JPH0220156U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0220156U JPH0220156U JP9806688U JP9806688U JPH0220156U JP H0220156 U JPH0220156 U JP H0220156U JP 9806688 U JP9806688 U JP 9806688U JP 9806688 U JP9806688 U JP 9806688U JP H0220156 U JPH0220156 U JP H0220156U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- periodic pattern
- defect inspection
- inspected
- imaging
- imaging means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
添付図はこの考案の一実施例を示す構成図であ
る。 １……被検査体（ワーク）、２……ステージ、
３ａ，３ｂ……ＴＶカメラ、４……画像処理装置
、５ａ，５ｂ……フレームメモリ、６……信号処
理部、７……ＴＶモニタ、８……電源部、９ａ，
９ｂ……照明、１０……拡散板、１１……制御部
、４１……切換手段、Ａ，Ｂ……分割視野領域。
る。 １……被検査体（ワーク）、２……ステージ、
３ａ，３ｂ……ＴＶカメラ、４……画像処理装置
、５ａ，５ｂ……フレームメモリ、６……信号処
理部、７……ＴＶモニタ、８……電源部、９ａ，
９ｂ……照明、１０……拡散板、１１……制御部
、４１……切換手段、Ａ，Ｂ……分割視野領域。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 周期性パターンを有する被検査体の表面を分
割して撮像するための複数の撮像手段と、これら
各撮像手段からの撮像信号をフレーム演算して記
憶する画像処理装置とを具え、撮像された前記複
数の分割面の画像情報に基づいて前記被検査体の
検査処理を行ない得るようにしたことを特徴とす
る周期性パターンの欠陥検査装置。 ２ 前記フレーム演算が積分／減算である請求項
１に記載の周期性パターンの欠陥検査装置。 ３ 前記複数の撮像手段が前記被検査体に重複域
を含んで撮像するようになつている請求項１に記
載の周期性パターンの欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9806688U JPH0220156U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9806688U JPH0220156U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220156U true JPH0220156U (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=31324000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9806688U Pending JPH0220156U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0220156U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6315141A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-22 | Kyodo Printing Co Ltd | 繰返しパタ−ンをもつ物品の検査方法及びその装置 |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP9806688U patent/JPH0220156U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6315141A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-22 | Kyodo Printing Co Ltd | 繰返しパタ−ンをもつ物品の検査方法及びその装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH1038533A (ja) | タイヤの形状測定装置とその方法 | |
| CA2343390A1 (en) | Apparatus for surface image sensing and surface inspection of three-dimensional structures | |
| JPH0220156U (ja) | ||
| JP2921449B2 (ja) | ゴルフボールの外観検査方法及び外観検査装置 | |
| JP2921922B2 (ja) | 錠剤検査装置 | |
| JP2000275183A (ja) | 画像取込み装置 | |
| JPH0157283B2 (ja) | ||
| JP2560539B2 (ja) | 水晶薄板双晶検査装置 | |
| JPH0260245U (ja) | ||
| JP2000310698A (ja) | ディジタルラインカメラによる放射性廃棄物を保管するドラム缶の外観検査方法及び装置 | |
| JPH03117709U (ja) | ||
| JPH0220157U (ja) | ||
| JPH0357688U (ja) | ||
| JPH0720065A (ja) | カラーフィルタ上の微小異物外観検査装置 | |
| JPS61139703A (ja) | ピンホ−ル検出装置 | |
| JPH0257688U (ja) | ||
| JPS60253222A (ja) | 欠陥検査方法 | |
| JPH0310679U (ja) | ||
| JPH02109241U (ja) | ||
| JPS6228155U (ja) | ||
| JPH02109213U (ja) | ||
| JPH0416752A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPS6021957U (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH0164057U (ja) | ||
| JPH06288726A (ja) | 車体の建付検査方法および装置 |