JPH0265517A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPH0265517A JPH0265517A JP21888488A JP21888488A JPH0265517A JP H0265517 A JPH0265517 A JP H0265517A JP 21888488 A JP21888488 A JP 21888488A JP 21888488 A JP21888488 A JP 21888488A JP H0265517 A JPH0265517 A JP H0265517A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 44
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 30
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧電撮動子に関し、更に詳しくは、小形化に
通し且つ量産しやすい構造の圧電振動子に関する。
通し且つ量産しやすい構造の圧電振動子に関する。
第6図及び第7図に従来の圧電振動子の一例を示す。
この圧電振動子101は、音叉部1021を有する圧電
基板102を、外部との接続用の電極1031.103
gを形成したベース板103上に接着し、圧電基板10
2を囲むように枠形スペーサ104を接着し、更に、蓋
板105を接着した構造となっている。
基板102を、外部との接続用の電極1031.103
gを形成したベース板103上に接着し、圧電基板10
2を囲むように枠形スペーサ104を接着し、更に、蓋
板105を接着した構造となっている。
上記従来の圧電振動子101では、圧電基板102より
も枠形スペーサ104のサイズが大きく、更にその枠形
スペーサ104よりもベース板103のサイズが大きい
。
も枠形スペーサ104のサイズが大きく、更にその枠形
スペーサ104よりもベース板103のサイズが大きい
。
すなわち、圧電基板102のサイズを限界まで小形化し
ても、それよりも圧電振動子101の外形サイズが2回
りほど大きくなってしまう問題点がある。
ても、それよりも圧電振動子101の外形サイズが2回
りほど大きくなってしまう問題点がある。
更に、圧電基板102と、ベース板103と。
枠形スペーサ104の相互の位置決めを正確に行わねば
ならないなどの製造上の困難性があり、量産化しにくい
問題点がある。
ならないなどの製造上の困難性があり、量産化しにくい
問題点がある。
従って、本発明の目的とするところは、外形サイズを小
形化できるとともに、量産しやすい構造とした圧電振動
子を提供することにある。
形化できるとともに、量産しやすい構造とした圧電振動
子を提供することにある。
本発明の圧電振動子は、音叉部形成辺を有する圧電基板
と、その圧電基板の音叉部形成辺に空隙をあけて突き合
わされるように配設されたスペーサと、前記圧電基板お
よびスペーサをサンドイッチ状に表面側と裏面側とから
挟む表面側シートおよび裏面側シートとを具備し、これ
ら圧電基板とスペーサと表面側シートと裏面側シートが
少なくとも音叉部近傍を除いて接着により一体化されて
なることを構成上の特徴とするものである。
と、その圧電基板の音叉部形成辺に空隙をあけて突き合
わされるように配設されたスペーサと、前記圧電基板お
よびスペーサをサンドイッチ状に表面側と裏面側とから
挟む表面側シートおよび裏面側シートとを具備し、これ
ら圧電基板とスペーサと表面側シートと裏面側シートが
少なくとも音叉部近傍を除いて接着により一体化されて
なることを構成上の特徴とするものである。
本発明の圧電振動子は、表面側シートと裏面側シートの
間に、圧電基板とスペーサとをサンドイッチ状に挟んだ
構造なので、圧電基板のサイズよりも圧電振動子の外形
サイズが極端に大きくなることはない。
間に、圧電基板とスペーサとをサンドイッチ状に挟んだ
構造なので、圧電基板のサイズよりも圧電振動子の外形
サイズが極端に大きくなることはない。
従って、圧電基板のサイズを小さ(できる限界近くまで
圧電振動子の外形サイズを小形化できることとなる。
圧電振動子の外形サイズを小形化できることとなる。
また、基本的には、3枚の板状物を張り合わせることに
より製造できるから、製造上の回能性が少なく、量産性
が改善される。
より製造できるから、製造上の回能性が少なく、量産性
が改善される。
更に、圧電基板がその音叉部近傍を除いて固定されるか
ら、特性的にも向上する。
ら、特性的にも向上する。
以下、図に示す実a例に基づいて本発明を更に詳しく説
明する。ここに第1図は本発明の一実施例の圧電振動子
の斜視図、第2図は第1図に示す圧電振動子の分解斜視
図、第3図は本発明の他の実施例の圧電振動子の第2図
