JPH0242427U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0242427U JPH0242427U JP12197988U JP12197988U JPH0242427U JP H0242427 U JPH0242427 U JP H0242427U JP 12197988 U JP12197988 U JP 12197988U JP 12197988 U JP12197988 U JP 12197988U JP H0242427 U JPH0242427 U JP H0242427U
- Authority
- JP
- Japan
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- cathode
- side magnet
- high frequency
- forms
- chamber
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
Description
第１図及び第２図は本考案の薄膜形成装置の１
実施例の正面図及び一部の平面図、第３図は従来
例の正面図である。 １……反応チヤンバ、２……カソード電極、３
……アノード電極、４……薄膜形成用基板、５…
…高周波電源、６……カソード側磁石、７……ア
ノード側磁石。
実施例の正面図及び一部の平面図、第３図は従来
例の正面図である。 １……反応チヤンバ、２……カソード電極、３
……アノード電極、４……薄膜形成用基板、５…
…高周波電源、６……カソード側磁石、７……ア
ノード側磁石。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 反応ガスが供給される反応チヤンバと、 前記チヤンバ内に配設された平板状のカソード
電極と、 前記チヤンバ内に前記カソード電極に平行に配
設され、薄膜形成用基板を内面に保持した平板状
のアノード電極と、 前記両電極に高周波電力を供給し前記両電極間
に高周波電界を形成する高周波電源と、 前記カソード電極の外側に配設され前記カソー
ド電極の内面近辺に前記電界にほぼ直交した磁界
を形成するカソード側磁石と、 前記アノード電極の外側に前記カソード側磁石
の磁極間隔より小なる磁極間隔で配設され、前記
基板の表面近辺に前記電界にほぼ直交した磁界を
形成するアノード側磁石と を備えた薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12197988U JPH0614478Y2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12197988U JPH0614478Y2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 薄膜形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242427U true JPH0242427U (ja) | 1990-03-23 |
| JPH0614478Y2 JPH0614478Y2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=31369485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12197988U Expired - Lifetime JPH0614478Y2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614478Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-09-16 JP JP12197988U patent/JPH0614478Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0614478Y2 (ja) | 1994-04-13 |
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