JPH0240886A - セラミックヒータの製造法 - Google Patents
セラミックヒータの製造法Info
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- JPH0240886A JPH0240886A JP19063688A JP19063688A JPH0240886A JP H0240886 A JPH0240886 A JP H0240886A JP 19063688 A JP19063688 A JP 19063688A JP 19063688 A JP19063688 A JP 19063688A JP H0240886 A JPH0240886 A JP H0240886A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はセラミックグロープラグのように急速に昇温さ
せる発熱体のヒータ部を構成するセラミックヒータに関
するものである。
せる発熱体のヒータ部を構成するセラミックヒータに関
するものである。
〈従来の技術〉
近時セラミックグロープラグが開発され、ディーゼル機
関等のプラグとして用いられてきている。
関等のプラグとして用いられてきている。
ここに用いられるヒータ部は、抵抗体としてT i+
Z r、 If f * L a、 v、 N b+
Ta、Cr。
Z r、 If f * L a、 v、 N b+
Ta、Cr。
Mo、Wより選ばれた金属の1種以上の窒化物の如きm
電性セラミックが用いられるとともに絶縁体としても高
温特性のより優れた窒化珪素系の磁器が提案されている
。このように導電性セラミックが抵抗体に用いられる理
由は、主として従来より汎用されているW、Mo等の高
融点金属製のコイル抵抗体を磁器に埋設したものと異な
り、抵抗体と磁器との熱膨張差を小さくするところにあ
る。
電性セラミックが用いられるとともに絶縁体としても高
温特性のより優れた窒化珪素系の磁器が提案されている
。このように導電性セラミックが抵抗体に用いられる理
由は、主として従来より汎用されているW、Mo等の高
融点金属製のコイル抵抗体を磁器に埋設したものと異な
り、抵抗体と磁器との熱膨張差を小さくするところにあ
る。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかし、これまで導電性セラミックを用いたヒータ部は
特開昭57−106586号公報に見られるように、抵
抗粉末を含むペーストをセラミック未焼成成形体の表面
に塗布することによって製造する方法が知られているが
、塗布厚さにバラツキを生じ易く、この結果抵抗値が変
動し易く、又、塗布方法によるためにQ、1mm以上の
厚さの抵抗体を得るためには、数回に亘り塗布、乾燥を
繰り返す必要があり、工数の点で不利なことは否めない
。
特開昭57−106586号公報に見られるように、抵
抗粉末を含むペーストをセラミック未焼成成形体の表面
に塗布することによって製造する方法が知られているが
、塗布厚さにバラツキを生じ易く、この結果抵抗値が変
動し易く、又、塗布方法によるためにQ、1mm以上の
厚さの抵抗体を得るためには、数回に亘り塗布、乾燥を
繰り返す必要があり、工数の点で不利なことは否めない
。
又はぼU字型に打ち抜いた抵抗体を円柱状セラミック中
に埋設すると、抵抗体シートの幅とシート厚さの比が極
めて大きくなり、この結果、セラミックヒータの径方向
の温度ムラが大きくなる欠点がある。なおこのことは前
述の塗布法に於ても見られる欠点である。
に埋設すると、抵抗体シートの幅とシート厚さの比が極
めて大きくなり、この結果、セラミックヒータの径方向
の温度ムラが大きくなる欠点がある。なおこのことは前
述の塗布法に於ても見られる欠点である。
く課題を解決するための手段〉
本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、
