JPH0241084B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0241084B2 JPH0241084B2 JP59005872A JP587284A JPH0241084B2 JP H0241084 B2 JPH0241084 B2 JP H0241084B2 JP 59005872 A JP59005872 A JP 59005872A JP 587284 A JP587284 A JP 587284A JP H0241084 B2 JPH0241084 B2 JP H0241084B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- yoke
- layer
- winding
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3133—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
- G11B5/3166—Testing or indicating in relation thereto, e.g. before the fabrication is completed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄膜磁気変換器ヘツドの製造方法に関
する。
する。
現在の薄膜変換器ヘツドの設計では、基板上に
２層の磁気材料が付着され、裏（後方）のギヤツ
プの所以外は絶縁層がこれら透磁性の２層を分離
しており、全体としては磁極端部をなす変換器の
ギヤツプを通る閉磁路を有するヨークが形成され
ている。実質的に平坦な、改良らせんコイルがヨ
ークの２層を分離する絶縁材料を通つて延び、ヨ
ークを形成する２層かららせんコイルを絶縁して
いる。
２層の磁気材料が付着され、裏（後方）のギヤツ
プの所以外は絶縁層がこれら透磁性の２層を分離
しており、全体としては磁極端部をなす変換器の
ギヤツプを通る閉磁路を有するヨークが形成され
ている。実質的に平坦な、改良らせんコイルがヨ
ークの２層を分離する絶縁材料を通つて延び、ヨ
ークを形成する２層かららせんコイルを絶縁して
いる。
コイルの中心パツドはヨーク材料の第２層から
形成されるジヤンパによつて電気的に接続されて
いる。この設計の薄膜磁気変換器ヘツドは米国特
許第4190872号及び第4219854号に開示されてい
る。このヘツドは十分に動作しているとは言え、
製造過程での装置の収率を危なくする様な或る製
造上の制限有する。先ず装置は第２のパーマロイ
層が付着される迄はテストされ得ず、付着される
とテストはより複雑と成り、故障したコイルを再
生処理する機会はもはやなくなる。最も困難なテ
ストは巻線が一巻分なくなる、即ち８巻のコイル
が７巻のコイルになる巻線の短絡である。巻き数
が増大すると、検出は段々困難になる。導体の巻
線が付着され、絶縁された後直ちにコイルをテス
トする事が可能ならば、製造過程が簡単になり、
テスト迄は完全に処理されていた変換器を廃棄す
る事なく装置の大部分を完全な仕様条件に迄再生
処理する事が可能になる事は明らかであろう。
形成されるジヤンパによつて電気的に接続されて
いる。この設計の薄膜磁気変換器ヘツドは米国特
許第4190872号及び第4219854号に開示されてい
る。このヘツドは十分に動作しているとは言え、
製造過程での装置の収率を危なくする様な或る製
造上の制限有する。先ず装置は第２のパーマロイ
層が付着される迄はテストされ得ず、付着される
とテストはより複雑と成り、故障したコイルを再
生処理する機会はもはやなくなる。最も困難なテ
ストは巻線が一巻分なくなる、即ち８巻のコイル
が７巻のコイルになる巻線の短絡である。巻き数
が増大すると、検出は段々困難になる。導体の巻
線が付着され、絶縁された後直ちにコイルをテス
トする事が可能ならば、製造過程が簡単になり、
テスト迄は完全に処理されていた変換器を廃棄す
る事なく装置の大部分を完全な仕様条件に迄再生
処理する事が可能になる事は明らかであろう。
本発明の改良された方法で得られる構造体はコ
イル巻線材料の付着の前にコイルの終端を製造す
る事によつて形成される。コイル形成用の導電性
の銅材料が付着される時はコイルの連続性とコイ
ルの巻線の分離が直ちにテストされる。製造のこ
の段階におけるテストは単一の短絡した巻き部分
の同定、同様に欠陥の同定を容易にし、ここでコ
イルの再生処理もしくは取り換えが可能になり良
好な装置の収率が増大される。この製造段階にお
いて下の絶縁体もしくはパーマロイ素子に損傷を
与える事なく銅のコイルを除去する選択的食刻剤
が使用される。これによつて導電性被覆、マスキ
ング、銅の電着及びマスク除去が繰り返し得る様
になり、従来の処理段階を無駄にする事なく他に
欠陥のない完全装置を廃棄する必要なく装置の使
用を満足する巻線を形成する事が可能になる。
イル巻線材料の付着の前にコイルの終端を製造す
