JPH0240231A - 差圧シール装置 - Google Patents
差圧シール装置Info
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- JPH0240231A JPH0240231A JP18836888A JP18836888A JPH0240231A JP H0240231 A JPH0240231 A JP H0240231A JP 18836888 A JP18836888 A JP 18836888A JP 18836888 A JP18836888 A JP 18836888A JP H0240231 A JPH0240231 A JP H0240231A
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- Japan
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- plate
- plate material
- chambers
- plates
- gap
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- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、帯板等の板材に真空中でコーティング等の処
理を連続して行う処理ラインにおいて、圧力の異なる２
室の間の圧力差を保持するための差圧シール装置に関す
るものである。
理を連続して行う処理ラインにおいて、圧力の異なる２
室の間の圧力差を保持するための差圧シール装置に関す
るものである。
［従来の技術］
帯板等の板材に装飾性、耐食性、耐摩耗性等を付与する
ために、真空中でイオンブレーティング、スバウタリン
グ、プラズマＣＶＤ（ｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒ ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ） 、真空蒸着等により、材料の表
面に連続的にセラミックスや金属の皮膜を形成するコー
ティング技術か開発されつつある。このような処理を行
うライン等において、板材を大気中から真空の処理室に
入れるためには、大気圧から順次圧力を下げた多段の真
空室を通過させることが要求される。また、一つのライ
ンで複数の処理を行う場合は、真空度の異なる処理室を
連続的に通過させることが要求される。
ために、真空中でイオンブレーティング、スバウタリン
グ、プラズマＣＶＤ（ｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒ ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ） 、真空蒸着等により、材料の表
面に連続的にセラミックスや金属の皮膜を形成するコー
ティング技術か開発されつつある。このような処理を行
うライン等において、板材を大気中から真空の処理室に
入れるためには、大気圧から順次圧力を下げた多段の真
空室を通過させることが要求される。また、一つのライ
ンで複数の処理を行う場合は、真空度の異なる処理室を
連続的に通過させることが要求される。
このような要求に応える装置として、板材を上下から挟
んでシールする一対のロールを多段配置したシール装置
を、真空度の異なる処理室の間に配したもの（特開昭５
７−１９５７５３）、さらに真空の処理室と大気の間に
配したもの（特開昭５７−１９５７５４）が知られてい
る。
んでシールする一対のロールを多段配置したシール装置
を、真空度の異なる処理室の間に配したもの（特開昭５
７−１９５７５３）、さらに真空の処理室と大気の間に
配したもの（特開昭５７−１９５７５４）が知られてい
る。
［発明か解決しようとする課題］
真空処理を行う装置において、高真空を得るためおよび
高温に耐えるために、装置を金属製にする必要がある。
高温に耐えるために、装置を金属製にする必要がある。
帯板等の板材を連続処理する場合、コーティング等の処
理を行った板材にシール装置の金属ロールが接触すると
、板材の表面に形成された皮膜に疵がつき、またコーテ
ィングされる前の板材に金属ロールが接触しても、板材
の表面に疵がついてコーテイング後の表面疵になるとい
う問題があった。
理を行った板材にシール装置の金属ロールが接触すると
、板材の表面に形成された皮膜に疵がつき、またコーテ
