JPH025818B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は水晶振動子の真空蒸着装置、特に、複
数個の水晶片に同時に励振電極を設け、次いで、
１つ１つの水晶片に順次周波数調整を可能とした
真空蒸着装置に関する。

一般に水晶振動子１は第１図に示すように所定
の角度に切り出した水晶片２の両面にクロム、
金、銀、アルミニユーム等の金属物質を真空蒸着
により２層、３層等の複数層に蒸着して、励振電
極３，３（一方は図示せず）および端子４，４を
形成し、この水晶片２を基台５に植設した導出端
子６，６と接続された保持部材７，７に挾持させ
た後、保持部材７，７と端子４，４とを導電性の
接着剤により接着し、水晶片２の振動エネルギー
を端子４，４、保持部材７，７、導出端子６，６
を介して外部へ取出すものである。

ところで、前記した水晶振動子１の振動周波数
は水晶片２の厚み、大きさあるいは励振電極３，
３、端子４，４の質、量により決定するものであ
るが、水晶片２の厚みを正確に切り出すことが困
難なことから単に所定形状の水晶片２に、所定の
物質（クロム、金、銀、アルミニユーム）を所定
量、真空蒸着装置内で蒸着しただけでは予め定め
られた正確な周波数f₀にて振動する水晶振動子を
得ることは困難なことであり、そのため、従来の
水晶振動子１は、一旦水晶片２に真空蒸着装置内
で励振電極３，３を２層ないし３層等に蒸着した
後、真空蒸着装置より取出し、前記したように保
持部材７，７に挾持させ、該水晶振動子１を第２
図あるいは第３図に示すように保管の都合上トレ
ー８，８′にその複数個（10〜15個）を収納し、
その後、以下に説明する方法により、水晶片２の
励振電極３，３上に更に微少量の物質を数回に分
けて蒸着し続け、蒸着により変化していく周波数
f₁があらかじめ定められた周波数f₀と等しくなる
点を求め、その蒸着を停止し、基準周波数f₀を備
えた水晶振動子１を得るものである。

なお、第３図示では水晶振動子１が個々の収納
台９を介してトレー８′に収納されている。

そして、周波数を調整する場合、トレー８，
８′上の水晶振動子１を１つづつ周波数を調整す
るための真空蒸着室（図示せず）内のターンテー
ブル１０，１０′に設けた端子挿入部１１，１１
あるいは収納台９の収納孔１１′に入れ替え、そ
の後、ターンテーブル１０，１０′を間欠的に回
転し、蒸発源１２，１２′よりクロム、金、銀、
アルミニユーム等の物質を微少量、対向する水晶
振動子１の励振電極３上に蒸着し、その水晶振動
子１の周波数f₁が基準周波数f₀になるまで、数回
に分けて蒸着を行うものである。数回に分けて蒸
着を行うのは１度に蒸着を行うと、その途中で基
準周波数f₀を越えてしまうのを防止するためで、
一般には２回目の蒸着は前記第１回目よりさらに
微少量で、また、３回目はさらに微少量の蒸着を
行うもので、この３回目の蒸着中に基準周波数f₀
に到達するものが多いものである。

また、基準周波数f₀に到達したか否かは調整し
ようとする水晶振動子１の導出端子６，６を発振
回路（図示せず）に接続して発振させ、該発振回
路からの信号と別に基準周波数f₀を発振する発振
器からの信号とのゼロビートを検出させればよい
ものである。

そして、調整後、真空蒸着室の真空状態を解除
し、水晶振動子１を再びトレー８，８′に収納し、
再び、他のトレー８，８′から他の水晶動子１を
取出し、同様の作業を行うものである。

ところで、前記した従来の水晶振動子は、真空
蒸着室内に先ず、水晶片２に励振電極３，３を蒸
着するため収納および取出し、また、周波数調整
のため再び真空蒸着室（同一もしくは他の真空蒸
着室）内に収納し、取出す必要があるため、その
工程が複雑で、また、トレー８，８′に収納され
た水晶振動子を１つづつ取出し、真空蒸着室内の
ターンテーブル１０，１０′に蒸着し、調整後、
再びトレー８，８′に収納するものであるため、
作業能率が悪く、水晶振動子１の出入が多く、そ
の途中で水晶片２が破損してしまう等の欠点があ
つた。

