JPH0281060U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0281060U JPH0281060U JP16002088U JP16002088U JPH0281060U JP H0281060 U JPH0281060 U JP H0281060U JP 16002088 U JP16002088 U JP 16002088U JP 16002088 U JP16002088 U JP 16002088U JP H0281060 U JPH0281060 U JP H0281060U
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- JP
- Japan
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- conductive layer
- oxide film
- semiconductor device
- contact
- power supply
- Prior art date
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- Pending
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- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案を適用したＩＣチツプの模式的
な部分平面図、第２図は第１図のＡ―Ａ′断面図
、第３図は第１図のＢ―Ｂ′断面図、第４図は第
１図のＣ―Ｃ′断面図、第５図は、従来技術の断
面図である。 １……集積回路チツプ、２……素子領域、２′
……素子領域近傍域、３……導電層（最低電位）
、４……最低電位電源パツド、４′……パツド、
５……コンタクト部、５′……コンタクトホール
、６……１層の導電層（最低電位）、７，８，９
……スルーホール、１０……半導体基板、１１…
…素子分離酸化膜、１２，１４，１６……導電層
（配線）、１７，１８，１９……導電層（パツド
コンタクト）。
な部分平面図、第２図は第１図のＡ―Ａ′断面図
、第３図は第１図のＢ―Ｂ′断面図、第４図は第
１図のＣ―Ｃ′断面図、第５図は、従来技術の断
面図である。 １……集積回路チツプ、２……素子領域、２′
……素子領域近傍域、３……導電層（最低電位）
、４……最低電位電源パツド、４′……パツド、
５……コンタクト部、５′……コンタクトホール
、６……１層の導電層（最低電位）、７，８，９
……スルーホール、１０……半導体基板、１１…
…素子分離酸化膜、１２，１４，１６……導電層
（配線）、１７，１８，１９……導電層（パツド
コンタクト）。
Claims (1)
- 酸化膜分離構造を有する半導体装置において、
素子分離を行なう酸化膜直下に基板と接する導電
層を設け、該導電層を所定の電位の電源パツドま
で延設したことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16002088U JPH0281060U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16002088U JPH0281060U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281060U true JPH0281060U (ja) | 1990-06-22 |
Family
ID=31441726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16002088U Pending JPH0281060U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0281060U (ja) |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP16002088U patent/JPH0281060U/ja active Pending