る事によつて形成される。コイル形成用の導電性
の銅材料が付着される時はコイルの連続性とコイ
ルの巻線の分離が直ちにテストされる。製造のこ
の段階におけるテストは単一の短絡した巻き部分
の同定、同様に欠陥の同定を容易にし、ここでコ
イルの再生処理もしくは取り換えが可能になり良
好な装置の収率が増大される。この製造段階にお
いて下の絶縁体もしくはパーマロイ素子に損傷を
与える事なく銅のコイルを除去する選択的食刻剤
が使用される。これによつて導電性被覆、マスキ
ング、銅の電着及びマスク除去が繰り返し得る様
になり、従来の処理段階を無駄にする事なく他に
欠陥のない完全装置を廃棄する必要なく装置の使
用を満足する巻線を形成する事が可能になる。
第１図及び第２図に示された如く、薄膜変換器
ヘツドがセラミツク基板１０上に形成されてい
る。１対のパーマロイ極片１２及び１３がヨーク
１４を形成する。バツク・ギヤツプ領域３２では
ヨーク部材は互に接触する。変換器ギヤツプ１６
はギヤツプの材料１７の厚さによつて決定され
る。電気的端子条件１９が基板１０上に形成され
る。連続コイルをなす銅巻線２２がヨーク１４の
中を通り又端子条件１９上に延びていてヨーク１
４からは絶縁層２３及び２４によつて離され、電
気的接触をしている領域２７を除き端子条件１９
からは絶縁層２３によつて分離されている。巻線
２２の渦巻きは広面積の端子条片１９から広面積
の中心の端子パツド２１迄延びている。第１図で
は拡大して示されているが、極の先端領域におけ
る寸法Ａは代表的には2.54cmの一千分の一以下で
あり、変換器ヘツド組立体の他の寸法も拡大され
た図面の寸法よりこれに対応して小さい。
ヘツドがセラミツク基板１０上に形成されてい
る。１対のパーマロイ極片１２及び１３がヨーク
１４を形成する。バツク・ギヤツプ領域３２では
ヨーク部材は互に接触する。変換器ギヤツプ１６
はギヤツプの材料１７の厚さによつて決定され
る。電気的端子条件１９が基板１０上に形成され
る。連続コイルをなす銅巻線２２がヨーク１４の
中を通り又端子条件１９上に延びていてヨーク１
４からは絶縁層２３及び２４によつて離され、電
気的接触をしている領域２７を除き端子条件１９
からは絶縁層２３によつて分離されている。巻線
２２の渦巻きは広面積の端子条片１９から広面積
の中心の端子パツド２１迄延びている。第１図で
は拡大して示されているが、極の先端領域におけ
る寸法Ａは代表的には2.54cmの一千分の一以下で
あり、変換器ヘツド組立体の他の寸法も拡大され
た図面の寸法よりこれに対応して小さい。
変換器ヘツドは通常の実施例ではスライダ素子
の後端部及び背部の空気支持表面３０である非磁
性セラミツク支持体１０上に形成される。最初の
層は極の先端部１３及びバツク領域１５及び端子
条件１９を含むヨーク層を形成するための制限さ
れた領域に付着される。バツク領域１５及び端子
１９を含むヨーク層は、背部領域１８及び極の先
端１２を含み、空気支持表面３０に隣接する極の
先端領域の若干幅の広い部分を除き、上方ヨーク
層１４と同一形状及び寸法を有する上方ヨーク層
の下にある。変換器ギヤツプ１６が電気的接触領
域２７及びヨークのバツク・ギヤツプ３０を除き
全変換器表面の非導伝性、非磁性材料の薄層１７
によつて与えられる。その厚さはヨーク部分１２
及び１３の極の先端領域間に適切な寸法のギヤツ
プを与える様に制御される。次に第１の絶縁層２
３がヨークのバツク・ギヤツプ領域３２及び電気
的接触領域２７を除いてヨークのバツク領域層１
５及び端子条片１９からコイル２２を絶縁するた
めに付着される。絶縁層２３は同様に極の先端領
域１３からも除外される。部分的に製造された変
換器組立体は表面を導電性にするに十分な金属被
膜が表面に付着され、次にフオシレジスト技法を
使用してコイル２２の構造を画定するマスクが付
着され、露光された、非マスク領域上に銅を電着
する事によつて連続したコイル２２をなす導電性
層が形成される。マスク及び下の金属被覆が除去
される。コイル２２はコイル中の巻き数が電気的
に減少される様な電気的短絡を生ずる事なく電気
的接触領域２７から広面積の表面６４迄連続した
渦巻を形成しなくてはならない。
の後端部及び背部の空気支持表面３０である非磁
性セラミツク支持体１０上に形成される。最初の
層は極の先端部１３及びバツク領域１５及び端子
条件１９を含むヨーク層を形成するための制限さ
れた領域に付着される。バツク領域１５及び端子
１９を含むヨーク層は、背部領域１８及び極の先
端１２を含み、空気支持表面３０に隣接する極の
先端領域の若干幅の広い部分を除き、上方ヨーク
層１４と同一形状及び寸法を有する上方ヨーク層
の下にある。変換器ギヤツプ１６が電気的接触領
域２７及びヨークのバツク・ギヤツプ３０を除き
全変換器表面の非導伝性、非磁性材料の薄層１７
によつて与えられる。その厚さはヨーク部分１２
及び１３の極の先端領域間に適切な寸法のギヤツ
プを与える様に制御される。次に第１の絶縁層２
３がヨークのバツク・ギヤツプ領域３２及び電気