ィングされる前の板材に金属ロールが接触しても、板材
の表面に疵がついてコーテイング後の表面疵になるとい
う問題があった。
本発明は、帯板等の板材にコーティング等の処理を連続
して行う処理ラインにおいて、圧力の異なる２室の間の
圧力差を保持するとともに、被処理材の表面に疵や汚れ
を発生させることのない差圧シール装置を提供すること
を目的とする。
して行う処理ラインにおいて、圧力の異なる２室の間の
圧力差を保持するとともに、被処理材の表面に疵や汚れ
を発生させることのない差圧シール装置を提供すること
を目的とする。
［課題を解決するための手段］
本発明装置を図面に示す具体例により説明する。
本発明の差圧シール装置は、第１図（第２図の１−Ｉ断
面図）、第２図（第１図のＩＩ −ＩＩ断面図）および
第３図（第１図の■−ｍ断面図）に示すように、帯板等
の板材Ｓが略水平方向に搬送され、板材Ｓの下面に処理
が施される処理ラインにおいて圧力の異なるＡ、８２室
の境界をなす装置てあって、上隔壁ｌ、下隔壁２．上フ
レーム３゜下フレーム４．上プレート５．下プレー１・
６．ガイドロール７、シールプレート８を有し、これら
はいずれも金属製である。
面図）、第２図（第１図のＩＩ −ＩＩ断面図）および
第３図（第１図の■−ｍ断面図）に示すように、帯板等
の板材Ｓが略水平方向に搬送され、板材Ｓの下面に処理
が施される処理ラインにおいて圧力の異なるＡ、８２室
の境界をなす装置てあって、上隔壁ｌ、下隔壁２．上フ
レーム３゜下フレーム４．上プレート５．下プレー１・
６．ガイドロール７、シールプレート８を有し、これら
はいずれも金属製である。
１隔Ｊｆｉｌの下端と下隔壁２の上端の間には板材Ｓが
通過する間隙が設けられ、上フレーム３は上隔壁１の下
端から下方に突出して上下位置゛調整可能に設けられ、
下フレーム４は下隔壁２の上端から上方に突出して上下
位置調整可能に設けられている。
通過する間隙が設けられ、上フレーム３は上隔壁１の下
端から下方に突出して上下位置゛調整可能に設けられ、
下フレーム４は下隔壁２の上端から上方に突出して上下
位置調整可能に設けられている。
上フレーム３の下端には上プレート５が板材Ｓと平行に
設けられ、下フレーム４の上端には下プレート６が板材
Ｓと平行に設けられている。上プレート５の板材Ｓ搬送
方向の前後端にはガイドロール’／ａ、７ｂか設けられ
、ガイドロール７ａ、 ７ｂの軸は板材Ｓの表面と平行
でかつ板材Ｓの搬送方向と直角になっており、上プレー
ト５の下面より下方に突出し、かつ下プレート６との間
に間隙をもって設けられている。
設けられ、下フレーム４の上端には下プレート６が板材
Ｓと平行に設けられている。上プレート５の板材Ｓ搬送
方向の前後端にはガイドロール’／ａ、７ｂか設けられ
、ガイドロール７ａ、 ７ｂの軸は板材Ｓの表面と平行
でかつ板材Ｓの搬送方向と直角になっており、上プレー
ト５の下面より下方に突出し、かつ下プレート６との間
に間隙をもって設けられている。
さらに上プレート５および下プレート６の板材Ｓ搬送方
向両側端部にはシールプレート８が設けられ、シールプ
レート８は両プレート５および６の間隙を埋めかつ前記
２室の側壁９ａ、 ９ｂと密着している。
向両側端部にはシールプレート８が設けられ、シールプ
レート８は両プレート５および６の間隙を埋めかつ前記
２室の側壁９ａ、 ９ｂと密着している。
第１図および第２図において、１０ａ、ｌＯｂはガイド
ロール７ａを上プレート５に取り付けるための軸受ブロ
ック、ＩＯｃ、１０ｄはガイドロール７ｂを上プレート
５に取り付けるための軸受ブロクつてある。本例では、
上プレート５の板材Ｓ搬送方向前後端には、第２図のよ
うに切欠きか設けてあって、該切欠きにガイドロール７
ａ、 ７ｂが取り付けられている。
ロール７ａを上プレート５に取り付けるための軸受ブロ
ック、ＩＯｃ、１０ｄはガイドロール７ｂを上プレート
５に取り付けるための軸受ブロクつてある。本例では、
上プレート５の板材Ｓ搬送方向前後端には、第２図のよ
うに切欠きか設けてあって、該切欠きにガイドロール７
ａ、 ７ｂが取り付けられている。
また、ｌｌａ、Ｉｌｂは上フレーム３を上隔壁１に取り
付けるためのネジであり、上フレーム３には長穴１３ａ
、１３ｂが設けてあって、上フレーム３を上隔壁ｌに対
して上下位置調整できるようになっている。１２ａ、１
２ｂは下フレーム４を下隔壁２に取り付けるためのネジ
であり、下フレーム４には長穴１４ａ、１４ｂが設けて