相当図、第4図は本発明の更に他の実施例の圧電振動子
の第2図相当図、第5図は本発明の更にまた他の実施例
の圧電振動子の第2図相当図である。尚、以下の実施例
により本発明が限定されるものではない。
明する。ここに第1図は本発明の一実施例の圧電振動子
の斜視図、第2図は第1図に示す圧電振動子の分解斜視
図、第3図は本発明の他の実施例の圧電振動子の第2図
相当図、第4図は本発明の更に他の実施例の圧電振動子
の第2図相当図、第5図は本発明の更にまた他の実施例
の圧電振動子の第2図相当図である。尚、以下の実施例
により本発明が限定されるものではない。
第1図に示すように、圧電振動子1は、圧電基板2とス
ペーサ4とを、表面側シート5と裏面側シート6とでサ
ンドイッチ状に挟み、接着剤78で一体化した基本的構
造をしている。
ペーサ4とを、表面側シート5と裏面側シート6とでサ
ンドイッチ状に挟み、接着剤78で一体化した基本的構
造をしている。
第2WJに示すように、圧電基板2は、方形の一辺に音
叉部2.を形成したものである。2トは音叉部形成用ス
リット、2cは音叉部分離用スリットである。音叉部形
成用スリット2bの最深部近傍の表面と裏面にはそれぞ
れ電極2Jと2.が形成されている。又、外部との接続
用の電極2fと2gがそれぞれ表面側及び裏面側に設け
られている。
叉部2.を形成したものである。2トは音叉部形成用ス
リット、2cは音叉部分離用スリットである。音叉部形
成用スリット2bの最深部近傍の表面と裏面にはそれぞ
れ電極2Jと2.が形成されている。又、外部との接続
用の電極2fと2gがそれぞれ表面側及び裏面側に設け
られている。
スペーサ4は、圧電基板2とほぼ同じ厚さの板状体で、
圧電基板2の音叉部2.に空隙3を開けて突き合わされ
るように配設される。
圧電基板2の音叉部2.に空隙3を開けて突き合わされ
るように配設される。
表面側シート5及び裏面側シート6は、圧電基板2とス
ペーサ4とを合わせた大きさにほぼ等しく、切り欠き部
5m+5b及び8m、8bを形成され、更に周縁に沿っ
て接着剤7及び8を塗布されている。
ペーサ4とを合わせた大きさにほぼ等しく、切り欠き部
5m+5b及び8m、8bを形成され、更に周縁に沿っ
て接着剤7及び8を塗布されている。
圧電基板2及びスペーサ4を表面側シート5及び裏面側
シート6でサンドイッチ状に挟むと、接着剤7及び8の
厚みがあるために、少なくとも圧電基板2の音叉部21
の近傍には空隙が形成される。従って、音叉部2.の圧
電振動が妨げられることはない。
シート6でサンドイッチ状に挟むと、接着剤7及び8の
厚みがあるために、少なくとも圧電基板2の音叉部21
の近傍には空隙が形成される。従って、音叉部2.の圧
電振動が妨げられることはない。
又、第1図に示すように、空隙3の両端部分31には接
着剤7及び8が流れ込むので、音叉部2□の気密性が保
たれる。
着剤7及び8が流れ込むので、音叉部2□の気密性が保
たれる。
かかる圧電振動子1の外形サイズは、圧電基板2のサイ
ズよりもスペーサ4のサイズだけ大きくなるが、従来よ
りも圧電基板2のサイズに近くなる。従って、小形化で
きることになる。
ズよりもスペーサ4のサイズだけ大きくなるが、従来よ
りも圧電基板2のサイズに近くなる。従って、小形化で
きることになる。
また、基本的に板状物を張り合わせる技術により製造で
きるので、製造が容易となり、量産性に優れたものとな
る。
きるので、製造が容易となり、量産性に優れたものとな
る。
更に、音叉部21の近傍は空隙になるが、その周辺は接
着剤7.8にて固定されるから、良好に振動の閉じ込め
が行われ、特性が向上する。−例では、周波数特性の山
谷比が従来の約50dBから約60dBに改善された。
着剤7.8にて固定されるから、良好に振動の閉じ込め
が行われ、特性が向上する。−例では、周波数特性の山
谷比が従来の約50dBから約60dBに改善された。
尚、接着剤7.8のいずれか一方または両方を圧電基板
2およびスペーサ4に塗布してもよい。
2およびスペーサ4に塗布してもよい。
次に第3図に示す圧電振動子11は、本発明の他の実施
例を示すものである。
例を示すものである。
この圧電振動子11では、音叉部12.において、音叉
部形成用スリン)12bの端縁に沿って電極12Jが形
成され、又、その電極12−の両側に電極128が設け
られている。又、図に現れていないが、裏面には、前記
電極12a、12゜に共通して対抗する電極が設けられ
ている。12112gは外部への接続電極であり、これ
らの位置に合わせて表面側シート15には切り欠き11
5M、15&が形成されている。接続電極12+12奮
が表面側のみにあるので、裏面側シート16には切り欠
き部は設けられていない。
部形成用スリン)12bの端縁に沿って電極12Jが形
成され、又、その電極12−の両側に電極128が設け
