JPH06302488A - パターン形成装置 - Google Patents
パターン形成装置Info
- Publication number
- JPH06302488A JPH06302488A JP6084343A JP8434394A JPH06302488A JP H06302488 A JPH06302488 A JP H06302488A JP 6084343 A JP6084343 A JP 6084343A JP 8434394 A JP8434394 A JP 8434394A JP H06302488 A JPH06302488 A JP H06302488A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- display device
- crystal display
- original image
- transmission type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は、光路中の原画を交換すること
なく、即時新しい原画に入れかえて試料面上に照射でき
るようにしたパターン形成装置を提供することである。 【構成】本発明のパターン形成装置は、外部からの制御
信号により原画を駆動表示する透過形液晶表示装置と、
制御信号により上記透過形液晶表示装置にレ−ザ光２を
出射するレ−ザ発振器１０と、上記透過形液晶表示装置
１０に表示された原画を試料７上に投影して刻印する投
影レンズ６と、上記透過形液晶表示装置１０とレ−ザ発
振器１とに入力する制御信号のタイミングを制御する信
号制御手段１１とを備え、上パワ−密度が透過形液晶表
示装置１０に損傷をしない程度に選定してレ−ザ光２を
上記透過形液晶表示装置１０に照射後、レ−ザ光２を縮
小して刻印することにある。 【効果】本発明によれば、透過形液晶表示装置を損傷す
ることなく、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印
することができる効果を奏する。
なく、即時新しい原画に入れかえて試料面上に照射でき
るようにしたパターン形成装置を提供することである。 【構成】本発明のパターン形成装置は、外部からの制御
信号により原画を駆動表示する透過形液晶表示装置と、
制御信号により上記透過形液晶表示装置にレ−ザ光２を
出射するレ−ザ発振器１０と、上記透過形液晶表示装置
１０に表示された原画を試料７上に投影して刻印する投
影レンズ６と、上記透過形液晶表示装置１０とレ−ザ発
振器１とに入力する制御信号のタイミングを制御する信
号制御手段１１とを備え、上パワ−密度が透過形液晶表
示装置１０に損傷をしない程度に選定してレ−ザ光２を
上記透過形液晶表示装置１０に照射後、レ−ザ光２を縮
小して刻印することにある。 【効果】本発明によれば、透過形液晶表示装置を損傷す
ることなく、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印
することができる効果を奏する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はパターン形成装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】従来技術としては、特公昭５０−３５２
７５号公報が知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】本発明に係るプリント
基板、高密度モジュール用配線パターン、フォトマスク
等の各種パターンの形成の公知例でない従来例を図１に
示す。図１に於いて、レーザ発振器１から発生したレー
ザ光２は凹レンズ３によって拡大され、コリメートレン
ズ４によって平行光にされて原画５に照射される。原画
５を通過したレーザ光は投影レンズ６を経て試料７の表
面に集光照射される。この際、投影レンズ６は原画５の
像を試料７の表面に縮小投影されるように配置されてお
り、試料面には、原画５の縮小像が瞬時にして焼付けら
れる。 【０００４】以上の例では、試料面に加工したいと思う
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセットし
てやる必要があり、像が変ると、そのたびに原画を交換
してやらなければならない。 【０００５】本発明の目的は、光路中の原画を交換する
ことなく、即時新しい原画に入れかえて試料面上に照射
できるようにしたパターン形成装置を提供することであ
る。 【０００６】 【発明が解決しようとする手段】本発明の要旨は。第１
に透過形液晶表示装置を光路中に設けた点にある。第２
にこの透過液晶表示装置への表示画像(パターン)の制御
を外部から自動的に行うようにした点にある。 【０００７】 【作用】レーザ光により透過形液晶表示装置が破損しな
く、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印すること
ができる効果を奏する。 【０００８】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳述
する。 【０００９】即ち、図２は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶表示装
置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮像レンズ１
４、原画１３である。透過形液晶表示装置１０は、信号
制御部１１によって制御をうける。この際の制御は、透
過形液晶表示装置に対してどの画像パターンを表示させ
るかということ、及びその表示時期の設定である。信号
制御部１１によって制御をうけた表示装置10に対してコ
リメータレンズ４を介して送出されてきた平行レーザ光
を入射する。 【００１０】この表示装置１０に入射したレーザ光は上
記画像パターンに対応する位置を介して該表示装置１０
