JPH0252253U - - Google Patents

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JPH0252253U
JPH0252253U JP13246788U JP13246788U JPH0252253U JP H0252253 U JPH0252253 U JP H0252253U JP 13246788 U JP13246788 U JP 13246788U JP 13246788 U JP13246788 U JP 13246788U JP H0252253 U JPH0252253 U JP H0252253U
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JP
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ion source
microwave
source chamber
short sides
rectangular
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JP13246788U
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一例を示すイオン源の縦断正
面図。第２図は同じもののチヤンバのみの右側面
図。第３図はチヤンバ内での電気力線分布図。第
４図は従来のマイクロ波利用イオン源の縦断正面
図。第５図は同じもののチヤンバのみの右側面図
。第６図はチヤンバ内での電気力線分布図。第７
図は本考案の他の例を示すイオン源の略縦断正面
図。 １……イオン源チヤンバ、２……コイル、３…
…引出電極、４……誘電体、５……導波管、６…
…マイクロ波導入口、７……モード変換器、８…
…分波器、９……偏波器、１０……マイクロ波発
生器、１１……マイクロ波導入口、１２……誘電
体、１３……導波管、１４……加速電極、１５…
…減速電極、１６……導波管、１７……分岐導波
管。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空に引くことができ導入されたガスをイオン
    化する円筒状空間を形成するイオン源チヤンバ１
    と、イオン源チヤンバ１にマイクロ波を供給する
    ひとつ或はふたつのマイクロ波発生器１０と、イ
    オン源チヤンバ１の周りに設けられ電子のサイク
    ロトロン周波数がマイクロ波周波数にほぼ等しく
    なるような軸方向の磁場を生ずるコイル２と、イ
    オン源チヤンバ１に設けられた長短辺の方向が異
    なる２つの矩形のマイクロ波導入口６，１１と、
    マイクロ波導入口６，１１と長短辺の方向が同一
    で誘電体４，１２を介してマイクロ波導入口６，
    １１に連結されるふたつの矩形導波管５，１３と
    よりなり、それぞれの矩形導波管５，１３へ電界
    方向の異なるモードのマイクロ波をマイクロ波発
    生器１０から導入するようにした事を特徴とする
    イオン源。
JP13246788U 1988-10-11 1988-10-11 Pending JPH0252253U (ja)

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JPH0252253U true JPH0252253U (ja) 1990-04-16

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