本発明は、上記の欠点を解消するためになされ
たもので、複数の水晶片に複数の金属物質を順次
に真空蒸着する際の作業能率の向上および水晶片
の破損を防止できる水晶振動子の真空蒸着装置を
提供することを目的としている。

以下、本発明の１実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。第７図は水晶片２を基台５に取付け
た状態を示す正面図である。図から明らかなよう
に、この状態では水晶片２の両面には励振電極
３，３および端子４，４は設けてなく、単に保持
部材７，７に仮止めされた状態である。同図にお
いて２０はマスクで、該マスクは基台５に嵌合さ
れており、また、その正面および裏面には蒸着を
許容するための孔２１，２１が設けてある。な
お、６，６は導出端子である。なお、この状態を
試料と称す。第８図は真空蒸着室２２の部分断側
面図である。２３は真空蒸着室２２の定盤で、該
定盤２３上には複数本の支持柱２４……が設けて
ある。支持柱２４……には後述する上板および下
板の位置決め用の段部２４ａ…，２４ｂ…が設け
てある。２６は上板で、前記支持柱２４……の段
部２４ｂ……に位置し、ナツト２５……により支
持柱２４に取付けられている。２７は上板２６の
中心下部に保持されたモータ、２８はモータ２７
の回転軸、２９は回転軸２８に取付けられた伝達
軸で、該伝達軸２９は太径部２９ａと細径部２９
ｂとを備え、細径部２９ｂの先端はナツト３０と
噛合できるようにネジ部が設けてある。３１は前
記伝達軸２９の細径部２９ｂに取付けられた第１
の蒸着物遮蔽板で、該蒸着物遮蔽板３１は特に第
９図示の平面図から明らかなようにその中心部に
取付孔３１ａが設けてあり、該取付孔３１ａから
等距離に且つ、等間隔に蒸着を許容するための孔
３２ａ〜３２ｆが複数個（実施例では６個）が設
けてあり、さらに、孔３２ａと孔３２ｆとの中間
には周波数調整孔３３が設けてある。なお、調整
孔３３も取付孔３１ａから等距離の位置に設けて
ある。３４は蒸着物遮蔽板３１に設けた係止片で
ある。３５は第２の蒸着物遮蔽板で、該蒸着物遮
蔽板３５は特に第１０図示の平面図から明らかな
ように、伝達軸２９の細径部２９ｂに強嵌合によ
り取付けられるべき取付孔３５ａが設けてあり、
前記第１の蒸着物遮蔽板３１に設けた孔３２ａ〜
３２ｆに対応する位置に孔３６ａ〜３６ｆが設け
てあるも、調整孔３３と対応する孔は設けてな
い。そして、前記第１の蒸着物遮蔽板３１は伝達
軸２９に対し回転可能に、また、第２の蒸着物遮
蔽板３５は伝達軸２９に対し、回転不能に取付け
られるものであるが、その取付けについて、第８
図で説明すると、先ず、細径部２９ｂにコイルバ
ネ３７を挿入し、次に、第１の蒸着物遮蔽板３１
を挿入する。この時、取付孔３１ａは細径部２９
ｂより大径としてあるため遊嵌された状態となつ
ている。次に、フエルト等より成る摩擦板３８を
挿入し、その後、第２の蒸着物遮蔽板３５を細径
部２９ｂに強嵌合し、ナツト３０を噛合すれば、
第１の蒸着物遮蔽板３１はコイルバネ３７の弾力
により摩擦板３８を介して適度に第２の蒸着物遮
蔽板３５に弾圧されているため、第１の蒸着物遮
蔽板３１は一定以上のトルクが加わらない限り空
転することなく伝達軸２９の回転に伴なつて回転
することができるものである。３９は上板２６の
下部に設けた試料（水晶片２等）取付部材で、該
試料取付部材３９は特に第１１図示の平面図より
明らかなように円筒形を成し、前記第２の蒸着物
遮蔽板３５に設けた孔３６ａ〜３６ｆと同等数の
取付部４０ａ〜４０ｆか等間隔に且つ先端部が下
方に傾斜して設けてある。そして、取付部４０ａ
〜４０ｆに前記第７図に示した試料を取付けるも
のである。その詳細を第１２図を用いて説明する
と、同図に示すように取付部４０ａには導出端子
挿入孔４１ａが設けてあり、該挿入孔４１ａに試
料の導出端子６，６を挿入すると、導出端子６，
６に取付部４０ａに設けた孔４２ａより挿入孔４
１ａ内に進出する検知片４３が導出端子６，６と
接触するものである。４４は下板で、該下板４４
は支持柱２４の段部２４ａ……上に位置決め固定
されている。４５は定盤２３上に設けたモータ
で、モータ４５の回転軸４５ａは前記下板４４の
孔４４ａより上方へ突出し、その先端には回転式
テーブル４６が取付けてある。また、回転式テー
ブル４６の回転中心は前記伝達軸２９の回転中心
より偏心した位置になるようにしてある。そし
て、回転式テーブル４６上には第８図、第１３図
に示すように蒸発源となるべき複数個の受皿４
７，４８（実施例では２種類）が積置してあり、
回転式テーブル４６を回転させ、受皿４７あるい
は４８を所定位置に定位した時、その定位位置が
第８図に示すように伝達軸２９の真下に定位する
ようにしてある。従つて、第８図に１点鎖線に示
したように各試料（水晶片２）に対する入射角α
は伝達軸より等角度、すなわち、蒸着すべき金属
を収納した受皿は各試料に対して等位置に定位す
ることになるものである。受皿４７，４８はタン
グステン、モリブデン等より成り、一方の受皿４
７は金属物質としてクロム４９が、また、他方の
受皿４８には金５０が収納してある。従つて、本
実施例における水晶片２の表面にはクロム４９と
金５０の２層蒸着となるようにセツトされてい
る。５１は電極で、該電極５１は上下動可能に設
けられ、回転式テーブル４６が回転し、所定位置
に定位した時、上昇し、所定の受皿を通電させ、
受皿内の金属例えばクロム４９を蒸発させるもの
である。５２は電極５１を上昇あるいは下降する
ためのソレノイドプランジヤーで、該ソレノイド
プランジヤー５２に設けたプランジヤー５３の往
復運動により電極５１を上下動させる。すなわ
ち、プランジヤー５３の先端にはカム面５３ａが
設けてあり、該カム面５３ａが電極５１に設けた
ピン５１ａを押圧するためである。５４は第１の
蒸着物遮蔽板３１に設けた係止片３４と係合して
第１の蒸着物遮蔽板３１をコイルバネ３７の弾力
に抗して回転させるための可動部材で、該可動部
材５４は下板４４の下面に設けたソレノイドプラ
ンジヤー５５により可動するものである。なお、
５６……は検知片４３……と接続したリード線で
ある。５７は取外しが可能なカバーである。