の投影レンズ６側に出力する。この出力したレーザ光は
投影レンズ６を介して試料７に照射し、試料面上に画像
パターンを形成する。 【００１１】透過形液晶表示装置１０は、レーザ光の入
射面に対してガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラス−偏光板を一体化させて形成させた構造となっ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリックスにな
るように配置されている。このマトリックス構成の電極
によって表示位置の設定が行われる。マトリックス電極
の選択制御が信号制御部１１によってなされる。 【００１２】信号制御部１１への表示画像パターンは撮
像管１２で撮像された原画１３である。信号制御部１１
は、撮像管12から得られる映像信号を一時的にメモリに
記憶させ、表示モードに該メモリから読出し表示装置10
に表示させている。信号制御１１の具体的構成図を図３
に示す。 【００１３】先ず、撮像管１２からの映像信号を信号変
換部１１０に入力し、メモリ１１２に記憶可能なデー
タ、例えば２値信号に変換する。この変換された映像信
号を書込み読出し回路１１１を介してメモリ１１２に送
り、アドレスに従ってメモリ１１２に記憶させる。メモ
リ１１２は、１つの表示パターン分の容量を持つもので
あっても、複数の表示パターン分の容量を持つものであ
ってもよい。表示に際しては、書込み読出し回路１１１
を読出しモードとしてメモリ１１２を駆動し信号変換部
１１３に必要なデータを読出す。 【００１４】この信号変換部１１３は、メモリ１１２か
ら読出された２値信号を液晶表示装置１０を駆動するに
必要な信号、即ちＸ，Ｙ信号に変換する。このＸ，Ｙ信
号を表示装置１０に送り、必要な表示を行う。信号変換
部１１０、１１３、読出し書込み回路１１１は制御回路
１１４の制御をうける。 【００１５】この制御回路１１４での制御は、第１にモ
ード指定、第２にそのタイミング指定である。制御回路
１１４は、更に、レーザ発振器１の制御も行っている。
モニタ用テレビ１５については省略している。 【００１６】次に具体的数値事例に基づく説明を行う。
レーザ光のバワー密度は液晶を損傷しない程度に選ぶ。
例えば１０4Ｗ／cm2以下になるようにビーム径を約３０
０mmとし、レーザ出力は７ＭＷを用いた。透過形液晶表
示装置５を通過したレーザ光は約１／１００に縮少投影
するための投影レンズ１０に入り、液晶表示された平面
像を試料７の表面に１／１００の寸法で焼付けた。この
時の試料面上に最大パワー密度は約１０8Ｗ／cm2に達し
た。試料７は、ガラス基板上に数１００Åの金属膜を蒸
着したものを使用し、レーザ光が照射すると、金属膜が
除去され、液晶パターンが１／１００の寸法でそのまま
瞬時に転写できた。 【００１７】以上の実施例に於いて、表示パターンの種
類を光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパタ
ーン形成が可能になった。更に、パターンの拡大、縮少
もメモリのデータそのものを拡大、縮少可能なため、汎
用性が高まった。 【００１８】次に、他の実施例を説明する。上記実施例
では、信号制御部１１への入力情報を撮像管１７から与
えたが、この他に図４、図５の如きやり方もある。 【００１９】図４は、ビデオ信号記録部１６を設け、該
ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情報として与え
てなるものである。 【００２０】図５は、ビデオ信号を無線方式によって伝
達してなるものであって、ビデオ信号送信器１８から無
線によりビデオ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更
に信号制御部１１に原画情報として入力せしめている。
但し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ずしも必
要としない。前者の実施例によれば、パターン情報をビ
デオ記録部にストックしておくことにより、必要なパタ
ーンを必要な時に形成することができる利点を持つ。後
者の実施例によれば、パターン形成を行う部所とそのパ
ターン供給部所とが離れている場合の遠隔操作に好適で
ある。 【００２１】 【発明の効果】以上説明したいうに本発明によれば、電
気信号として原画を扱うことができ、原画の入れ換えを
容易にし、しかも透過形液晶表示装置５の表示とレ−ザ
発振器１のレ−ザ発振とのタイミングが制御できるの
で、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印すること
ができる効果を奏する。 【００２２】また本発明によれば、透過形液晶表示装置
を損傷することなく、鮮明で正確なパターンを試料上に
転写刻印することができる効果を奏する。
る。 【０００２】 【従来の技術】従来技術としては、特公昭５０−３５２
７５号公報が知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】本発明に係るプリント
基板、高密度モジュール用配線パターン、フォトマスク
等の各種パターンの形成の公知例でない従来例を図１に
示す。図１に於いて、レーザ発振器１から発生したレー
ザ光２は凹レンズ３によって拡大され、コリメートレン
ズ４によって平行光にされて原画５に照射される。原画
５を通過したレーザ光は投影レンズ６を経て試料７の表
面に集光照射される。この際、投影レンズ６は原画５の
像を試料７の表面に縮小投影されるように配置されてお
り、試料面には、原画５の縮小像が瞬時にして焼付けら
れる。 【０００４】以上の例では、試料面に加工したいと思う
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセットし
てやる必要があり、像が変ると、そのたびに原画を交換
してやらなければならない。 【０００５】本発明の目的は、光路中の原画を交換する
