JPH0243099B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体等の電子機器部品の耐熱試験
を行なう環境試験装置に関するものである。

従来技術 従来この種の装置としては、第９図に示すよう
にケーシング１、ドア２及び操作孔３によつて覆
われた環境試験室４を有する環境試験装置におい
て、環境試験室４内に仕切り板５を介して区画
し、一方に冷凍サイクルの蒸発器６、電熱ヒータ
ー等の加熱手段７及び空気を循環させるためのブ
ロワー８を配置し、他方の室を常圧下で冷却する
方式のものが知られている。尚９は、仕切り板５
にあけられた通気孔である。

以上のような構成において、従来の環境試験装
置では、環境試験室４内にある空気は、蒸発器６
で冷却され、加熱手段７で適当な温度に加熱され
たのち、ブロワー８を介して循環されるようにな
つている。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、かかる従来の環境試験装置で
は、そのままの状態で作動させているときは良い
が、操作孔３から環境試験室４内の被試験物を操
作するような場合に、環境試験室内が大気圧の状
態に有ること及び外気の温度が環境試験室内より
も著しく高い場合には操作孔を介して外気が入り
込み環境試験室内の温度を一定に保てないといつ
た不都合がある。また外気の湿度が高い時には、
操作孔付近において霜が付着するといつた不都合
がある。さらに外気と環境試験室内の温度が相違
する場合に、操作孔の外部表面に水滴が結露し環
境試験室内部に手を入れて操作する時に、手や被
試験物に水滴が付着してしまうという不都合があ
る。

そこで本発明者は、かかる従来技術の欠点を鑑
み操作孔から外気が入り込むことを防ぐことを鋭
意検討した結果環境試験室内を陽圧によれば、操
作孔から内部の空気が吹き出すことは有つても内
部に入り込まないことを確かめ、発明したもので
ある。

問題点を解決する為の手段 すなわち本発明は、ケーシングで覆われた環境
試験槽内を仕切り板で環境試験室と恒温空気発生
室とに区画し、該恒温空気発生室内に冷凍サイク
ルの蒸発器、空気加熱手段、空気循環用ブロワー
と直列に配置した環境試験装置において、ケーシ
ングの一部に設けた外気の流入を抑える操作孔
と、蒸発器の空気入口付近に配置した外気を導入
する連通口とからなり、前記連通口がケーシング
の蒸発器の空気入口側に設けた穴と該穴と連通す
る断面Ｕ字状のダクトとで形成され、該ダクトの
一端が外部と連通した環境試験装置により本目的
を達成する。

尚操作孔の表面に水滴が結露して環境試験室内
部に手を入れて操作する時に、手や被試験物に水
滴が付着してしまうという不都合を是正するべく
操作孔に除霜手段を設けた。さらに操作孔から入
り込む外気の湿度を低くするべく超低露点空気供
給手段を操作孔に設けた。

作 用 以上述べたように本発明にかかる環境試験装置
では、恒温空気発生室内に設けた蒸発器で外気を
導入しながら空気を冷却し、さらに加熱手段で所
定の温度に加熱したのち空気循環用のブロワーで
環境試験室内に送風する。この時外気を導入しな
がらブロワーで強制循環させているので環境試験
室内は自ずと陽圧になる。環境試験室内が陽圧で
あるために操作孔の膜には圧力差が生じる。この
ため操作孔から手ご入れて被試験物を操作すると
きに外気が操作孔を通じて環境試験室内に流れ込
みにくい。また操作孔には除霜手段が設けられて
いるので、たとえ操作孔に水滴が付着しないので
環境試験室内部に手を入れて操作する時に、手や
被試験物に水滴が付着してしまうおそれがない。

さらに操作孔には超露点空気供給手段が設けら
れているために操作孔付近が常に低露点の空気で
あるために、操作孔を通じて外気が環境試験室内
に入つても霜が付着しないで済む。

実施例 以下に本発明を第１図乃至第８図に示された実
施例に従つて詳細に説明する。

第１図において１は、環境試験槽を覆うケーシ
ングであり該環境試験槽内は仕切り板５を介して
環境試験室４と恒温空気発生室とに区画されてい
る。この恒温空気発生室内には冷凍サイクルの蒸
発器６と空気加熱手段の電熱ヒーター７と空気循
環用のブロワー８とがほぼ直列に配置されてい
る。

