JPH02816B2 - - Google Patents
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- JPH02816B2 JPH02816B2 JP58187392A JP18739283A JPH02816B2 JP H02816 B2 JPH02816 B2 JP H02816B2 JP 58187392 A JP58187392 A JP 58187392A JP 18739283 A JP18739283 A JP 18739283A JP H02816 B2 JPH02816 B2 JP H02816B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は電子顕微鏡等に用いられる対物レンズ
に関し、特に３個の磁極片を有する対物レンズに
関する。
に関し、特に３個の磁極片を有する対物レンズに
関する。
［従来技術］
高分解能電子顕微鏡を透過像観察モードで使用
すれば、原子の配列に関する像が直接観察でき、
複雑な構造を有する結晶の構造解析手段として利
用できる。一方、高分解能電子顕微鏡を収束電子
線回折モードで使用すれば、試料の点群を決める
ことができるので、両観察モードを併用して構造
解析を行なうことが広く行なわれるようになつ
た。このような両観察モードの併用を有効に行な
うためには、試料の同一微小領域についての透過
像と収束電子回析像を得なければならない。しか
しながら、試料の同一微小領域について両像を得
ようとすると、観察モードの切換に伴つて試料の
Ｚ方向位置を移動させなければならず、この移動
量の調整は繁雑であるばかりでなく熟練と時間を
要する。このような欠点を解決するため、ヨーク
と、該ヨークに取り付けられた第１、第２、第３
の磁極片と、該第１、第２の磁極片間にレンズ磁
界を形成するための第１の励磁コイルと、該第１
の励磁コイルに励磁電流を供給するための第１の
電源と、該第１の電源から第１の励磁コイルに供
給される励磁電流の向きを切換えるための切換手
段と、第２、第３の磁極片間に第２のレンズ磁界
を形成するための第２の励磁コイルと、該第２の
励磁コイルに励磁電流を供給するための第２の電
源とを具備し、第１の励磁電源の励磁電流の向き
を切換えることにより、試料の位置を移動させる
ことなく、観察モードの切換えを行ない得る対物
レンズが提案された（特願昭58−45064号）。この
ような対物レンズにおいて、試料の位置と試料ス
テージの位置とをできるだけ近付けて、振動の影
響をできるだけ受けないようにするためには、第
２の磁極片の先端部の下側（第３磁極片側）頂面
の位置は、その根元側の下側頂面の位置以上上側
に配置せざるを得ず、更に、回折像取得の際に比
較的細い集束電子線を得るためには、第２の磁極
片の先端部の下側傾斜面の光軸Ｃに対する傾斜角
θ2は60゜乃至80゜でなければならない。従つて、こ
のような２つの付加条件を同時に満すため、第２
の磁極片の根元部を薄く形成するようにしてい
た。そのため、第２の励磁電源を逆極性励磁した
際には、第２の磁極片には、第１の励磁コイルか
らの磁束と、第２の励磁コイルからの磁束が加算
されて流れるため、第２の磁極片が磁気飽和を起
してしまう。そのため、このままでは第２、第３
の磁極片間のレンズ磁場強度が切換え前より小さ
くなつてしまうため、第２、第３の磁極片間にお
ける磁場強度を切換え前と略同一に保つために、
該切換えに伴つて、第２の励磁電源の励磁強度を
大幅に変化させている。ところが、この励磁強度
を大幅に変化させるのに伴なつて、漏洩磁界強度
も大きく変化するため、従来においては、この切
換えの都度、非点収差補正レンズ等の補正電流を
調節する必要があり、面倒であつた。
すれば、原子の配列に関する像が直接観察でき、
複雑な構造を有する結晶の構造解析手段として利
用できる。一方、高分解能電子顕微鏡を収束電子
線回折モードで使用すれば、試料の点群を決める
ことができるので、両観察モードを併用して構造
解析を行なうことが広く行なわれるようになつ
た。このような両観察モードの併用を有効に行な
うためには、試料の同一微小領域についての透過
像と収束電子回析像を得なければならない。しか
しながら、試料の同一微小領域について両像を得