的接触領域２７を除いてヨークのバツク領域層１
５及び端子条片１９からコイル２２を絶縁するた
めに付着される。絶縁層２３は同様に極の先端領
域１３からも除外される。部分的に製造された変
換器組立体は表面を導電性にするに十分な金属被
膜が表面に付着され、次にフオシレジスト技法を
使用してコイル２２の構造を画定するマスクが付
着され、露光された、非マスク領域上に銅を電着
する事によつて連続したコイル２２をなす導電性
層が形成される。マスク及び下の金属被覆が除去
される。コイル２２はコイル中の巻き数が電気的
に減少される様な電気的短絡を生ずる事なく電気
的接触領域２７から広面積の表面６４迄連続した
渦巻を形成しなくてはならない。
この製造段階で、コイル２２は端子条片１９及
びコイルの端にある拡大された電気的接触領域３
４を使用したテスト可能である。欠陥がある時、
パーマロイ極片１３、ギヤツプ材料１７もしくは
絶縁体２３を傷つける事なく銅のコイル層２２、
３４だけを溶解する選択的食刻剤を使用して欠陥
コイルを再生処理する事が可能になる。この様な
機能を有する食刻剤はPHが８の、過硫酸アンモニ
ウムの20％溶液である。欠陥銅層を除去した後、
表面はコイルの渦巻き及び広面積の電気的接触領
域３４を再び形成する様に、フオトレジスト材料
が付着され、選択的に露光され、現像され銅がめ
つきされ得る。
びコイルの端にある拡大された電気的接触領域３
４を使用したテスト可能である。欠陥がある時、
パーマロイ極片１３、ギヤツプ材料１７もしくは
絶縁体２３を傷つける事なく銅のコイル層２２、
３４だけを溶解する選択的食刻剤を使用して欠陥
コイルを再生処理する事が可能になる。この様な
機能を有する食刻剤はPHが８の、過硫酸アンモニ
ウムの20％溶液である。欠陥銅層を除去した後、
表面はコイルの渦巻き及び広面積の電気的接触領
域３４を再び形成する様に、フオトレジスト材料
が付着され、選択的に露光され、現像され銅がめ
つきされ得る。
中間の電気テスト及び必要な再生処理が行なわ
れた後に、残りの製造段階が遂行される。即ち絶
縁層２４が付着され、続いて最後のパーマロイ・
ヨーク層１２，１８が付着される。
れた後に、残りの製造段階が遂行される。即ち絶
縁層２４が付着され、続いて最後のパーマロイ・
ヨーク層１２，１８が付着される。
第１図は本発明を組み込んだ薄膜磁気変換器ヘ
ツドの拡大図平面図である。第２図は第１図の線
２−２に沿つたさらに拡大部分断面図である。 １０……セラミツク基板、１２，１３……パー
マロイ極片、１４……ヨーク、１５……バツク領
域、１６……変換器ギヤツプ、１８……背部領
域、１９……端子条片、２１……中心パツド、２
２……コイル巻線、２３，２４……絶縁層、２７
……電気的接触領域、３０……空気支持表面、３
２……ヨーク・バツク・ギヤツプ領域、３４……
表面の電気的接触領域。
ツドの拡大図平面図である。第２図は第１図の線
２−２に沿つたさらに拡大部分断面図である。 １０……セラミツク基板、１２，１３……パー
マロイ極片、１４……ヨーク、１５……バツク領
域、１６……変換器ギヤツプ、１８……背部領
域、１９……端子条片、２１……中心パツド、２
２……コイル巻線、２３，２４……絶縁層、２７
……電気的接触領域、３０……空気支持表面、３
２……ヨーク・バツク・ギヤツプ領域、３４……
表面の電気的接触領域。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基板上に第１のヨーク層と導電性の端子条片
とを付着するステツプと、 極の先端に変換器ギヤツプを画成するギヤツプ
の材料の層を与えるステツプと、 上記ヨーク層及び上記端子条片の上に第１の電
気的な絶縁層を与えるステツプと、 上記極の先端領域とバツク・ギヤツプ領域との
間の、上記第１のヨークの上に各巻線の第１部分
を有するよう、各巻線の第２部分を上記端子条片
の上に有するよう且つ上記コイルの内端を上記端
子条片と電気的に接続するように、コイルを与え
るステツプと、 上記コイルの上に第２の絶縁層を与えるステツ
プと、 上記極の先端で上記変換器ギヤツプを形成する
よう且つ上記バツク・ギヤツプ領域で上記第１の
ヨーク層と接触するよう上記第１ヨーク層の上に
第２のヨーク層を与えるステツプとを有し、 上記コイルを与えるステツプの後で且つ上記第
２のヨーク層を与えるステツプの前に、上記コイ
ルの連続性及び巻線短絡をテストするステツプを
設けたことを特徴とする磁気薄膜変換器ヘツドの
製造方法。 ２ 上記テストするステツプは、上記コイルの連
続性の欠陥若しくは巻線短絡というテスト結果を
得たとき、上記コイルを再生処理することを含む
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄
膜磁気変換器ヘツドの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/490,631 US4593334A (en) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | Thin film transducer |