３は、外部と環境試験室４内とを連通させると
共に外気の流入を抑える為にすだれ状のシリコン
ゴム等の空気遮蔽体を備えた操作孔であり、該操
作孔３の上にはドア２が装着されている。

また恒温空気発生室の入口にあたる蒸発器６の
手前は連通口１０を介して外気を導入するように
なつている。連通口１０はケーシング１の蒸発器
６の空気入口側に設けた穴と該穴と連通する断面
Ｕ字状となるように熱伝導性の良い仕切り板から
なるダクトとで形成されており、該ダクトの一端
が外部と連通している。尚、９は仕切り板５にあ
けられた通気孔である。

以上のように環境試験装置が構成されているの
で、本発明にかかる装置では、恒温空気発生室の
手前にある外気とのダクト等で形成された連通口
１０を介して空気が予冷されながら流れ込み内部
の空気と共に蒸発器６のフインで冷却され、電熱
ヒーター７で加熱される。尚、ダクトで予冷され
た空気は、蛇行する間に水分が結露する関係で、
低露点の空気となる。

そしてこの冷却空気は、恒温空気発生室に設置
したブロワー８により通気孔９を通じて環境試験
室４内に送り出される。

この送り出された冷却空気は環境試験室４内に
ある被試験物を冷却した後再び蒸発器６へ流れて
いく。その為恒温空気発生室内のブロワー８は空
気を循環させる機能と環境試験室４内を陽圧に保
つ機能を持つ。従つて、環境試験室４内が陽圧の
状態にあるので、たとえ操作孔３から試験者が環
境試験室内に手を入れたとしても、内部から冷た
い空気が吹き出すことがあつても、外部から環境
試験室４内に入り込むことない。また空気遮蔽手
段が装着されているので、環境試験室から大量の
空が流出することがなく室内を陽圧に保つことが
できる。

次に第２図に示す実施例のものは前記第１図に
示した実施例の環境試験装置のものと操作孔の構
造が異なるもので、ドア２を境にして内側の操作
孔３ｂと外側の操作孔３ａと空気層を介して隔て
たものからなる。

第２図の実施例の環境試験装置は、操作孔が２
つある為に、内部から外部への冷却空気の吹き出
し量を少なくすることが出来、環境試験室内の温
度の上昇を極力押さえることができる。

また外気が環境試験室内に入り込むのを防ぐこ
とができる。

第３図に示す実施例のものは、第１図の実施例
の操作孔３に電熱ヒーターからなる除霜手段１１
が装着されたものである。

従つて、環境試験室４内の温度と外気の温度と
の間に温度差が有ろうとも、操作孔３は水滴が結
露しにくく、環境試験室４内部に手を入れて操作
する時に、手や被試験物に水滴が付着することが
ない。

第４図に示す実施例のものは、第２図の実施例
の操作孔３ａ，３ｂのそれぞれの電熱ヒーターか
らなる除霜手段１１が装着されたものである。

従つて、この実施例の環境試験装置は、操作孔
に水滴が付着せず環境試験室内部に手を入れて操
作する時に、手や被試験物に水滴がつかない。ま
た環境試験室４内の空気のもれ及び環境試験室４
内への外気の流入少なくて済む。

第５図に示す実施例のものは第１図の実施例の
操作孔に空気圧縮からなる超低露点空気供給手段
１２が備わつたものである。

従つて、この実施例の装置は、空気圧縮機から
供給される空気が低露点であるために、たとえ操
作孔３から環境試験室４内に外気が流入しようと
も流れ込み空気が低露点なので、操作孔３付近に
霜が付着しにくい。

第６図に示す実施例のものは、第３図に示す実
施例の操作孔３に空気圧縮機からなる超低露点空
気供給手段１２が備わつたものである。

従つて、この実施例の装置は、操作孔３に水滴
が結露しにくいと共に、低露点空気である為に操
作孔３付近に霜が付着しにくい。

第７図に示す実施例のものは、第２図に示す実
施例の操作孔３ａの外側に超低露点空気供給手段
１２が備わつたものである。

従つて、この実施例の装置は、操作孔３ａ，３
ｂを通じて環境試験室４内の空気が漏れにくいと
共に操作孔付近に霜が付着しにくい。

第８図に示す実施例のものは、第４図に示す実
施例のものの操作孔３ａの外側に超低露点空気供
給手段１２が備わつたものである。

従つて、この実施例の装置は、操作孔３ａ，３
ｂが水滴が付着しにくく、操作孔３ａ，３ｂを通
じて環境試験室４内の空気が漏れにくいと共に操
作孔３ａ付近が低露点であるので、操作孔に霜が
付着しにくい。

