JPH0259A - パターン投影装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は透過形液晶表示装置により対象物上に画像パタ
ーンを投影するパターン投影装置に関する。

〔従来の技術〕

プリント基板、高密度モジュール用配線パターン、フォ
トマスク等の各種パターンの形成の従来例を第１図に示
す。図に於いて、レーザ発振器１から発生したレーザ光
又は凹レンズ３によって拡大され、コリメートレンズ４
によって平行光にされて原画５に照射される。原画５を
通過したレーザ光は投影レンズ６を経て試料７の表面に
集光照射される。この際、投影レンズ６は原画５の像を
試料７の表面に縮小投影されるように配置されており、
試料面には、原画５の縮少像が瞬時にして焼付けられる
。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上の従来例では、試料面に加工したいと思う像の拡大
像を一旦原画に作り、これを光路中にセットしてやる必
要があり、像が変ると、そのたびに原画を交換してやら
なければならない。

本発明の目的は、ビデオ入力部に入力されたビデオ信号
に基づいて任意の画像を対象物上投影できるようにした
パターン投影装置を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の要旨は、光源と、該光源からの光が照射される
透過形液晶表示装置と、ビデオ信号を入力するビデオ入
力部と、該ビデオ入力部からビデオ信号を読出して上記
透過形液晶表示装置を駆動する制御部と、該制御部によ
って駆動される透過形液晶表示装置から得られる画像対
応の透過光を対象物上に投影する投影レンズとを備えた
ことを特徴とするパターン投影装置である。。

〔作用〕

上記構成によりビデオ信号入力部に入力されたビデオ信
号に対応した画像を対象物上に投影することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいてを詳述する。即
ち第２図は本発明の実施例を示す図である。図に於いて
新しく設けたものは、透過形液晶表示装置１０．信号制
御部１１、撮像管１２、撮像レンズ１４、原画１３であ
る。透過形液晶表示装置１０は。

信号制御部１１によって制御を受ける。この際の制御は
、透過形液晶表示装置に対してどの画像パターンを表示
させるかということ、及びその表示時期の設定である。

信号制御部１１によって制御をうけた表示装置１０に対
してコリメータレンズ４を介して送出されてきた平行レ
ーザ光から入射する。

この表示装置１０に入射したレーザ光は上記画像パター
ンに対応する位置を介して該表示装置！１０の投影レン
ズ６側に出力する。この出力したレーザ光は投影レンズ
６を介して試料７に照射し、試料面上に画像パターンを
形成する。

透過形液晶表示装置ＩＯは、従来からよく知られている
ように、レーザ光の入射面に対して、偏向板−ガラス−
透明電極−液晶本体部一透明電極一ガラスとを一体化さ
せて形成させた構造となっている。上記２つの透明電極
は相互にマトリックスになるように配置されている。こ
のマトリックス構成の電極によって表示位置の設定が行
われる。

マトリックス電極の選択制御が信号制御部１１によって
なされる。

信号制御部１１への表示画像パターンは撮像管１２で撮
像された原画１３である。信号制御部１１は、撮像管１
２から得られる映像信号を一時的にメモリに記憶させ、
表示モード時に該メモリから読出し表示装置１０に表示
させている。信号制御１１の具体的構成図を第２図に示
す。先ず、撮像管１２からの映像信号を信号変換部１１
０に入力し、メモリ１１２に記憶可能なデータ、例えば
２値信号に変換する。

この変換された映像信号を書込み読出し回路１１１を介
してメモリ１１２に送り、アドレスに従ってメモリ１１
２に記憶させる。メモリ１１２は、１つの表示パターン
分の容量を持つものであっても、複数の表示パターン分
の容量を持つものであってもよい。表示に際しては、書
込み読出し回路１１１を読出しモードとしてメモリ１１
２を駆動し信号変換部１１３に必要なデータを読出す。

この信号変換部１１３は、メモリ１１２から読出された
２値信号を液晶表示装置ＩＯを駆動するに必要な信号、
即ちＸ、Ｙ信号に変換する。このＸ、Ｙ信号を表示装置
１０に送り、必要な表示を行う、信号変換部１１０　、
１１３、読出し書込み回路１１１は制御回路１１４の制
御をうける。この制御回路１１４での制御は、第１にモ
ード指定、第２にそのタイミング指定である。制御回路
１１４は、更に、レーザ発振器１の制御も行っている。

モータ用テレビ１５はついては省略している。

次に具体的数値事例に基づく説明を行う。レーザ光のパ
ワー密度は液晶を損傷しない程度に選ぶ。

例えば、１０’Ｗ／ａ１以下になるようにビーム径を約
３００１１ｎとし、レーザ出力は７ＭＷを用いた。透過
形液晶表示装置５を通過したレーザ光は約１／１００に
縮少投影するための投影レンズ１０に入り、液晶表示さ
れた平面像を試料７の表面に１／１００の寸法で焼付け
た。この時の試料面上の最大パワー密度は約１０”Ｗ／
ｃｄに達した。試料７は、ガラス基板上に約１００人の
金属膜を蒸着したものを使用し、レーザ光が照射すると
、金属膜が除去され、液晶パターンが１７１００の寸法
でそのまま瞬時に転写できた。

以上の実施例に於いて、表示パターンの種類を光路以外
で設定できるため極めて汎用性の高いパターン形成が可
能になった。更に、パターンの拡大、縮少もメモリのデ
ータそのものを拡大、縮少可能なため、汎用性が高まっ
た。

次に、他の実施例を説明する。上記実施例では、信号制
御部１１への入力情報を撮像管１７から与えたが、この
他に第４図、第５図の如きやり方もある。

第４図は、ビデオ信号記録部１６を設け、該ビデオ信号
記録部１６からの情報を原画情報として与えてなるもの
である。第５図は、ビデオ信号を無線方式によって伝達
してなるものであって、ビデオ信号送信器１８から無線
によりビデオ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更に
信号制御部１１に原画情報として入力せしめている。但
し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ずしも必要
としない、前者の実施例によれば、パターン情報をビデ
オ記録部にストックしておくことにより、必要なパター
ンを必要な時に形成することができる利点を持つ。

後者の実施例によれば、パターン形成を行う部所とその
パターン供給部所とが離れている場合の遠隔操作に好適
である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、ビデオ信号によっ
て得られる任意の画像に対応した画像を対象物上に投影
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す図、第２図は本発明の実施例を示
す図、第３図、第４図及び第５図は本発明の他の実施例
を示す図である。 １・・・レーザ発振器、７・・・試料、１０・・・透過
形液晶表示装置、１１・・・信号制御部、１２・・・撮
像管。 纂１図 為３図 第　２　図 集牛図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光源と、該光源からの光が照射される透過形液晶表
   示装置と、ビデオ信号を入力するビデオ入力部と、該ビ
   デオ入力部からビデオ信号を読出して上記透過形液晶表
   示装置を駆動する制御部と、該制御部によって駆動され
   る透過形液晶表示装置から得られる画像対応の透過光を
   対象物上に投影する投影レンズとを備えたことを特徴と
   するパターン投影装置。 ２、上記入力部にビデオ信号を記憶する記憶部を有する
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のパターン
   投影装置。 ３、上記入力部には、ビデオ信号を受信して上記記憶部
   に記憶させる受信部を備えたことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のパターン投影装置。