次に、本発明の動作について説明すると、先
ず、カバー５７を取外し、試料取付部材３９の取
付部４０ａ〜４０ｆに試料を取付けると共に、回
転式テーブル４６上の受皿４７，４８に蒸着用金
属であるクロム４９と金５０とをそれぞれの受皿
４７，４８に収納すると共に可動部材５４を可動
させて第１の蒸着物遮蔽板３１に設けた孔３２ａ
〜３２ｆが第１４図に示すように第２の蒸着物遮
蔽板３５に設けた孔３６ａ〜３６ｆと対応するよ
うに操作すると共にモータ２７を若干回転させ、
各孔３２ａ〜３２ｆが取付部４０ａ〜４０ｆに取
付けられた試料と対応する位置に定位させる。ま
た、回転式テーブル４６も回転させてクロム４９
を収納した受皿４７が伝達軸２９の真下に定位す
るようにセツトし、その後、カバー５７を被せ
て、真空蒸着室内部を真空状態にする。そして、
ソレノイドプランジヤー５２を操作して、電極５
１を上昇させ、受皿４７を通電すると、クロム４
９が蒸発し、孔３２ａ〜３２ｆ（３６ａ〜３６ｆ）
および各試料に設けたマスク２０の孔２１より各
試料（各水晶片２）が同時に金属蒸着（クロム蒸
着）される。所定量のクロム蒸着が終了すると、
再びソレノイドプランジヤー５２を操作して、電
極５１を降下させる。そして、モータ４５を回転
させ、回転式テーブル４６を半回転し、今度は金
５０を収納した受皿４８が伝達軸２９に真下に定
位するようにセツトし、再び、電極５１を上昇さ
せて、受皿４８を通電すると、受皿４８内の金５
０が蒸発し、各試料の前記クロム蒸着上にさらに
金が蒸着する。そして、全蒸着が終了した後、特
に図示してないが取付部４０ａ〜４０ｆを半回転
させるか、一旦、真空状態を解除して、カバー５
７を取外し、試料を半回転して取付け、再びカバ
ー５７被せ、真空状態と成し、また、回転式テー
ブル４６を再び半回転し、クロム４９を収納した
受皿４７を再び伝達軸２９の真下に定位するよう
にセツトし、前記同様先ずクロム蒸着を、次い
で、回転式テーブル４６を半回転して金蒸着を行
うことにより、収納された各試料は同時に励振電
極３，３となるべく基礎蒸着が終了する。蒸着す
べき金属を収納した受皿４７，４８を常に伝達軸
２９の真下に定位するようにセツトしたのは蒸着
源（受皿）と各試料とが等位置になるようにした
もので、これにより複数層に金属を蒸着する際の
蒸着ムラが防止できるものである。