| US490631 | 1983-05-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035317A JPS6035317A (ja) | 1985-02-23 |
| JPH0241084B2 true JPH0241084B2 (ja) | 1990-09-14 |
Family
ID=23948869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59005872A Granted JPS6035317A (ja) | 1983-05-02 | 1984-01-18 | 薄膜磁気変換器ヘッドの製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4593334A (ja) |
| EP (1) | EP0126864B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6035317A (ja) |
| DE (1) | DE3472319D1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4814921A (en) * | 1984-10-17 | 1989-03-21 | Hitachi, Ltd. | Multilayered magnetic films and thin-film magnetic heads using the same as a pole |
| US4694368A (en) * | 1986-01-10 | 1987-09-15 | Read-Rite Corporation | Thin film magnetic head with three superimposed coils |
| JPH02199070A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-08-07 | Nippon Steel Corp | 流し込み施工用耐火物 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4190872A (en) * | 1978-12-21 | 1980-02-26 | International Business Machines Corporation | Thin film inductive transducer |
| US4219854A (en) * | 1978-12-21 | 1980-08-26 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic head assembly |
| US4335410A (en) * | 1979-01-15 | 1982-06-15 | Magnex Corporation | Thin film magnetic transducer |
| JPS5814219U (ja) * | 1981-07-21 | 1983-01-28 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜磁気ヘツド |
| US4423451A (en) * | 1981-08-10 | 1983-12-27 | Sperry Corporation | Thin film magnetic head having disparate poles for pulse asymmetry compensation |
-
1983
- 1983-05-02 US US06/490,631 patent/US4593334A/en not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-01-18 JP JP59005872A patent/JPS6035317A/ja active Granted
- 1984-03-05 EP EP84102330A patent/EP0126864B1/en not_active Expired
- 1984-03-05 DE DE8484102330T patent/DE3472319D1/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3472319D1 (en) | 1988-07-28 |
| EP0126864B1 (en) | 1988-06-22 |
| US4593334A (en) | 1986-06-03 |
| JPS6035317A (ja) | 1985-02-23 |
| EP0126864A1 (en) | 1984-12-05 |
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