られている。又、図に現れていないが、裏面には、前記
電極12a、12゜に共通して対抗する電極が設けられ
ている。12112gは外部への接続電極であり、これ
らの位置に合わせて表面側シート15には切り欠き11
5M、15&が形成されている。接続電極12+12奮
が表面側のみにあるので、裏面側シート16には切り欠
き部は設けられていない。
表面側シート15の周縁に沿って接着剤17が塗布され
、又、裏面側シート16の周縁に沿って接着剤18が塗
布され、これらによって圧電基板12とスペーサ4と表
面側シート15と表面側シート16とが接着され一体化
される。
、又、裏面側シート16の周縁に沿って接着剤18が塗
布され、これらによって圧電基板12とスペーサ4と表
面側シート15と表面側シート16とが接着され一体化
される。
次に、第4図は本発明の更に他の実施例の圧電振動子2
1を示すものである。
1を示すものである。
前記実施例の圧電撮動子11と異なる点は、前記圧電撮
動子11の表面側シート15に、更に、切り欠き[25
cが設けられ、又、各切り欠き部25m、25b、25
cの周縁に沿って電極25J、25゜、25fが形成さ
れ、電極25eと25Cとは接続電極25奮で接続され
ていることである。
動子11の表面側シート15に、更に、切り欠き[25
cが設けられ、又、各切り欠き部25m、25b、25
cの周縁に沿って電極25J、25゜、25fが形成さ
れ、電極25eと25Cとは接続電極25奮で接続され
ていることである。
又、前記スペーサ4に加えて電極24.が形成されてい
ることである。このような変更は、外部との接続性を良
好にするためである。
ることである。このような変更は、外部との接続性を良
好にするためである。
次に、第5図は本発明の更にまた他の実施例の圧電振動
子31を示している。
子31を示している。
この圧電振動子31では、圧電基板32の音叉部321
が外部に飛び出した凸型構造となっており、又、スペー
サ34が、圧電基板32の凸型構造に対応して凹型構造
になっている点が異なっているが、その他は第3図に示
した圧電振動子11と同じ構造である。
が外部に飛び出した凸型構造となっており、又、スペー
サ34が、圧電基板32の凸型構造に対応して凹型構造
になっている点が異なっているが、その他は第3図に示
した圧電振動子11と同じ構造である。
本発明によれば、音叉部形成辺を有する圧電基板と、そ
の圧電基板の音叉部形成辺に空隙をあけて突き合わされ
るように配設されたスペーサと、前記圧電基板およびス
ペーサをサンドイッチ状に表面側と裏面側とから挟む表
面側シートおよび裏面側シートとを具備し、これら圧電
基板とスペーサと表面側シートと裏面側シートが少なく
とも音叉部近傍を除いて接着により一体化されてなるこ
とを特徴とする圧電振動子が提供され、これにより圧電
振動子の外形サイズを圧電基板のサイズの近くまで小形
化することが出来るようになる。又、製造が容易となり
、量産性に優れたものとなる。
の圧電基板の音叉部形成辺に空隙をあけて突き合わされ
るように配設されたスペーサと、前記圧電基板およびス
ペーサをサンドイッチ状に表面側と裏面側とから挟む表
面側シートおよび裏面側シートとを具備し、これら圧電
基板とスペーサと表面側シートと裏面側シートが少なく
とも音叉部近傍を除いて接着により一体化されてなるこ
とを特徴とする圧電振動子が提供され、これにより圧電
振動子の外形サイズを圧電基板のサイズの近くまで小形
化することが出来るようになる。又、製造が容易となり
、量産性に優れたものとなる。
更に、特性的にも優れたものとなる。
第1図は本発明の一実施例の圧電振動子の斜視図、第2
図は第1図に示す圧電振動子の分解斜視図、第3図は本
発明の他の実施例の圧電振動子の第2図相当図、第4図
は本発明の更に他の実施例の圧電振動子の第2図相当図
、第5図は本発明の更にまた他の実施例の圧電撮動子の
第2図相当図、第6図は従来の圧電振動子の、−例の斜
視図、第7図は第6図に示す圧電振動子の分解斜視図で
あ〔符号の説明〕 1.11,21.31・・・圧電振動子2.12.32
・・・圧電基板 2、、tza、32.・・・音叉部 3.13,23.33・・・空隙 4.24.34・・・スペーサ 5.15.25・・・表面側シート 6.16・・・裏面側シート 7.8,17.18・・・接着剤。
図は第1図に示す圧電振動子の分解斜視図、第3図は本
発明の他の実施例の圧電振動子の第2図相当図、第4図
は本発明の更に他の実施例の圧電振動子の第2図相当図
、第5図は本発明の更にまた他の実施例の圧電撮動子の
第2図相当図、第6図は従来の圧電振動子の、−例の斜
視図、第7図は第6図に示す圧電振動子の分解斜視図で
あ〔符号の説明〕 1.11,21.31・・・圧電振動子2.12.32