次に、試料（水晶片２）の両面に基礎蒸着後の
周波数調整について説明する。先ず、基礎蒸着が
終了したら、ソレノイドプランジヤー５５により
可動部材５４を可動させ、第１の蒸着物遮蔽板３
１をコイルバネ３７の弾力に抗して若干回転さ
せ、第１の蒸着物遮蔽板３１に設けた調整孔３３
が第１５図に示すように第２の蒸着物遮蔽板３５
に設けた孔の１つ例えば３６ｆと対応させる。従
つて、第２の蒸着物遮蔽板３５に設けた他の孔３
６ａ〜３６ｅは第１の蒸着物遮蔽板３１により閉
鎖状態となり、また、第１の蒸着物遮蔽板３１に
設けた孔３２ａ〜３２ｆは第２の蒸着物遮蔽板３
５により閉鎖状態となる。従つて、両蒸着物遮蔽
板３１，３５には調整孔３３，３６ｆの部分のみ
が開孔した状態となり、この調整孔３３を順次１
つ１つの試料に対応させ周波数調整を行うもので
ある。

すなわち、調整孔３３を先ず取付部４０ｆに取
付けられた試料と対応させ、回転式テーブル４６
の金５０を収納した受皿を通電させ、金５０を微
少量蒸発させると、金は調整孔３３、マスク２０
の孔２１を通過して、前記基礎メツキ（励振電
極）上に蒸着する。この時、水晶片２の励振電極
は保持部材７，７、導出端子６，６より検知片４
３を介してリード線５６に導出され、該リード線
５６を発振回路（図示せず）に接続して発振さ
せ、該発振回路からの信号と別に基準周波数f₀を
発振する発振器からの信号とにより、従来例と同
様、数回の微調整を行い、ゼロビートを検出させ
１つの試料の調整を終了させる。１つの試料の調
整が終了したら、モータ２７を所定量回転し、２
つの蒸着物遮蔽板３１，３５を同時に回転させ、
調整孔３３が次の試料と対応するようにし、前記
同様の調整を行う。そして、モータ２７を略１回
転させることにより全部の試料の周波数調整が終
了する。終了後、真空状態を解除し、カバー５７
を取外し、各試料を取外せば、水晶片２には励振
電極３，３と周波数調整が終了したものが誕生す
ることになる。

