JPH0270618A - 空気浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は、例えば半導体製造工場のクリーニングルーム
等に設置される空気浮上搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

クリーニングルーム等では、粉塵の発生を防止するため
、摩擦係数の低い搬送装置が使用されており、空気浮上
搬送装置はそのＳ擦係数μが０゜００１程度なので広く
使用されている。

従来の空気浮上搬送装置は第９図及び第１０図に示され
るように、架台１上に中空状の軌道２を直線に敷設し、
該軌道２内にリニアモータの固定子３を適数個設置し、
パレット４に、軌道２の側面をカバーする案内壁５ａ、
５ａを有して軌道２を跨ぐリニアモータの２次導体５を
設け、軌道２内に送り込まれた圧縮空気を軌道２の上面
に穿設した空気噴出孔６から噴出させ、２次導体５の下
面に空気層を形成してパレット４を浮上させ、２次導体
５と軌道２とを非接触状態にしてパレット４を移動させ
ている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上述の構造では、空気消費量が多く、また、
軌道が直線にしか敷設できないので、そのレイアウトに
限界があった。

そこで本発明は、空気消費間が少なく、かつ曲線走行や
直角方向に進路変更可能にしてレイアウトの自由度を大
幅に向上させた空気浮上搬送装置を提供することを目的
としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的達成のため本発明は、軌道より噴出する空気に
よりパレットを浮上させ、該パレットをリニアモータに
て移動させる空気浮上搬送装置において、前記リニアモ
ータの固定子の両側に一対のレールを敷設し、該レール
に、レールとの間に空気通路を形成するとともに、該空
気通路に連通してレールの上面と内側面に圧縮空気を噴
出する微細な中空孔を有する多孔質の流体透過性材を設
けて軌道を構成し、一方、前記パレットには、前記レー
ル上面から噴出する空気を受けてパレットを浮上させる
空気受は面と、レール内側面から噴出する空気を受けて
レール内側面と非接触状態でパレットを案内する案内部
と、リニアモータの２次導体とを設けたことを特徴とし
、これにより、空気消費ｍを従来よりも少なくしており
、また、前記パレットの案内部を直方体に形成すること
により、直線軌道からこれに直交する直線軌道への直角
方向の進路変更可能となり、さらに、前記パレットの案
内部を弾性部材で形成することにより、曲線路の走行も
可能となってレイアウトの自由度が向上する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図乃至第８図に基づいて説
明する。

第１図乃至第３図は本発明の第１実施例を示すもので、
空気浮上装置１０は、直角に屈曲して設置された軌道１
１と、該軌道１１上を移動するパレット１２とで構成さ
れており、軌道１１は、架台１３上にリニアモータの固
定子１４を適数個固設し、該固定子１４の両側に一対の
レール１５゜１５を敷設し、該レール１５に、レール１
５との間に空気通路１６を形成する多孔質の流体透過性
材１７を設けている。

該流体透過性材１７は、裏面から表面に連続する微細な
中空孔を有するセラミックス多孔体で、レール１５の側
面に形成された圧縮空気注入０１８から空気通路１６に
注入される空気をレール１５の上面及び内側面に噴出す
る。

尚、実験によれば、上記流体透過性材１７は、１０１角
で２００　Ｋｙの相聞物を１５抑浮上させる性能を有す
る。

パレット１２は軌道１１と略同幅の正方形で、中央部に
下方へ突出する正方形の案内部１２ａが形成され、７ラ
ンジ状の周縁を前記レール１５゜１５の上面から噴出す
る空気を受ける空気受は而１２ｂとしており、案内部１
２ａの底面には、リニアモータの２次導体１２Ｃが設け
られている。

また、案内部１２ａは、両側のレール１５．１５の内側
面と僅かな間隙を有する幅に形成され、２次導体１２Ｃ
と固定子１４との間も僅かな間隙が生ずる深さに形成さ
れている。