その概要は導電性セラミックを主体とする粉体よりグリ
ーンシートを形成する工程と、それを所定の抵抗体の形
状に打ち抜く工程と、打ち抜かれた抵抗体を窒化珪素質
セラミック粉体中に埋設し、この1氏抗体の幅方向から
圧力を加えながら焼成する工程よりなるセラミックヒー
タの製造方法である。
その概要は導電性セラミックを主体とする粉体よりグリ
ーンシートを形成する工程と、それを所定の抵抗体の形
状に打ち抜く工程と、打ち抜かれた抵抗体を窒化珪素質
セラミック粉体中に埋設し、この1氏抗体の幅方向から
圧力を加えながら焼成する工程よりなるセラミックヒー
タの製造方法である。
く作 用〉
本発明によれば■シート成形法により任意の厚さ(0,
05〜数龍)の抵抗体が得られる。しかも厚さの寸法の
バラツキが少ないために結果的に最終製品のセラミック
ヒータの抵抗値のバラツキが減少する。
05〜数龍)の抵抗体が得られる。しかも厚さの寸法の
バラツキが少ないために結果的に最終製品のセラミック
ヒータの抵抗値のバラツキが減少する。
■金型打抜きプレスにより成形する為、寸法精度が高く
抵抗値のバラツキが減少する。
抵抗値のバラツキが減少する。
■シート面の幅方向から加圧しながらホットプレス焼成
するので、抵抗体シート成形体の面方向のみに50〜6
5%に焼成収縮を起す。
するので、抵抗体シート成形体の面方向のみに50〜6
5%に焼成収縮を起す。
この結果焼結体中の抵抗体は抵抗体幅/抵抗体厚さの比
が未焼成成形体に対し50〜65%に低減し、セラミッ
クヒータの径方向の温度分布のバラツキが減少する。
が未焼成成形体に対し50〜65%に低減し、セラミッ
クヒータの径方向の温度分布のバラツキが減少する。
などの作用がある。
本発明の実施態様中打ち抜かれた抵抗体を窒化珪素質セ
ラミック粉体中に埋設する工程は、一般には窒化珪素質
セラミック粉末に所定の焼結助剤を加え、第1図に示す
ように金型プレスにより断面り型の2枚の成形体2を作
成し、その平面側を内側にして対向させ、その間に打抜
抵抗体1を挟んで金型プレスして成形される。
ラミック粉体中に埋設する工程は、一般には窒化珪素質
セラミック粉末に所定の焼結助剤を加え、第1図に示す
ように金型プレスにより断面り型の2枚の成形体2を作
成し、その平面側を内側にして対向させ、その間に打抜
抵抗体1を挟んで金型プレスして成形される。
この場合、焼成、加圧の仕方により製品は収縮方向が異
なり本発明のように抵抗体の幅方向から加圧しながらホ
ットプレスすると、温度分布が小さく、抵抗値のバラツ
キの少ないセラミックヒータが得られる。
なり本発明のように抵抗体の幅方向から加圧しながらホ
ットプレスすると、温度分布が小さく、抵抗値のバラツ
キの少ないセラミックヒータが得られる。
〈実施例〉
次に本発明の実施例及び比較例について述べる。
平均粒径 0.5μmのWC70重量% 及び平均粒径
1.5μmの5izNa 30重量%に対しポリビニ
ルブチラール(有機バインダー)7重量%を加え、更に
トルエン、エチルアルコールを溶剤として混合し、流動
性のあるスラリー状とし、平板上にドクターブレード法
により流し出して溶剤を揮散させ、厚さ0.4鰭の抵抗
体からなるグリーンシートを作成した。
1.5μmの5izNa 30重量%に対しポリビニ
ルブチラール(有機バインダー)7重量%を加え、更に
トルエン、エチルアルコールを溶剤として混合し、流動
性のあるスラリー状とし、平板上にドクターブレード法
により流し出して溶剤を揮散させ、厚さ0.4鰭の抵抗
体からなるグリーンシートを作成した。
次に金型にて第2図のように略U字型に打抜いて、打ち
抜き抵抗体1を作成した。一方平均粒径0.1am、の
Sj+Na 90重1%、Ah(h 5重量%、Y!(
h 5重量%にエチルアルコールを加えて湿式混合し、
例えばエチルセルロースの如き粉末成形用:0′機バイ
ンダーを添加した後、エチルアルコールを渾1iJ1.