・・・圧電基板 2、、tza、32.・・・音叉部 3.13,23.33・・・空隙 4.24.34・・・スペーサ 5.15.25・・・表面側シート 6.16・・・裏面側シート 7.8,17.18・・・接着剤。
Claims (1)
- 1.音叉部形成辺を有する圧電基板と、その圧電基板の
音叉部形成辺に空隙をあけて突き合わされるように配設
されたスペーサと、前記圧電基板およびスペーサをサン
ドイッチ状に表面側と裏面側とから挟む表面側シートお
よび裏面側シートとを具備し、これら圧電基板とスペー
サと表面側シートと裏面側シートが少なくとも音叉部近
傍を除いて接着により一体化されてなることを特徴とす
る圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63218884A JPH0744418B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63218884A JPH0744418B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265517A true JPH0265517A (ja) | 1990-03-06 |
| JPH0744418B2 JPH0744418B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=16726819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63218884A Expired - Fee Related JPH0744418B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744418B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010060347A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Seiko Epson Corp | 振動型センサ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5534575A (en) * | 1978-09-01 | 1980-03-11 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Piezo-vibrator |
| JPS5977715A (ja) * | 1982-10-26 | 1984-05-04 | Murata Mfg Co Ltd | チツプ状圧電振動部品 |
| JPS59119911A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-11 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子 |
| JPS6312926U (ja) * | 1986-04-07 | 1988-01-28 |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP63218884A patent/JPH0744418B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5534575A (en) * | 1978-09-01 | 1980-03-11 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Piezo-vibrator |
| JPS5977715A (ja) * | 1982-10-26 | 1984-05-04 | Murata Mfg Co Ltd | チツプ状圧電振動部品 |
| JPS59119911A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-11 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子 |
| JPS6312926U (ja) * | 1986-04-07 | 1988-01-28 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010060347A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Seiko Epson Corp | 振動型センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0744418B2 (ja) | 1995-05-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |