した極板４を
不図示の減圧室（真空室）内に位置せしめ、さら
にこの極板４に高周波を給電することにより、双
方極板間に低温プラズマが生起されるが、この極
板４は、冷却パイプ１が骨材即ち補強材としての
役目を兼ねているので、該極板４が撓んだり、歪
んだりすることなく各極板部材２の平面性が確保
できる効果がある。さらに各極板部材２の辺縁連
接部は、円弧状に曲げ加工し、対向極板面に対し
て隆起部が生じないように形成していることか
ら、双方極板間の部分的位置でスパークを生じる
ことなく、面方向に均一な低温プラズマ雰囲気を
生起せしめることができる効果もある。さらにこ
の極板によれば冷水パイプ１が一体的に取付けら
れていることから、この冷却パイプ１内に冷水等
の冷媒を流通させることにより、極板４を冷却す
ることができるので、極板４が加熱により歪まさ
れることもなく、従つて面方向に均一密度の低温
プラズマが生起できる効果がある。

〔考案の概要〕

以上のように本考案は、冷媒流通用の円形パイ
プ１を平行隔設状態で平設し、さらにその各円形
パイプ１の相互間に、両側辺縁部が、上記円形パ
イプ１の略1/4周面上に接合する1/4円弧の曲面に
形成した複数枚の極板部材２を、その円形パイプ
１の上下交互に架設固定してなる低温プラズマ発
生用極板である。

〔考案の効果〕

従つてこの極板によれば、冷却パイプ１が骨材
即ち補強材としての役目を兼ねているので、この
極板４が撓んだり、歪んだりすることなく各極板
部材２の平面性が確保でき、さらにその冷却パイ
プ１内に冷水等の冷媒を流通させることにより、
極板４を冷却することができるので、極板４が加
熱により歪まされることもなく、従つて面方向に
均一密度の低温プラズマが生起でき、また被加工
布帛の加熱を抑制することができる効果がある。
さらに各極板部材２の辺縁連接部は、円弧状に曲
げ加工し、対向極板面に対して隆起部が生じない
ように形成していることから、双方極板間で部分
的スパークを生じることなく、面方向に均一な低
温プラズマ雰囲気を生起せしめることができる効
果もある。

【図面の簡単な説明】

図面はいずれも本考案よりなる極板の実施例を
示し、第１図はその平面図、第２図はその側面
図、第３図はその使用状態を示した側面説明図で
ある。 １……冷却パイプ、２……極板部材、３……溶
接、４……極板、５……冷水連通管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 冷媒流通用の円形パイプ１を平行隔設状態で平
   設し、さらにその各円形パイプ１の相互間に、両
   側辺縁部が、上記円形パイプ１の略1/4周面上に
   接合する1/4円弧の曲面に形成した複数枚の極板
   部材２を、その円形パイプ１の上下交互に架設固
   定してなる低温プラズマ発生用極板。