させ、セラミック粉末を調整した。
抜き抵抗体1を作成した。一方平均粒径0.1am、の
Sj+Na 90重1%、Ah(h 5重量%、Y!(
h 5重量%にエチルアルコールを加えて湿式混合し、
例えばエチルセルロースの如き粉末成形用:0′機バイ
ンダーを添加した後、エチルアルコールを渾1iJ1.
させ、セラミック粉末を調整した。
ついで第1図に示すようにセラミック粉末を金型により
断面路り型の成形体2に成形し、その成形体2ケの平面
部を向い合せ、中間に前記したシート打ち抜き抵抗体1
を挟んで一体にプレス成形を行なった。3は抵抗体の電
極部である。
断面路り型の成形体2に成形し、その成形体2ケの平面
部を向い合せ、中間に前記したシート打ち抜き抵抗体1
を挟んで一体にプレス成形を行なった。3は抵抗体の電
極部である。
次にこのようにしたものを第3図の(la)、 (lb
)(本発明)、及び(3a) 、 (3b ) (比較
例)のように加圧方向を変えてホットプレス焼成を行っ
た。このものは加圧方向にのみ収縮し、厚さの方向には
収縮しないものであった。
)(本発明)、及び(3a) 、 (3b ) (比較
例)のように加圧方向を変えてホットプレス焼成を行っ
た。このものは加圧方向にのみ収縮し、厚さの方向には
収縮しないものであった。
第2図(la)、 (lb)は打ち抜きシート抵抗体の
幅方向から加圧してホットプレスを行なったものであり
、第2図の(2a)、 (2h)は加圧することなく単
に普通焼成をしたものであり等友釣に収縮するものであ
った。
幅方向から加圧してホットプレスを行なったものであり
、第2図の(2a)、 (2h)は加圧することなく単
に普通焼成をしたものであり等友釣に収縮するものであ
った。
又、第2図(3a)、(3b)に示すようシートの厚さ
の方向に加圧しながらホットプレスするものでは厚みが
益々薄くなることが認められた。
の方向に加圧しながらホットプレスするものでは厚みが
益々薄くなることが認められた。
又透過X線にて内部に埋設された抵抗体の形状を透過X
線で看察した。
線で看察した。
以上によれば、第2図(1a)、(1b)の本発明の実
施例に相当するものはシートの面方向に57%の焼成収
縮が起き、シートの幅は同一割合で収縮が起き、シート
の厚さは殆んど変化しなかった為、抵抗体の全幅/I″
7−さの比が57%に減少した。
施例に相当するものはシートの面方向に57%の焼成収
縮が起き、シートの幅は同一割合で収縮が起き、シート
の厚さは殆んど変化しなかった為、抵抗体の全幅/I″
7−さの比が57%に減少した。
上記の焼結体をφ3.5 x l 40 (mm)の円
筒状に研磨し、研磨によって露出した電極部にメタライ
ズを施した後電流を印加すべく金属部品をロウ付して通
電加熱を行なった結果、径方向の温度差は550℃であ
り良好であった。
筒状に研磨し、研磨によって露出した電極部にメタライ
ズを施した後電流を印加すべく金属部品をロウ付して通
電加熱を行なった結果、径方向の温度差は550℃であ
り良好であった。
これに対し比較例では抵抗体の全幅/厚さの比は普通焼
成(第2図(2))では変化せず、シートの厚さの方向
から圧力を加えてホットプレス焼成したものでは1.7
3(110,57)に拡大し°ζしまった。
成(第2図(2))では変化せず、シートの厚さの方向
から圧力を加えてホットプレス焼成したものでは1.7
3(110,57)に拡大し°ζしまった。
これを本発明の実施例と同様にして通電加熱を行なった
ところ、温度差は各々〜150℃、〜300℃と到底実
用に耐えるものではではなかった。
ところ、温度差は各々〜150℃、〜300℃と到底実
用に耐えるものではではなかった。
(なお比較例の如きものを使用する場合は焼成時の収縮
率を勘案して未焼成プレス成形体の形状を変更したもの
で実施している。) 更に本発明の実施例によるセラミックヒータの3σ 抵抗のバラツキを確認したところ−1−=2.7%と極
めて安定していることが判明した。
率を勘案して未焼成プレス成形体の形状を変更したもの
で実施している。) 更に本発明の実施例によるセラミックヒータの3σ 抵抗のバラツキを確認したところ−1−=2.7%と極
めて安定していることが判明した。
〈発明の効果〉
本発明によれば温度分布の範囲が小さく、また抵抗値の
バラツキも少ないセラミックヒータの製造が可能である
。
バラツキも少ないセラミックヒータの製造が可能である
。
又、抵抗体の厚さや形状は任意であり、必要な昇温特性
を有するヒータの作成が容易である。
を有するヒータの作成が容易である。
第1図はグリーンシート打抜き法で製造された抵抗体を
D型セラミックで挟んで一体化する工程を示す斜視図、