あって、下フレーム４を下隔壁２に対して上下位置調整
できるようになっている。
付けるためのネジであり、上フレーム３には長穴１３ａ
、１３ｂが設けてあって、上フレーム３を上隔壁ｌに対
して上下位置調整できるようになっている。１２ａ、１
２ｂは下フレーム４を下隔壁２に取り付けるためのネジ
であり、下フレーム４には長穴１４ａ、１４ｂが設けて
あって、下フレーム４を下隔壁２に対して上下位置調整
できるようになっている。
［作用］
Ａ、８２室は上隔壁１．下隔壁２および上フシーム３．
下フレーム４て遮断され、上プレート５と下プレート６
の間隙のみか開いている。そして、７５３図のように、
この間隙の側壁９ａ、 ９ｂ側にはシールプレート８ａ
、 ８ｂか設けてあり、上プレート５と下プレート６と
シールプレート７ａ、 ７ｂて囲まれた通路を通して板
材Ｓか搬送されるとともに、Ａ、８２室の雰囲気はこの
通路のみで通している。
下フレーム４て遮断され、上プレート５と下プレート６
の間隙のみか開いている。そして、７５３図のように、
この間隙の側壁９ａ、 ９ｂ側にはシールプレート８ａ
、 ８ｂか設けてあり、上プレート５と下プレート６と
シールプレート７ａ、 ７ｂて囲まれた通路を通して板
材Ｓか搬送されるとともに、Ａ、８２室の雰囲気はこの
通路のみで通している。
この通路の長さは上プレート５および下プレート６の長
さに相当し、第１図のように、この長さを上プレート５
と下プレート６の間隙に対して長く取ることにより、Ａ
、Ｂ２室の間の気体の通気抵抗を大にすることかてき、
２室間の圧力差を保持することができる。上プレート５
と下プレート６の間隙は、板材Ｓの厚さに応じ、上隔壁
１と上フレーム３の取り付は位置および上隔壁２と下フ
レーム４の取り付は位置の調整を行うことによって、必
要最小限に調整することかできる。
さに相当し、第１図のように、この長さを上プレート５
と下プレート６の間隙に対して長く取ることにより、Ａ
、Ｂ２室の間の気体の通気抵抗を大にすることかてき、
２室間の圧力差を保持することができる。上プレート５
と下プレート６の間隙は、板材Ｓの厚さに応じ、上隔壁
１と上フレーム３の取り付は位置および上隔壁２と下フ
レーム４の取り付は位置の調整を行うことによって、必
要最小限に調整することかできる。
上プレート５の板材Ｓ搬送方向前後端には、第１図のよ
うに、ガイドロール７ａ、 ７ｂが上プレート５の下面
よりも下方に突出して設けてあり、板材Ｓは前後面リー
ル等の図示しない搬送手段によって上面がガイドロール
７ａ、 ７ｂと接触するように搬送されるので、板材Ｓ
と上プレート５および下プレート６との間に間隙が保た
れる。このため、板材Ｓの下面は無接触の状態で搬送す
ることかできるので、下面にコーティング等の処理を施
すとき疵や汚れか生しることかない。
うに、ガイドロール７ａ、 ７ｂが上プレート５の下面
よりも下方に突出して設けてあり、板材Ｓは前後面リー
ル等の図示しない搬送手段によって上面がガイドロール
７ａ、 ７ｂと接触するように搬送されるので、板材Ｓ
と上プレート５および下プレート６との間に間隙が保た
れる。このため、板材Ｓの下面は無接触の状態で搬送す
ることかできるので、下面にコーティング等の処理を施
すとき疵や汚れか生しることかない。
なお、板材Ｓの上面をガイドロール７ａ、 ７ｂに接触
させる手段としては、板材Ｓか磁性体の場合はガイドロ
ール７ａ、 ７ｂを磁石とすることもできる。
させる手段としては、板材Ｓか磁性体の場合はガイドロ
ール７ａ、 ７ｂを磁石とすることもできる。
また、Ａ、８２室間の通気抵抗をさらに大きくするため
、第２図に示す上プレート５とガイドロール７ａ、 ７
ｂの間の隙間を覆うカバーを設けることもてきる。
、第２図に示す上プレート５とガイドロール７ａ、 ７
ｂの間の隙間を覆うカバーを設けることもてきる。
本例においては板材Ｓの搬送方向か上隔壁ｌおよび上隔
壁２と垂直になっているので、上プレート５は上フレー
ム３に、下プレート６は下フレーム４にそれぞれ垂直に
固設されているか、板材Ｓの搬送方向が変化する場合は
、上プレート５および下プレート６か板材Ｓと平行にな
るように、上プレート５は上フレーム３に対し、下プレ
ート６は下フレーム４に対してそれぞれ取り付は角度を
調整てきる機構にすることか好ましい。
壁２と垂直になっているので、上プレート５は上フレー
ム３に、下プレート６は下フレーム４にそれぞれ垂直に
固設されているか、板材Ｓの搬送方向が変化する場合は
、上プレート５および下プレート６か板材Ｓと平行にな
