JPH0240400Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は、超高純度ガス貯蔵容器への容器弁
接続装置に関し、その接続時に金属摩耗微粉が発
生して超高純度ガス貯蔵容器の内部に侵入し、そ
の後充填される超高純度ガスを汚染することを防
止する技術である。

〈従来技術〉 近時、半導体集積回路の高密度化に伴ない、そ
の製造に用いられる水素その他のガスは、次第に
超高純度（例えば現状では99.99999％以上）のも
のが要求されだしてきている。この超高純度ガス
は、僅かな塵埃が混入するだけで、汚染や純度低
下が急速に進むため、極微量の塵埃であつても混
入させてはならない。

従来では、ガス貯蔵容器へ容器弁を接続する構
造として、ガス貯蔵容器の容器口の弁取付孔にテ
ーパー雌ねじを切り、一方、容器弁の脚部にテー
パー雄ねじを切り、容器口の弁取付孔に容器弁の
脚部をテーパーねじ嵌合により気密状に固定して
いた（例えば、実開昭59−75973号公報）。

〈考案が解決しようとする問題点〉 上記従来構造では、ガス貯蔵容器の弁取付孔に
容器弁の脚部をねじ込んで行くときに、高圧下で
の気密を確保するために、ねじ嵌合面が非常に高
い面圧で摺擦して、金属摩耗微粉を発生させる。
この微粉は、弁取付孔を通つてガス貯蔵容器内に
侵入し、後に充填される超高純度ガスを汚染した
り純度低下させたりする点で問題がある。

さらに、上記の金属摩耗微粉がガスとともに流
れ出し、容器弁や圧力調整器の弁座部に付着する
と、弁座リークの原因となる。

本考案は、ガス貯蔵容器の弁取付孔に容器弁の
脚部を組付けるときに、金属摩耗微粉がガス貯蔵
容器内に侵入しないようにする事を目的とする。

〈問題点を解決するための手段〉 上記目的を達成するために、本考案は、例えば
第１図から第３図に示すように容器弁５の脚部６
に袋ナツト８を回転自在に外嵌し、袋ナツト８の
上半部内で脚部６の周面の途中高さ部分９に押え
金１０を径方向に突出する状態で下降移動不能に
嵌合させ、脚部６の周面下部６ａを容器口２の弁
取付孔３に回り止め手段１６で回転不能に挿入
し、脚部６と弁取付孔３との下面６ｂ，３ｂ同士
間にガスケツト２１を介在させ、袋ナツト８を容
器口２の外周面の雄ねじ２ａに螺締して、袋ナツ
ト８の上部の内鍔部２２で押え金１０を介して脚
部６を容器口２に押付けて固定した事を特徴とす
るものである。

〈作用〉 本考案において、ガス貯蔵容器１に容器弁５を
取付ける手順を次に説明する。

容器口２の弁取付孔３にまずガスケツト２１を
挿入し、次に容器弁５の脚部６を回り止め手段１
６で回り止めしながら挿入する。袋ナツト８を容
器口２の外周面の雄ねじ２ａに嵌合して締付けて
いく。すると、押え金１０を介して脚部６が弁取
付孔３内に押込まれ、ガスケツト２１で封止され
た状態で固定される。これにより、容器弁５の取
付けが完了する。

この取付途中において、弁取付孔３内では、脚
部６が回り止め手段１６で回り止めされながら挿
入されるので面圧の高い摺擦部ができず、金属摩
耗微粉が発生しない。

一方、袋ナツト８と容器口２とのねじ嵌合面
間、及び袋ナツト８と押え金１０との接当面間に
は、面圧の高い摺擦部ができて、金属摩耗微粉が
発生する。しかし、この微粉は、弁取付孔３内に
侵入しにくいうえ、ガスケツト２１が封止作用を
した後に発生する。このため、ガス貯蔵容器１内
に上記微粉が侵入する事は完全に防止される。

〈実施例〉 以下、この考案の実施例を図面により説明す
る。

（第１実施例） 第１図から第３図は第１実施例を示している。

第２図中、符号１は超高純度ガス貯蔵容器で、
その容器口２の弁取付孔３に容器弁５の脚部６が
挿嵌されると共に、気密状に固定されている。

上記の容器弁接続装置について、第１図と第３
図にもとづいてより詳しく説明する。

容器弁５の脚部６を回転自在に外嵌する袋ナツ
ト８が設けられる。この袋ナツト８の上半部内
で、脚部６の周面の途中高さ部分９に、筒状の押
え金１０が径方向外側に突出する状態で下降移動
不能に嵌合される。

即ち、脚部６の途中高さ部分９の外周に雄ねじ
１２が形成され、この雄ねじ１２に螺合する雌ね
じ１３が上記の押え金１０の筒内に形成されてい
る。また、この押え金１０の下部には、その外周
壁に沿つて複数の回転用溝１４が形成される。

