JPH025006U - - Google Patents
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- JPH025006U JPH025006U JP8329788U JP8329788U JPH025006U JP H025006 U JPH025006 U JP H025006U JP 8329788 U JP8329788 U JP 8329788U JP 8329788 U JP8329788 U JP 8329788U JP H025006 U JPH025006 U JP H025006U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal thin
- conversion element
- thin film
- reflected light
- detection means
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面概略図、
第２図はその上面概略図。 １……レーザ、２……金属薄膜、４……基台、
７……４分割光電変換素子、１１……測定用光電
変換素子。
第２図はその上面概略図。 １……レーザ、２……金属薄膜、４……基台、
７……４分割光電変換素子、１１……測定用光電
変換素子。
Claims (1)
- フオトレジストを塗布する為の金属薄膜を設け
たガラス基板の上記金属薄膜の膜厚ムラ測定器で
あつて、上記金属薄膜面にレーザ光を照射する手
段と、その反射光の光量を測定する光電変換素子
と、該光電変換素子への上記反射光の照射位置を
検出する位置検出手段とを有し、上記照射位置を
一定にするよう上記位置検出手段の出力に応じて
上記光電変換素子の位置を制御することを特徴と
する金属薄膜の膜厚ムラ測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8329788U JPH025006U (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8329788U JPH025006U (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH025006U true JPH025006U (ja) | 1990-01-12 |
Family
ID=31308021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8329788U Pending JPH025006U (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH025006U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5646404A (en) * | 1979-09-25 | 1981-04-27 | Nec Corp | Measuring device of optical film thickness |
| JPS60242308A (ja) * | 1984-02-02 | 1985-12-02 | ロ−レンス・エス・キヤニノ | 薄いサンプルの厚さの測定方法及びその装置並びに薄いサンプルの特性の測定方法及びその装置 |
-
1988
- 1988-06-23 JP JP8329788U patent/JPH025006U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5646404A (en) * | 1979-09-25 | 1981-04-27 | Nec Corp | Measuring device of optical film thickness |
| JPS60242308A (ja) * | 1984-02-02 | 1985-12-02 | ロ−レンス・エス・キヤニノ | 薄いサンプルの厚さの測定方法及びその装置並びに薄いサンプルの特性の測定方法及びその装置 |