るように、上プレート５は上フレーム３に対し、下プレ
ート６は下フレーム４に対してそれぞれ取り付は角度を
調整てきる機構にすることか好ましい。
［実施例］
第４図に示すように、２基の巻出巻取装置１５ａ。
＋５ｂの間に低圧真空処理室１６と高圧真空処理室１７
を配置し、両真空処理室の間に本発明の差圧シール装置
りを４個直列に設け、帯板２０を張力を付加しつつ搬送
して、両真空処理室にて異種のコーティングをした。１
８ａ 、 １８ｂ 、 １８ｃは差圧真空室、＋９ａ、
１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅは排気ポンプである。
を配置し、両真空処理室の間に本発明の差圧シール装置
りを４個直列に設け、帯板２０を張力を付加しつつ搬送
して、両真空処理室にて異種のコーティングをした。１
８ａ 、 １８ｂ 、 １８ｃは差圧真空室、＋９ａ、
１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅは排気ポンプである。
各差圧シール装置Ｄ１．Ｄ２．Ｄ３．Ｄ４において、上
プレート５および下プレート６の長さは２００ ｍ１１
、上プレート６と下プレート６の間隙は５ｍｎ＋、ガイ
ドロール７ａ、 ７ｂの直径は４０ｍｍとし、帯板の幅
は３７０＋＋ｏａ 、厚さは０．１〜０．５ｍｍとした
。
プレート５および下プレート６の長さは２００ ｍ１１
、上プレート６と下プレート６の間隙は５ｍｎ＋、ガイ
ドロール７ａ、 ７ｂの直径は４０ｍｍとし、帯板の幅
は３７０＋＋ｏａ 、厚さは０．１〜０．５ｍｍとした
。
低圧真空処理室１６の圧力をＱ、ＯＯＩ Ｔｏｒｒ、高
圧真空処理室１７の圧力を０．２ Ｔｏｒｒとし、差圧
真空室１８ａ、１８ｂ、１８ｃの圧力か、それぞれ約０
．００５ Ｔｏｒｒ。
圧真空処理室１７の圧力を０．２ Ｔｏｒｒとし、差圧
真空室１８ａ、１８ｂ、１８ｃの圧力か、それぞれ約０
．００５ Ｔｏｒｒ。
０．０１ Ｔｏｒｒ 、 ０．Ｉ Ｔｏｒｒとなるよう
に排気しつつ、帯板ＺＯを右方向および左方向に搬送し
た結果、何れの板厚、方向においても各室の圧力は前記
真空度に維持された。また、帯板２０の下面には疵か発
生しなかった。
に排気しつつ、帯板ＺＯを右方向および左方向に搬送し
た結果、何れの板厚、方向においても各室の圧力は前記
真空度に維持された。また、帯板２０の下面には疵か発
生しなかった。
尚、本実施例において、帯板２０の厚さが厚くなると帯
板のパスラインかラインの中央部では低くなるので、各
差圧シール装置Ｄｌ、Ｄ２．Ｄ：ｌ、Ｄ４の何れも、上
プレート５および下プレート６の取り付は位置と取り付
は角度を板厚毎に調整した。
板のパスラインかラインの中央部では低くなるので、各
差圧シール装置Ｄｌ、Ｄ２．Ｄ：ｌ、Ｄ４の何れも、上
プレート５および下プレート６の取り付は位置と取り付
は角度を板厚毎に調整した。
［発明の効果］
帯板等の板材を真空度の異なる複数の真空室に連続的に
通過させて複数のコーティング等の処理を行うに際し１
本発明の差圧シール装置を使用することにより、各真空
室の真空度が確実に維持され、処理面に疵や汚れを発生
させることなく処理することができる。また、一つの真
空室で処理する際にも１本発明装置を多段に設けるかあ
るいは他のシール装置と併用して板材を大気中から真空
室に搬入することにより、同様の効果が得られる。
通過させて複数のコーティング等の処理を行うに際し１
本発明の差圧シール装置を使用することにより、各真空
室の真空度が確実に維持され、処理面に疵や汚れを発生
させることなく処理することができる。また、一つの真
空室で処理する際にも１本発明装置を多段に設けるかあ
るいは他のシール装置と併用して板材を大気中から真空
室に搬入することにより、同様の効果が得られる。
第１図は本発明装置の具体例を示す側面図、第２図は同
じく平面図、第３図は同じく正面図、第４図は本発明装
置の適用例を示す図である。 ｌ・・・上隔壁、２・・・下隔壁、３−・・上フレーム
。 ４・・・下フレーム、５・・・上プレート、６・・・下
プレート、７・・・ガイドロール、８・・・シールプレ
ート。 ９・・・側壁、ｌＯ・・・軸受ブロック、 １１．１２
・・・ネジ、１：ｌ、 １４・・・長穴、１５・・・巻
出巻取装置、１６・・・低圧真空処理室、１７・・・高
圧真空処理室、１８・・・差圧真空室、１９・・・排気
ポンプ、２０・・・帯板、Ｄ・・・差圧シール装置、Ｓ
・・・板材。