このように構成された空気浮上搬送装置１０は、レール
１５の側面に形成された圧縮空気注入口１８から空気通
路１６に圧縮空気を注入すると、レール１５の上面から
噴出する空気によりパレット１２が浮上し、リニアモー
タの固定子１４の磁極の切替えによりパレット１２が移
動する。

この際に、両側のレール１５．１５の内側面から噴出す
る空気がパレット１２の案内部１２ａに噴きつけられる
ので、該案内部１２ａは両側のレール１５．１５の内側
面と非接触状態でパレット１２を移動させる。

したがって、パレット１２はレール１５．１５と非接触
状態で移動するので、粉塵の発生を防止できる。

また、軌道１１の曲り角では、曲り角に設置された固定
子１４によりパレット１２を浮上状態で停止させ、曲る
ほうの固定子１４により移動させる。この際に、パレッ
ト１２の案内部１２ａが正方形なので、直進してきたと
きの案内部１２ａとは別の面に、両側のレール１５．１
５の内側面から噴出する空気がパレット１２の案内部１
２ａに噴きつけられ、パレット１２はレール１５．１５
と非接触状態で直角に進路を変更できる。

したがって、軌１１１のレイアウトの自由度が向上する
。また、流体透過性材１７の空気噴出孔が微細なところ
から、圧縮空気の消費量が少なくてすむ。

尚、直線の軌道とこれに直交する軌道のそれぞれのレー
ルの間隔が異なる場合には、パレットの案内部をそれぞ
れのレールの間隔に合わせた直方体に形成することによ
り、パレットはレールと非接触状態で直角に進路を変更
できる。

第４図乃至第７図は本発明の第２実施例を示すもので、
空気浮上装＠２０は、曲線部分を有する軌道２１と、該
軌道２１上を移動するパレット２２とで構成されており
、軌道２１は、前記実施例と同様に、架台２３上に固設
されたりニアモータの固定子２４と、該固定子２４の両
側に敷設される一対のレール２５．２５と、該レール２
５との間に空気通路２６を形成してレール２５に設けら
れる多孔質の流体透過性材２７とで形成されている。

パレット２２はレール２５．２５と略同幅に形成され、
両側繰下面をレール２５．２５の上面より噴出する空気
の受は面２２ａとしており、中央部に設けられた４本の
ボルト２２ｂで略へ角形のりニアモータの２次導体２２
Ｇを吊持している。

また、パレッｌ−２２の下面と２次導体２２ｃとの間に
は、薄い弾性部材で形成された案内部２２ｄが設けられ
ている。この案内部２２ｄは、断面略正方形で、各側面
に形成された長孔２２ｅに前記ボルト２２ｂを挿通して
いる。

このように構成された案内部２２ｄは、軌道２１の曲線
部分にさしかかると、第７図に示されるように、両側の
レール２５．２５の内側面から噴出する空気を受けて、
レール２５．２５の内側面とは非接触状態で変形し、パ
レット２２の移動を案内する。

したがって、曲線部分を含む軌道２１を有する空気浮上
搬送装置２０とすることができ、レイアウトの自由度が
向上する。

第８図は本発明の第３実施例を示すもので、空気浮上搬
送装置３０は、架台３１上に固設されるリニアモータの
固定子３２と、該固定子３２の両側に敷設される中空状
でかつ上面の内側を下方に傾斜させた一対のレール３３
．３３と、該レール３３の傾斜面に設けられる多孔質の
流体透過性材３４とで軌道３５を構成し、レール３３内
部の空気通路３６に注入される空気を流体透過性材３４
からレール３３の上面及び内側面方向に噴出させている
。

また、パレット３７は、案内部３７ａの中央底部にリニ
アモータの２次導体３７ｂを有し、２次導体３７ｂの両
側壁を前記流体透過性材３４の傾斜と略同様に傾斜させ
て流体透過性材３４から噴出される空気の空気受は面３
７ｃ、３７ｃとしている。