ようとすると、観察モードの切換に伴つて試料の
Ｚ方向位置を移動させなければならず、この移動
量の調整は繁雑であるばかりでなく熟練と時間を
要する。このような欠点を解決するため、ヨーク
と、該ヨークに取り付けられた第１、第２、第３
の磁極片と、該第１、第２の磁極片間にレンズ磁
界を形成するための第１の励磁コイルと、該第１
の励磁コイルに励磁電流を供給するための第１の
電源と、該第１の電源から第１の励磁コイルに供
給される励磁電流の向きを切換えるための切換手
段と、第２、第３の磁極片間に第２のレンズ磁界
を形成するための第２の励磁コイルと、該第２の
励磁コイルに励磁電流を供給するための第２の電
源とを具備し、第１の励磁電源の励磁電流の向き
を切換えることにより、試料の位置を移動させる
ことなく、観察モードの切換えを行ない得る対物
レンズが提案された（特願昭58−45064号）。この
ような対物レンズにおいて、試料の位置と試料ス
テージの位置とをできるだけ近付けて、振動の影
響をできるだけ受けないようにするためには、第
２の磁極片の先端部の下側（第３磁極片側）頂面
の位置は、その根元側の下側頂面の位置以上上側
に配置せざるを得ず、更に、回折像取得の際に比
較的細い集束電子線を得るためには、第２の磁極
片の先端部の下側傾斜面の光軸Ｃに対する傾斜角
θ2は60゜乃至80゜でなければならない。従つて、こ
のような２つの付加条件を同時に満すため、第２
の磁極片の根元部を薄く形成するようにしてい
た。そのため、第２の励磁電源を逆極性励磁した
際には、第２の磁極片には、第１の励磁コイルか
らの磁束と、第２の励磁コイルからの磁束が加算
されて流れるため、第２の磁極片が磁気飽和を起
してしまう。そのため、このままでは第２、第３
の磁極片間のレンズ磁場強度が切換え前より小さ
くなつてしまうため、第２、第３の磁極片間にお
ける磁場強度を切換え前と略同一に保つために、
該切換えに伴つて、第２の励磁電源の励磁強度を
大幅に変化させている。ところが、この励磁強度
を大幅に変化させるのに伴なつて、漏洩磁界強度
も大きく変化するため、従来においては、この切
換えの都度、非点収差補正レンズ等の補正電流を
調節する必要があり、面倒であつた。
［発明の目的］
本発明は、このような従来の欠点を解決し、観
察モードを切換えても、非点収差補正レンズへの
供給電流を調節する必要の無い電子顕微鏡等の対
物レンズを提供することを目的としている。
察モードを切換えても、非点収差補正レンズへの
供給電流を調節する必要の無い電子顕微鏡等の対
物レンズを提供することを目的としている。
［発明の構成］
本発明はヨークと、該ヨークに取り付けられた
第１、第２、第３の磁極片と、該第１、第２の磁
極片間にレンズ磁界を形成するための第１の励磁
コイルと、該第１の励磁コイルに励磁電流を供給
するための第１の電源と、該第１の電源から第１
の励磁コイルに供給される励磁電流の向きを切換
えるための切換手段と、第２、第３の磁極片間に
第２のレンズ磁界を形成するための第２の励磁コ
イルと、該第２の励磁コイルに励磁電流を供給す
るための第２の電源とを具備し、第２の磁極片の
先端部の第３磁極片側頂面の位置が根元側の第３
磁極片側頂面の位置以上第１磁極片側にあり、且
つ第２の磁極片の先端部の第３磁極側傾斜面が光
軸に対して60゜乃至80゜を成すようにした対物レン
ズにおいて、該第２の磁極片の根元部分の厚さは
該第２の磁極片の先端部分の厚さより厚くされて
いると共に、該第２の磁極片の先端側の第３磁極
片側には環状の凹部が形成されていることを特徴
としている。
第１、第２、第３の磁極片と、該第１、第２の磁
極片間にレンズ磁界を形成するための第１の励磁
コイルと、該第１の励磁コイルに励磁電流を供給
するための第１の電源と、該第１の電源から第１
の励磁コイルに供給される励磁電流の向きを切換
えるための切換手段と、第２、第３の磁極片間に
第２のレンズ磁界を形成するための第２の励磁コ
イルと、該第２の励磁コイルに励磁電流を供給す
るための第２の電源とを具備し、第２の磁極片の
先端部の第３磁極片側頂面の位置が根元側の第３
磁極片側頂面の位置以上第１磁極片側にあり、且
つ第２の磁極片の先端部の第３磁極側傾斜面が光
軸に対して60゜乃至80゜を成すようにした対物レン