じく平面図、第３図は同じく正面図、第４図は本発明装
置の適用例を示す図である。 ｌ・・・上隔壁、２・・・下隔壁、３−・・上フレーム
。 ４・・・下フレーム、５・・・上プレート、６・・・下
プレート、７・・・ガイドロール、８・・・シールプレ
ート。 ９・・・側壁、ｌＯ・・・軸受ブロック、 １１．１２
・・・ネジ、１：ｌ、 １４・・・長穴、１５・・・巻
出巻取装置、１６・・・低圧真空処理室、１７・・・高
圧真空処理室、１８・・・差圧真空室、１９・・・排気
ポンプ、２０・・・帯板、Ｄ・・・差圧シール装置、Ｓ
・・・板材。
Claims (1)
- １、略水平方向に搬送される板材（Ｓ）の下面に処理を
行う処理ラインにおいて圧力の異なる２室の境界をなす
装置であって、上隔壁（１）、下隔壁（２）、上フレー
ム（３）、下フレーム（４）、上プレート（５）、下プ
レート（６）、ガイドロール（７）、シールプレート（
８）を有し、上隔壁（１）の下端と下隔壁（２）の上端
の間には板材（Ｓ）が通過する間隙が設けられ、上フレ
ーム（３）は上隔壁（１）の下端から下方に突出して上
下位置調整可能に設けられ、下フレーム（４）は下隔壁
（２）の上端から上方に突出して上下位置調整可能に設
けられ、上プレート（５）は上フレーム（３）の下端に
板材（Ｓ）と平行に設けられ、下プレート（６）は下フ
レーム（４）の上端に板材（Ｓ）と平行に設けられ、ガ
イドロール（７）は軸を板材（Ｓ）の表面と平行にかつ
板材（Ｓ）の搬送方向と直角にして上プレート（５）の
板材（Ｓ）搬送方向前後端に上プレート（５）の下面よ
り下方に突出しかつ下プレート（６）との間に間隙をも
って設けられ、シールプレート（８）は上プレート（５
）および下プレート（６）の板材（Ｓ）搬送方向両側端
部にて両プレート（５）および（６）の間隙を埋めかつ
前記２室の側壁（９）と密着して設けられていることを
特徴とする差圧シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18836888A JPH0240231A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 差圧シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18836888A JPH0240231A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 差圧シール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240231A true JPH0240231A (ja) | 1990-02-09 |
| JPH0592B2 JPH0592B2 (ja) | 1993-01-05 |
Family
ID=16222390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18836888A Granted JPH0240231A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 差圧シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240231A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011006737A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Hitachi Zosen Corp | 真空成膜装置及び真空成膜方法 |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP18836888A patent/JPH0240231A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011006737A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Hitachi Zosen Corp | 真空成膜装置及び真空成膜方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0592B2 (ja) | 1993-01-05 |
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