なお、前記両蒸着物遮蔽板３１，３５には６つ
の孔３２ａ〜３２ｆ，３６ａ〜３６ｆを、また、
試料取付部材３９には６つの取付部４０ａ〜４０
ｆを設けたが、必ずしも６つに限定されることな
く、個数については設計上の任意のことである。

また、回転式テーブル４６上には２つの受皿４
７，４８を積置したが必ずしも２つに限定される
ことなく３、４〜10種類と積置することにより２
〜10層あるいはそれ以上に蒸着することができる
ものである。

さらに、調整孔３３は第１の蒸着物遮蔽板３１
に設けたが、反対に第２の蒸着物遮蔽板３５に設
けてもよいものである。

以上述べたように本発明によれば、蒸発源と各
水晶片との間を等距離にして、複数種類の金属に
よる蒸発源を順次移動可能に配置できるから、同
時に多数の水晶片に均等に励振電極用の基礎蒸着
を能率良く行なうことができ、しかも蒸着物の種
類が多い場合でも蒸着膜にズレを生じることがな
い水晶振動子の真空蒸着装置が提供される。

また、２枚の遮蔽板を組合せて各水晶片への金
属物質の蒸着を適宜に遮蔽することにより、水晶
振動子の電極形成と周波数調整とが同一の真空蒸
着室の中で、真空破壊することなしに、連続して
実行されるから、水晶片の破損を防止して、かつ
作業能率の高い蒸着を可能にする。

【図面の簡単な説明】

第１図は水晶振動子１の正面図、第２図〜第６
図は周波数調整の従来例を示し、第２図は第１の
トレー８を示し、イ図は正面図、ロ図は側面図、
第３図は第２のトレー８′を示し、イ図は正面図、
ロ図は側面図、第４図は調整装置の正面図、第５
図は同平面図、第６図は他形状の調整装置の平面
図、第７図〜第１５図は本発明の実施例を示し、
第７図は試料の正面図、第８図は真空蒸着室２２
の部分断側面図、第９図は第１の蒸着物遮蔽板３
１の平面図、第１０図は第２の蒸着物遮蔽板３５
の平面図、第１１図は試料取付部材３９の平面
図、第１２図は取付部４０ａに試料を取付けた状
態を示す部分断側面図、第１３図は回転式テーブ
ル４６の平面図、第１４図は基礎メツキ状態を示
す蒸着物遮蔽板３１，３５の平面図、第１５図は
周波数調整状態を示す蒸着物遮蔽板３１，３５の
平面図である。 １……水晶振動子、２……水晶片、３，３……
励振電極、２２……真空蒸着室、３１……蒸着物
遮蔽板、３２ａ〜３２ｆ……孔、３３……調整
孔、３５……蒸着物遮蔽板、３６ａ〜３６ｆ……
孔、３９……試料取付部材、４０ａ〜４０ｆ……
取付部、４６……回転式テーブル、４７，４８…
…受皿（蒸発源）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 真空蒸着室と、この真空蒸着室内の所定位置
   に選択的に移動可能に設けられそれぞれ金属物質
   を貯留した複数の蒸発源と、上記所定位置に定位
   した蒸発源に接触して通電加熱し上記金属物質を
   蒸発させる電極と、上記所定位置に定位した蒸発
   源から等距離の円周上に等間隔に配設した複数の
   水晶片と、各水晶片と上記蒸発源との間に配設さ
   れ各水晶片に対応する所定位置にそれぞれ開口部
   を有する固定遮蔽板と、この遮蔽板に対して回転
   可能に設けられ各開口部を同時に開閉するととも
   に特定の開口部のみを開口する調整孔を有する回
   転遮蔽板とを具備してなることを特徴とする水晶
   振動子の真空蒸着装置。