JPH02117652U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02117652U JPH02117652U JP14885788U JP14885788U JPH02117652U JP H02117652 U JPH02117652 U JP H02117652U JP 14885788 U JP14885788 U JP 14885788U JP 14885788 U JP14885788 U JP 14885788U JP H02117652 U JPH02117652 U JP H02117652U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- microwaves
- ion
- microwave
- source chambers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N endosulfan Chemical compound C12COS(=O)OCC2C2(Cl)C(Cl)=C(Cl)C1(Cl)C2(Cl)Cl RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案のイオン源の概略構成図。第２
図は従来例に係るイオン源の概略構成図。第３図
は円筒空洞共振器のＴＥ１１モードの電気力線図
。第４図は円筒空洞共振器のＴＥ２１モードの電
気力線図。 １，１′……イオン源チヤンバ、２，２′……
誘電体、３……導波管、４……マイクロ波発振器
、５，５′……コイル、６……引出電極、７……
磁力線、８……分岐器、９，９′……位相器、１
０，１０′……モード変換器、１１，１１′……
マイクロ波反射板、１２……プラズマチヤンバ、
１３，１３′……ガス導入系。
図は従来例に係るイオン源の概略構成図。第３図
は円筒空洞共振器のＴＥ１１モードの電気力線図
。第４図は円筒空洞共振器のＴＥ２１モードの電
気力線図。 １，１′……イオン源チヤンバ、２，２′……
誘電体、３……導波管、４……マイクロ波発振器
、５，５′……コイル、６……引出電極、７……
磁力線、８……分岐器、９，９′……位相器、１
０，１０′……モード変換器、１１，１１′……
マイクロ波反射板、１２……プラズマチヤンバ、
１３，１３′……ガス導入系。
補正 平２．４．２０
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第１４頁第１２行目と１３行目の間に、
「第５図は第３図に示す空洞共振器モードと第４
図に示す空洞共振器モードを４５゜傾けたものを
重ね合わせたものの電気力線図。」を挿入する。
「第５図は第３図に示す空洞共振器モードと第４
図に示す空洞共振器モードを４５゜傾けたものを
重ね合わせたものの電気力線図。」を挿入する。
Claims (1)
- 真空に引くことができガスを導入してこれをプ
ラズマにする空間を与える円筒形のイオン源チヤ
ンバ１，１′を、イオン源チヤンバ１，１′の円
筒外周に設けられた軸方向に磁場を生ずるコイル
５，５′と、イオン源チヤンバの入口側にマイク
ロ波を導入するために設けられた誘電体２，２′
と、イオン源チヤンバ１，１′の出口側に設けら
れたマイクロ波反射板１１，１１′とを含むふた
つのイオン源Ａ，Ｂと、イオン源Ａ，Ｂの出口に
続いて共通に設けられるプラズマチヤンバ１２と
、プラズマチヤンバ１２の出口側に設けられる引
出電極６と、イオン源Ａ，Ｂへマイクロ波を供給
するためのひとつ或はふたつのマイクロ波発振器
４と、マイクロ波をイオン源Ａ，Ｂへ伝搬するた
めの導波管３と、導波管３の途中に設けられた位
相器９，９′と、モード変換器１０，１０′とよ
りなり、イオン源チヤンバＡ，Ｂには異なるモー
ドのマイクロ波が、異なる主軸方向に存在するよ
うにした事を特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14885788U JPH02117652U (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14885788U JPH02117652U (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02117652U true JPH02117652U (ja) | 1990-09-20 |
Family
ID=31420555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14885788U Pending JPH02117652U (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02117652U (ja) |
-
1988
- 1988-11-15 JP JP14885788U patent/JPH02117652U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3137787B2 (ja) | 回転場を有するマイクロ波ランプ | |
| JPH06188094A (ja) | 同軸形のマイクロ波プラズマ発生器 | |
| JPH02117652U (ja) | ||
| US5065075A (en) | Launcher suitable for exciting surface waves in a discharge tube | |
| JPS63119198A (ja) | プラズマ発生装置 | |
| JPH02140705U (ja) | ||
| JPH01127236U (ja) | ||
| JPH0252253U (ja) | ||
| JPS5951762B2 (ja) | 共振空洞形帯域通過ろ波器 | |
| JPS6029243B2 (ja) | 導波管形サ−キユレ−タ | |
| JPH0729565Y2 (ja) | 高周波増幅器用電磁結合器 | |
| JPS6226960Y2 (ja) | ||
| JP2639292B2 (ja) | Ｅｃｒプラズマ処理装置 | |
| JPH01141759U (ja) | ||
| JPH0443959Y2 (ja) | ||
| JPS63171954U (ja) | ||
| JPH0284249U (ja) | ||
| JPS622244U (ja) | ||
| JPH03141706A (ja) | スロットアレイアンテナ | |
| JPH0326099U (ja) | ||
| JPS6437104U (ja) | ||
| JPS61116422U (ja) | ||
| JPH01139344U (ja) | ||
| JPH0262650U (ja) | ||
| JPS63146951U (ja) |