ことなく、即時新しい原画に入れかえて試料面上に照射
できるようにしたパターン形成装置を提供することであ
る。 【０００６】 【発明が解決しようとする手段】本発明の要旨は。第１
に透過形液晶表示装置を光路中に設けた点にある。第２
にこの透過液晶表示装置への表示画像(パターン)の制御
を外部から自動的に行うようにした点にある。 【０００７】 【作用】レーザ光により透過形液晶表示装置が破損しな
く、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印すること
ができる効果を奏する。 【０００８】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳述
する。 【０００９】即ち、図２は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶表示装
置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮像レンズ１
４、原画１３である。透過形液晶表示装置１０は、信号
制御部１１によって制御をうける。この際の制御は、透
過形液晶表示装置に対してどの画像パターンを表示させ
るかということ、及びその表示時期の設定である。信号
制御部１１によって制御をうけた表示装置10に対してコ
リメータレンズ４を介して送出されてきた平行レーザ光
を入射する。 【００１０】この表示装置１０に入射したレーザ光は上
記画像パターンに対応する位置を介して該表示装置１０
の投影レンズ６側に出力する。この出力したレーザ光は
投影レンズ６を介して試料７に照射し、試料面上に画像
パターンを形成する。 【００１１】透過形液晶表示装置１０は、レーザ光の入
射面に対してガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラス−偏光板を一体化させて形成させた構造となっ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリックスにな
るように配置されている。このマトリックス構成の電極
によって表示位置の設定が行われる。マトリックス電極
の選択制御が信号制御部１１によってなされる。 【００１２】信号制御部１１への表示画像パターンは撮
像管１２で撮像された原画１３である。信号制御部１１
は、撮像管12から得られる映像信号を一時的にメモリに
記憶させ、表示モードに該メモリから読出し表示装置10
に表示させている。信号制御１１の具体的構成図を図３
に示す。 【００１３】先ず、撮像管１２からの映像信号を信号変
換部１１０に入力し、メモリ１１２に記憶可能なデー
タ、例えば２値信号に変換する。この変換された映像信
号を書込み読出し回路１１１を介してメモリ１１２に送
り、アドレスに従ってメモリ１１２に記憶させる。メモ
リ１１２は、１つの表示パターン分の容量を持つもので
あっても、複数の表示パターン分の容量を持つものであ
ってもよい。表示に際しては、書込み読出し回路１１１
を読出しモードとしてメモリ１１２を駆動し信号変換部
１１３に必要なデータを読出す。 【００１４】この信号変換部１１３は、メモリ１１２か
ら読出された２値信号を液晶表示装置１０を駆動するに
必要な信号、即ちＸ，Ｙ信号に変換する。このＸ，Ｙ信
号を表示装置１０に送り、必要な表示を行う。信号変換
部１１０、１１３、読出し書込み回路１１１は制御回路
１１４の制御をうける。 【００１５】この制御回路１１４での制御は、第１にモ
ード指定、第２にそのタイミング指定である。制御回路
１１４は、更に、レーザ発振器１の制御も行っている。
モニタ用テレビ１５については省略している。 【００１６】次に具体的数値事例に基づく説明を行う。
レーザ光のバワー密度は液晶を損傷しない程度に選ぶ。
例えば１０4Ｗ／cm2以下になるようにビーム径を約３０
０mmとし、レーザ出力は７ＭＷを用いた。透過形液晶表
示装置５を通過したレーザ光は約１／１００に縮少投影
するための投影レンズ１０に入り、液晶表示された平面
像を試料７の表面に１／１００の寸法で焼付けた。この
時の試料面上に最大パワー密度は約１０8Ｗ／cm2に達し
た。試料７は、ガラス基板上に数１００Åの金属膜を蒸
着したものを使用し、レーザ光が照射すると、金属膜が
除去され、液晶パターンが１／１００の寸法でそのまま
瞬時に転写できた。 【００１７】以上の実施例に於いて、表示パターンの種
類を光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパタ
ーン形成が可能になった。更に、パターンの拡大、縮少
もメモリのデータそのものを拡大、縮少可能なため、汎
用性が高まった。 【００１８】次に、他の実施例を説明する。上記実施例
では、信号制御部１１への入力情報を撮像管１７から与
えたが、この他に図４、図５の如きやり方もある。 【００１９】図４は、ビデオ信号記録部１６を設け、該
ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情報として与え
てなるものである。 【００２０】図５は、ビデオ信号を無線方式によって伝
達してなるものであって、ビデオ信号送信器１８から無
線によりビデオ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更
に信号制御部１１に原画情報として入力せしめている。
但し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ずしも必
要としない。前者の実施例によれば、パターン情報をビ
デオ記録部にストックしておくことにより、必要なパタ
ーンを必要な時に形成することができる利点を持つ。後
者の実施例によれば、パターン形成を行う部所とそのパ
ターン供給部所とが離れている場合の遠隔操作に好適で
ある。 【００２１】 【発明の効果】以上説明したいうに本発明によれば、電
気信号として原画を扱うことができ、原画の入れ換えを