このように構成することにより、曲線軌道の走行が可能
で、また、流体透過性材３４やパレット３７の寸法管理
が容易となり、コストダウンが計れる。

〔発明の効果〕

本発明の空気浮上搬送装置は以上のように、リニアモー
タの固定子の両側に一対のレールを敷設し、該レールに
、レールとの間に空気通路を形成するとともに、該空気
通路に連通してレールの上面と内側面に空気を噴出する
微細な中空孔を有する多孔質の流体透過性材を設けて軌
道を構成し、該軌道上を移動するパレットには、前記レ
ール上面から噴出する空気を受けてパレットを浮上させ
る空気受は面と、レール内側面から噴出する空気を受け
てレール内側面と非接触状態でパレットを案内する案内
部と、リニアモータの２次導体とを設け、空気通路に注
入される圧縮空気をレールの上面と内側面から噴出させ
てパレットを浮上させ、リニアモータによりパレットを
移動させるので、パレットが軌道と非接触状態で移動し
、粉塵の発生を防止できる。また、圧縮空気が微細な中
空孔を有する多孔質の流体透過性材から噴出されるので
、空気消費量が少なくてすみ、さらに、パレットの案内
部を直方体に形成することにより、該パレットが直角に
屈曲した軌道と非接触状態で移動でき、また、パレット
の案内部を弾性部材で形成することにより、該パレット
を曲線部分を含む軌道と非接触状態で移動させることが
できるので、軌道のレイアウトの自由度を向上できる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明を直角に屈曲した軌道を有す
る空気浮上搬送装置に適用した第１実施例を示し、第１
図は斜視図、第２図は平面図、第３図は第２図のＩＦ−
ＩＩ断面図、第４図乃至第７図は本発明を曲線軌道を有
する空気浮上搬送装置に適用した第２実施例を示し、第
４図は斜視図、第５図は断面図、第６図はパレットの断
面平面図、第７図は曲線部分を通過する際の案内部の変
形例を示すパレットの断面平面図、第８図は第３実施例
の空気浮上搬送装置の断面図、第９図は従来の空気浮上
搬送装置の斜視図、第１０図は同じく断面図である。 １０．２０．３０・・・空気浮上搬送装置　　１１゜２
１．３５・・・軌道　　１２．２２．３７・・・パレッ
ト　　１２ａ、２２ｄ、３７ａ−・・案内部　　１２ｂ
、２２ａ３７Ｃ・・・空気量は面　　１２ｃ、２２ｃ、
３７ａ・・・リニアモータの２次導体　　　１４゜２４
．３２・・・リニアモータの固定子　　１５，２５．３
３・・・レール　　１６．２６．３６・・・空気通路　
　１７，２７．３４・・・流体透過性材特　許　出　願
　人　日本車輌製造株式会社ｒ、７゜ 代理人　弁理士　　　木　　戸　　傳一部　Ｌ同 筋５因 崩７円 第６０ 崩８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、軌道より噴出する空気によりパレットを浮上させ、
   該パレットをリニアモータにて移動させる空気浮上搬送
   装置において、前記リニアモータの固定子の両側に一対
   のレールを敷設し、該レールに、レールとの間に空気通
   路を形成するとともに、前記空気通路に連通してレール
   の上面と内側面に圧縮空気を噴出する微細な中空孔を有
   する多孔質の流体透過性材を設けて軌道を構成し、一方
   、前記パレットには、前記レール上面から噴出する空気
   を受けてパレットを浮上させる空気受け面と、レール内
   側面から噴出する空気を受けてレール内側面と非接触状
   態でパレットを案内する案内部と、リニアモータの２次
   導体とを設けたことを特徴とする空気浮上搬送装置。 ２、前記パレットの案内部を直方体に形成したことを特
   徴とする請求項１記載の空気浮上搬送装置。 ３、前記パレットの案内部を弾性部材で形成したことを
   特徴とする請求項１記載の空気浮上搬送装置。