そして、脚部６に押え金１０を組み付けるとき
には、上記の回転用溝１４を介して押え金１０が
ねじ回し操作される。その所定量以上の上昇移動
は、脚部６における途中高さ部分９の上縁９ａに
よつて規制される。この状態で、回転用溝１４に
図示しない治具を挿通して雄ねじ１２をかしめる
か、又は、溶接するかする。これによつて、押え
金１０の回転、換言すれば、その下降移動が阻止
されている。

一方、脚部６の周面下部６ａを容器口２の弁取
付孔３に回転不能に挿入する回り止め手段１６が
設けられる。この回り止め手段１６は、周面下部
６ａに形成され平面視で半円状の凹所１７と、弁
取付孔３の周壁３ａに上記凹所１７に対向してこ
れと同形状に形成される凹所１８と、これら凹所
１７，１８間に嵌入される回り止めピン１９とで
構成される。

また、脚部６の下面６ｂと弁取付孔３の下面３
ｂとの間に金属製のガスケツト２１が介在され
る。このガスケツト２１は、ばね入りメタルＣリ
ングで構成されている。

そして、脚部６の挿入時には、上方へ移動させ
ていた前記の袋ナツト８（第１図中二点鎖線図
示）を容器口２の外周面に形成した雄ねじ２ａに
螺締すると（同図中実線図示）、この袋ナツト８
の内鍔部２２によつて押え金１０が下方に押圧さ
れる。これによつて、脚部６が容器口２に押付け
られ、ガスケツト２１を介して気密状に固定され
る。

なお、第１図中符号２３はロツクナツトであ
る。

上記構成における容器弁５の脚部６が容器の転
倒時に損傷するのを防止する手段が設けられる。
即ち、脚部６における上下方向中途部の外径Da
が、途中高さ部分９に形成された雄ねじ１２の谷
径Dbとほぼ同寸法に形成される。このようにす
ると、超高純度ガス貯蔵容器１が転倒して容器弁
５に衝撃が加わる場合に、この衝撃力が脚部６の
全長にわたつて分散され、雄ねじ１２の谷径Db
の部分に応力が集中することはなくなる。

従つて、脚部６が破損することは効果的に防止
される。

（第２実施例） 第４図は第２実施例を示し、上記第１実施例と
は異なる構成について説明する。この場合、脚部
６の周面の途中高さ部分９に周溝２６が形成され
る。一方、押え金１０は円筒状に形成され、か
つ、その縦軸を通る面を挾んで二つに分割されて
いる。これら両分割体がそれぞれ周溝２６に嵌入
されると共に、ばね製の止め輪２７を介して周溝
２６に挾み付けられる。

このようにすると、前記第１実施例のように脚
部６に雄ねじ部１２を形成する必要がなくなり、
その加工の手間を省くことができる。

〈考案の効果〉 本考案は、上記作用の項で説明したように、弁
取付孔内では脚部が回り止めされながら挿入され
るので、高面圧の摺擦による金属摩耗微粉の発生
を無くす事ができる。しかも、袋ナツトと容器口
とのねじ嵌合面間、及び袋ナツトと押え金との接
当面間で金属摩耗微粉が発生するが、この微粉は
弁取付孔内に侵入しにくいうえ、ガスケツトで遮
断されるので、ガス貯蔵容器内に侵入する事が完
全に防止される。

従つて、後にガス貯蔵容器内に充填される超高
純度ガスが、その金属摩耗微粉の混入により、汚
染されたり純度低下したり、あるいは、金属摩耗
微粉の付着によつて容器弁や圧力調整器の弁座が
リークしたりする事故を無くす事ができる。

【図面の簡単な説明】

図はこの考案の実施例を示し、第１図から第３
図はその第１実施例で、第１図は容器弁接続装置
の縦断面図を示し第２図の部拡大図、第２図は
全体図、第３図は押え金の斜視図で、第４図は第
２実施例を示し第１図に相当する図である。 １……超高純度ガス貯蔵容器、２……容器口、
２ａ……雄ねじ、３……弁取付孔、３ｂ……下
面、５……容器弁、６……脚部、６ａ……周面下
部、６ｂ……下面、８……袋ナツト、９……途中
高さ部分、１０……押え金、１６……回り止め手
段、２１……ガスケツト、２２……内鍔部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 超高純度ガス貯蔵容器１の容器口２の弁取付孔
   ３に容器弁５の脚部６を挿嵌して気密状に固定す
   る超高純度ガス貯蔵容器への容器弁接続装置にお
   いて、容器弁５の脚部６に袋ナツト８を回転自在
   に外嵌し、袋ナツト８の上半部内で脚部６の周面
   の途中高さ部分９に押え金１０を径方向に突出す
   る状態で下降移動不能に嵌合させ、脚部６の周面
   下部６ａを容器口２の弁取付孔３に回り止め手段
   １６で回転不能に挿入し、脚部６と弁取付孔３と
   の下面６ｂ，３ｂ同士間にガスケツト２１を介在
   させ、袋ナツト８を容器口２の外周面の雄ねじ２
   ａに螺締して、袋ナツト８の上部の内鍔部２２で
   押え金１０を介して脚部６を容器口２に押付けて
   固定した事を特徴とする超高純度ガス貯蔵容器へ
   の容器弁接続装置。