容易にし、しかも透過形液晶表示装置５の表示とレ−ザ
発振器１のレ−ザ発振とのタイミングが制御できるの
で、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印すること
ができる効果を奏する。 【００２２】また本発明によれば、透過形液晶表示装置
を損傷することなく、鮮明で正確なパターンを試料上に
転写刻印することができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る公知例でない従来例を示す図であ
る。 【図２】本発明の実施例を示す図である。 【図３】本発明の実施例を示す図である。 【図４】本発明の他の実施例を示す図である。 【図５】図は本発明の他の実施例を示す図である。 【符号の説明】 １…レ−ザ発信器、７…試料、１０…透過型液晶表示装
置、１１…信号制御部、１２…撮象管。
る。 【図２】本発明の実施例を示す図である。 【図３】本発明の実施例を示す図である。 【図４】本発明の他の実施例を示す図である。 【図５】図は本発明の他の実施例を示す図である。 【符号の説明】 １…レ−ザ発信器、７…試料、１０…透過型液晶表示装
置、１１…信号制御部、１２…撮象管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １．外部からの制御信号により原画を駆動表示する透過
形液晶表示装置と、制御信号により上記透過形液晶表示
装置にレ−ザ光を出射するレ−ザ発振器と、上記透過形
液晶表示装置に表示された原画を試料上に投影して刻印
する投影レンズと、上記透過形液晶表示装置とレ−ザ発
振器とに入力する制御信号のタイミングを制御する信号
制御手段とを備えて、上記透過形液晶表示装置に損傷を
しないようなパワ−密度のレ−ザ光を上記透過形液晶表
示装置に照射後レ−ザ光を縮小して刻印することを特徴
とするパターン形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6084343A JPH07105337B2 (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | パターン刻印装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6084343A JPH07105337B2 (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | パターン刻印装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1086803A Division JPH02307A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | パターン形成装置及びその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302488A true JPH06302488A (ja) | 1994-10-28 |
| JPH07105337B2 JPH07105337B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=13827871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6084343A Expired - Lifetime JPH07105337B2 (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | パターン刻印装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105337B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50159677A (ja) * | 1974-05-10 | 1975-12-24 | ||
| JPS5333370A (en) * | 1976-09-09 | 1978-03-29 | Nippon Electric Co | Drawing device |
| JPS5372575A (en) * | 1976-12-10 | 1978-06-28 | Thomson Csf | Pattern transfer optical device |
| JPS54111832A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Hitachi Ltd | Exposure device |
-
1994
- 1994-04-22 JP JP6084343A patent/JPH07105337B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50159677A (ja) * | 1974-05-10 | 1975-12-24 | ||
| JPS5333370A (en) * | 1976-09-09 | 1978-03-29 | Nippon Electric Co | Drawing device |
| JPS5372575A (en) * | 1976-12-10 | 1978-06-28 | Thomson Csf | Pattern transfer optical device |
| JPS54111832A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Hitachi Ltd | Exposure device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07105337B2 (ja) | 1995-11-13 |
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