尚本実施例では除霜手段として電熱ヒーターを
採用しているがこれに限定されるものではなく、
操作孔に赤外線輻射手段、温風の送風手段、フイ
ルムヒーターを装着してもよい。

また本実施例の環境試験装置では、連通口から
直接外気を導入しているが、これに限定されるも
のではなく、超低露点空気供給手段として空気圧
縮機を連通口に装着して低露点の空気を供給させ
たほうがより良い。

さらにまた本発明にかかる環境試験装置の蒸発
器としては従前のものではなく、第１０図に示す
ように冷媒の入口及び出口を複数有する冷凍機の
蒸発器において、それら冷媒の入口１３ａ，１３
ｂを被冷却気体の入口側及び出口側に、それら冷
媒の出口１４ａ，１４ｂを被冷却気体の入口側及
び出口側にそれぞれ配置した蒸発器を用いれば、
霜は蒸発器の冷媒入口１３ａ，１３ｂ付近にのみ
付着するだけで済み、冷媒出口１４ａ，１４ｂ付
近には付着しないので、蒸発器の通風路が霜で閉
塞されない。

効 果 以上述べたように本発明にかかる環境試験装置
は、外気を導入して環境試験室内を陽圧にしてい
ること及び操作孔を介して外気が環境試験室内に
流入しないように遮蔽しているために空気の流入
が少ない。また操作孔から空気が漏れにくい為に
環境試験室内の内圧を上昇しやすい。

従つて操作孔を有する環境試験装置に適してい
る。

外気を導入する連通口をダクトを介して蛇行さ
せるように構成しているために、導入された空気
は予冷されると共に除湿されるために、低露点の
空気の状態で試験室内に供給できる。

又操作孔を複重式にしている場合には、環境試
験室内の空気が漏れにくいと共に外気が環境試験
室内に流入しにくい。

さらに操作孔に除霜手段を備えさせたときに
は、操作孔に水滴が結露しないので、環境試験室
内に手を入れて操作する時に手や被試験物に水滴
が付着しないで済む。

そして、操作孔に超低露点空気供給手段を備え
させたときは、操作孔付近が低露点となる為、た
とえ操作孔を通じて環境試験室内に外気が入つた
場合にも操作孔付近に霜が付着しない。

【図面の簡単な説明】

第１図から第８図は本発明にかかる環境試験装
置の各実施例の縦断面図、第９図は、従来技術を
示す環境試験装置の縦断面図、第１０図は本発明
の環境試験装置に使用する蒸発器の断面図であ
る。 １……ケーシング、２……ドア、３……操作
孔、４……環境試験室、５……仕切り板、６……
蒸発器、７……ヒーター、８……ブロワー、９…
…通気孔、１０……連通口、１１……電熱ヒータ
ー、１２……空気圧縮機、１３ａ，１３ｂ……冷
媒入口、１４ａ，１４ｂ……冷媒出口。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ケーシングで覆われた環境試験槽内を仕切り
   板で環境試験室と恒温空気発生室とに区画し、該
   恒温空気発生室内に冷凍サイクルの蒸発器、空気
   加熱手段、空気循環用ブロワーと直列に配置した
   環境試験装置において、ケーシングの一部に設け
   た外気の流入を抑える操作孔と、蒸発器の空気入
   口付近に配置した外気を導入する連通口とからな
   り、前記連通口がケーシングの蒸発器の空気入口
   側に設けた穴と該穴と連通する断面Ｕ字状のダク
   トとで形成され、該ダクトの一端が外部と連通し
   ていることを特徴とする環境試験装置。 ２ ケーシングの一部に設けた外部と内部とを連
   通する操作孔が２重又は複重に構成されているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の環境
   試験装置。 ３ 操作孔に除霜手段が設けられていることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の
   環境試験装置。 ４ 操作孔に超低露点空気供給手段が設けられて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項から
   第３項までのいずれか１項記載の環境試験装置。 ５ 前記操作孔に設けられた超低露点空気供給手
   段が空気圧縮機であることを特徴とする特許請求
   の範囲第３項又は第４項記載の環境試験装置。 ６ 外気を導入する通気孔に超低露点空気供給手
   段が装着されていることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項から第５項までのいずれか１項記載の
   環境試験装置。