第2図は成形体中の抵抗体形状を示す縦断面図、第3図
(la) 、 (lb)は本発明の一例、第3図(2a
) 、 (2b)は普通焼成の場合の一例、第3図(3
a) 、 (3b)は厚み方向に加圧しながらホットプ
レスする場合の一例を示す縦断面図および横断面図を示
す。 l・・・打抜抵抗体、2・・・窒化珪素質セラミックス
3・・・電極部
D型セラミックで挟んで一体化する工程を示す斜視図、
第2図は成形体中の抵抗体形状を示す縦断面図、第3図
(la) 、 (lb)は本発明の一例、第3図(2a
) 、 (2b)は普通焼成の場合の一例、第3図(3
a) 、 (3b)は厚み方向に加圧しながらホットプ
レスする場合の一例を示す縦断面図および横断面図を示
す。 l・・・打抜抵抗体、2・・・窒化珪素質セラミックス
3・・・電極部
Claims (1)
- 導電性セラミックを主体とする粉体と、シート成形用の
有機質粘結剤とを混練してペースト状となし、これを平
板状に流してグリーンシートを形成する工程と、該グリ
ーンシートを所定の抵抗体の形状に打ち抜く工程と、打
ち抜かれた抵抗体を窒化珪素質セラミック粉体中に埋設
し、前記抵抗体の幅方向から圧力を加えながら焼成する
工程とからなることを特徴とするセラミックヒータの製
造法
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63190636A JP2530209B2 (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | セラミックヒ―タの製造法 |
| DE19893924777 DE3924777A1 (de) | 1988-07-26 | 1989-07-26 | Keramische heizvorrichtung und verfahren zu deren herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63190636A JP2530209B2 (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | セラミックヒ―タの製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240886A true JPH0240886A (ja) | 1990-02-09 |
| JP2530209B2 JP2530209B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=16261370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63190636A Expired - Fee Related JP2530209B2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-08-01 | セラミックヒ―タの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2530209B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100588004B1 (ko) * | 1999-07-02 | 2006-06-08 | 베루 악티엔게젤샤프트 | 세라믹 가열 로드, 이를 포함한 글로 플러그 및 그 가열로드와 글로 플러그의 제조공정 |
| JP2009525570A (ja) * | 2006-01-30 | 2009-07-09 | ライスター プロセス テクノロジーズ | 熱風装置の加熱素子 |
-
1988
- 1988-08-01 JP JP63190636A patent/JP2530209B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100588004B1 (ko) * | 1999-07-02 | 2006-06-08 | 베루 악티엔게젤샤프트 | 세라믹 가열 로드, 이를 포함한 글로 플러그 및 그 가열로드와 글로 플러그의 제조공정 |
| JP2009525570A (ja) * | 2006-01-30 | 2009-07-09 | ライスター プロセス テクノロジーズ | 熱風装置の加熱素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2530209B2 (ja) | 1996-09-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |