JPH0533247Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0533247Y2 JPH0533247Y2 JP15100488U JP15100488U JPH0533247Y2 JP H0533247 Y2 JPH0533247 Y2 JP H0533247Y2 JP 15100488 U JP15100488 U JP 15100488U JP 15100488 U JP15100488 U JP 15100488U JP H0533247 Y2 JPH0533247 Y2 JP H0533247Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- cam
- angle
- transfer arm
- rotates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 210000001015 abdomen Anatomy 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、加工や検査の対象物（ワーク）や部
品（以下部品等）を支持して一定角度だけ正確に
回転移動させることができる位置出し機構をもつ
搬送アームに関する。
品（以下部品等）を支持して一定角度だけ正確に
回転移動させることができる位置出し機構をもつ
搬送アームに関する。
（従来の技術）
半導体ウエーハ等の部品を一旦、角度合わせさ
れた状態を保存して次のプロセスに、例えば正確
に180°回転させたいとう要請がある。
れた状態を保存して次のプロセスに、例えば正確
に180°回転させたいとう要請がある。
そのような部品等を回転移動により180°搬送す
る装置の位置決め機構において、パルスモータが
使用される。
る装置の位置決め機構において、パルスモータが
使用される。
すなわち、パルスモータは高分解能駆動を行う
が、ギヤダウンにより分解能を向上させ、さらに
分解能を向上させるために、エンコーダを設置し
て、その信号をフイードバツクする方式が考えら
れる。
が、ギヤダウンにより分解能を向上させ、さらに
分解能を向上させるために、エンコーダを設置し
て、その信号をフイードバツクする方式が考えら
れる。
（考案は解決しようとする課題）
前述した構成により精度の良い、180°の回転搬
送を機体することができるが、システムが複雑で
かつコスト高となるという問題がある。
送を機体することができるが、システムが複雑で
かつコスト高となるという問題がある。
本考案の目的は、部品等を回転移動により正確
に一定角度搬送する装置を簡便な機構で精度良
く、搬送することができる位置出し機構をもつ搬
送アームを提供することにある。
に一定角度搬送する装置を簡便な機構で精度良
く、搬送することができる位置出し機構をもつ搬
送アームを提供することにある。
（課題を解決するための手段）
前記目的を達成するために、本考案による位置
出し機構をもつ搬送アームは、一面が平坦である
部品を当初位置から一定の角度回転搬送する搬送
アームにおいて、部品等の保持部とカム従動部が
設けられている回転搬送アームと、前記回転搬送
アームを一定の角度よりもわずかに大きく回転駆
動するモータと、前記わずかに大きな角度駆動さ
れた前記搬送アームを一定量だけ押し戻して退避
する偏心カムから構成されている。
出し機構をもつ搬送アームは、一面が平坦である
部品を当初位置から一定の角度回転搬送する搬送
アームにおいて、部品等の保持部とカム従動部が
設けられている回転搬送アームと、前記回転搬送
アームを一定の角度よりもわずかに大きく回転駆
動するモータと、前記わずかに大きな角度駆動さ
れた前記搬送アームを一定量だけ押し戻して退避
する偏心カムから構成されている。
（実施例）
本考案を図面等を参照して、さらに詳しく説明
する。
する。
第１図は、本考案により位置出し機構を持つ搬
送アームの実施例を示す斜視図である。
送アームの実施例を示す斜視図である。
第２図は、同平面配置図である。
回転搬送アーム１は、パルスモータ１０の出力
軸に回転方向の遊びがないように結合されている
アーム駆動軸１１に結合されている。
軸に回転方向の遊びがないように結合されている
アーム駆動軸１１に結合されている。
この板状の回転搬送アーム１にはこのアーム駆
動軸１１の回転中心軸対称の形状をもち両端に半
円環状のウエーハ保持部が設けられている。
動軸１１の回転中心軸対称の形状をもち両端に半
円環状のウエーハ保持部が設けられている。
この半円環状の部分には半導体ウエーハ吸引溝
２ａ，２ｂがそれぞれ設けられており、板の内部
に設けられた空気通路を介して図示しない負圧力
供給源に接続されている。
２ａ，２ｂがそれぞれ設けられており、板の内部
に設けられた空気通路を介して図示しない負圧力
供給源に接続されている。
また回転搬送アーム１の腹部には前記半円環状
のウエーハ保持部の開口側にそれぞれカム従動ロ
ーラ３ａ，３ｂが設けられている。
のウエーハ保持部の開口側にそれぞれカム従動ロ
ーラ３ａ，３ｂが設けられている。
これらのカム従動ローラ３ａ，３ｂはアーム駆
動軸１１に対して回転対称である。
動軸１１に対して回転対称である。
カム溝７ａをもつ溝カム筒７は前記アーム駆動
軸１１に平行に固定されており、カム溝７ａは偏
心カム９をもつ軸１４のピン１５を案内してい
る。エアシリンダ５の出力軸１３は前記ピン１５
に、連結させられている。
軸１１に平行に固定されており、カム溝７ａは偏
心カム９をもつ軸１４のピン１５を案内してい
る。エアシリンダ５の出力軸１３は前記ピン１５
に、連結させられている。
エアシリンダ５で軸１４を押し上げると、偏心
カム９は図中反時計方向に回転しながら上昇す
る。
カム９は図中反時計方向に回転しながら上昇す
る。
当初、回転搬送アーム１がその破線で示されて
いる原点位置Ｓにあり、ここからパルスモータ１
０により半導体ウエーハとの取り合い位置Ａ，Ｂ
に向けて90°＋α°（α：微小角度）回転する。
いる原点位置Ｓにあり、ここからパルスモータ１
０により半導体ウエーハとの取り合い位置Ａ，Ｂ
に向けて90°＋α°（α：微小角度）回転する。
この時、偏心カム９は、初めはカム従動ローラ
３ｂ位置より下にあり、回転搬送アーム１がＢに
きたところで偏心カム９がエアシリンダ５により
上に押し上げられながら、カム従動ローラ３ｂに
近づく。
３ｂ位置より下にあり、回転搬送アーム１がＢに
きたところで偏心カム９がエアシリンダ５により
上に押し上げられながら、カム従動ローラ３ｂに
近づく。
偏心カム９は回転しながら上昇してローラ３ｂ
に当り、回転力によりローラ３ｂを押し、回転搬
送アーム１をα°（微小角度）押し戻した取り合い
位置Ａ，Ｂに位置決めし、ウエーハの取り合いを
した上で下降し、回避する。
に当り、回転力によりローラ３ｂを押し、回転搬
送アーム１をα°（微小角度）押し戻した取り合い
位置Ａ，Ｂに位置決めし、ウエーハの取り合いを
した上で下降し、回避する。
これにより正確な機械的位置決めがなされるよ
うに、ローラと偏心カムは高精度に加工されてい
る。
うに、ローラと偏心カムは高精度に加工されてい
る。
（考案の効果）
以上詳しく説明したように本考案による位置出
し機構をもつ搬送アームは、一面が平坦である部
品の当初位置から一定の角度の回転搬送する位置
出し機構をもつ搬送アームにおいて、部品等の保
持部とカム従動部が設けられている回転搬送アー
ムと、前記回転搬送アームを一定の角度よりもわ
ずかに大きく回転駆動するモータと、前記わずか
に大きな角度駆動された前記搬送アームを一定量
だけ押し戻して退避する偏心カムから構成されて
いる。
し機構をもつ搬送アームは、一面が平坦である部
品の当初位置から一定の角度の回転搬送する位置
出し機構をもつ搬送アームにおいて、部品等の保
持部とカム従動部が設けられている回転搬送アー
ムと、前記回転搬送アームを一定の角度よりもわ
ずかに大きく回転駆動するモータと、前記わずか
に大きな角度駆動された前記搬送アームを一定量
だけ押し戻して退避する偏心カムから構成されて
いる。
したがつて、直動シリンダや回転カム等の組み
合わせにより簡便な機構で精度の良い位置決めを
可能にし、かつ、コストの軽減を実現できた。
合わせにより簡便な機構で精度の良い位置決めを
可能にし、かつ、コストの軽減を実現できた。
第１図は、本考案による位置出し機構をもつ搬
送アームの実施例を示す斜視図である。第２図
は、本考案による前記位置出し機構をもつ搬送ア
ームが使用される半導体ウエーハの180°移送装置
の平面配置図である。 １……回転搬送アーム、２ａ，２ｂ……半導体
ウエーハ吸引溝、３ａ，３ｂ……カム従動ロー
ラ、５……エアシリンダ、７……溝カム筒、９…
…偏心カム、１０……パルスモータ、１１……ア
ーム駆動軸、１３……シリンダ軸、１４……カム
軸、１５……カムピン。
送アームの実施例を示す斜視図である。第２図
は、本考案による前記位置出し機構をもつ搬送ア
ームが使用される半導体ウエーハの180°移送装置
の平面配置図である。 １……回転搬送アーム、２ａ，２ｂ……半導体
ウエーハ吸引溝、３ａ，３ｂ……カム従動ロー
ラ、５……エアシリンダ、７……溝カム筒、９…
…偏心カム、１０……パルスモータ、１１……ア
ーム駆動軸、１３……シリンダ軸、１４……カム
軸、１５……カムピン。
Claims (1)
- 一面が平坦である部品を当初位置から一定の角
度回転搬送する搬送アームにおいて、部品等の保
持部とカム従動部が設けられている回転搬送アー
ムと、前記回転搬送アームを一定の角度よりもわ
ずかに大きく回転駆動するモータと、前記わずか
に大きな角度駆動された前記搬送アームを所定の
位置まで押し戻して退避する偏心カムから構成し
たことを特徴とする位置出し機構をもつ搬送アー
ム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15100488U JPH0533247Y2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | |
| US07/421,351 US5052884A (en) | 1988-10-25 | 1989-10-13 | Transferring device for semiconductor wafers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15100488U JPH0533247Y2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0270954U JPH0270954U (ja) | 1990-05-30 |
| JPH0533247Y2 true JPH0533247Y2 (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=31424660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15100488U Expired - Lifetime JPH0533247Y2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-11-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0533247Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP15100488U patent/JPH0533247Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0270954U (ja) | 1990-05-30 |
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