ズにおいて、該第２の磁極片の根元部分の厚さは
該第２の磁極片の先端部分の厚さより厚くされて
いると共に、該第２の磁極片の先端側の第３磁極
片側には環状の凹部が形成されていることを特徴
としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示すためのもの
で、図中、１はレンズ磁界を形成するための磁束
の通り道となるヨークであり、このヨーク１には
上磁極片２、中磁極片３、下磁極片４が取り付け
られている。５は上磁極片２と中磁極片３間（第
１ギヤツプG1）に第１のレンズ磁界を形成する
ための第１の励磁コイルであり、この第１の励磁
コイル５には第１の励磁電源６より切換器７を介
して励磁電流が供給される。この切換器７は、第
１の励磁コイル５に供給される励磁電流の向きを
切換えるためのものである。８は中磁極片３と下
磁極片４間（第２ギヤツプG2）に第２のレンズ
磁界を形成するための第２の励磁コイルであり、
この励磁コイル８には第２の励磁電源９により励
磁電流が供給される。１０，１１は非磁性材料で
形成されたスペーサーである。１２はトツプエン
トリー型の試料傾斜装置であり、この試料傾斜装
置により、試料１３は中磁極片３と下磁極片４の
間に傾斜して配置される。試料傾斜装置１２は略
円錐状をしており、この試料傾斜装置１２を挿入
するため、上中下各磁極片２，３，４の穴径b1，
b2，b3の間には、b1＞b2＞b3なる関係が成立して
いる。又、中磁極片３と下磁極片４とのギヤツプ
間隔をS2、下磁極片４の頂面の径をD3、中磁極
片３の下側傾斜面と下磁極片４の上側傾斜面の光
軸Ｃに対する傾斜角を各々θ2、θ3とすると、球面
収差係数Cs及び色収差係数Ccを小さくするため、
２個の磁極片を有する通常の電子レンズにおいて
公知である条件を適用して、b2＞S2、b2＞D3且
つ、50゜≦θ3≦70゜なる関係が成立している。更に
又、回折像収得の際の比較的細い収束電子線を得
るための条件である 60゜≦θ2≦80゜ ………（条件１） が満されるようになつている。又、振動の影響を
できるだけ押えるため、中磁極片３の先端部の下
側頂面T1はその根元側の下側頂面T2以上上側に
配置されている（条件２）。更に従来と異なり、
前記頂面T1の近傍には下磁極片４側に環状の凹
部Ｕが形成されており、前記条件（１）、（２）を
満した上で、中磁極片３の根元部の厚さがその先
端部の厚さより厚くなるように構成されている。
で、図中、１はレンズ磁界を形成するための磁束
の通り道となるヨークであり、このヨーク１には
上磁極片２、中磁極片３、下磁極片４が取り付け
られている。５は上磁極片２と中磁極片３間（第
１ギヤツプG1）に第１のレンズ磁界を形成する
ための第１の励磁コイルであり、この第１の励磁
コイル５には第１の励磁電源６より切換器７を介
して励磁電流が供給される。この切換器７は、第
１の励磁コイル５に供給される励磁電流の向きを
切換えるためのものである。８は中磁極片３と下
磁極片４間（第２ギヤツプG2）に第２のレンズ
磁界を形成するための第２の励磁コイルであり、
この励磁コイル８には第２の励磁電源９により励
磁電流が供給される。１０，１１は非磁性材料で
形成されたスペーサーである。１２はトツプエン
トリー型の試料傾斜装置であり、この試料傾斜装
置により、試料１３は中磁極片３と下磁極片４の
間に傾斜して配置される。試料傾斜装置１２は略
円錐状をしており、この試料傾斜装置１２を挿入
するため、上中下各磁極片２，３，４の穴径b1，
b2，b3の間には、b1＞b2＞b3なる関係が成立して
いる。又、中磁極片３と下磁極片４とのギヤツプ
間隔をS2、下磁極片４の頂面の径をD3、中磁極
片３の下側傾斜面と下磁極片４の上側傾斜面の光
軸Ｃに対する傾斜角を各々θ2、θ3とすると、球面
収差係数Cs及び色収差係数Ccを小さくするため、
２個の磁極片を有する通常の電子レンズにおいて
公知である条件を適用して、b2＞S2、b2＞D3且
つ、50゜≦θ3≦70゜なる関係が成立している。更に
又、回折像収得の際の比較的細い収束電子線を得
るための条件である 60゜≦θ2≦80゜ ………（条件１） が満されるようになつている。又、振動の影響を
できるだけ押えるため、中磁極片３の先端部の下
側頂面T1はその根元側の下側頂面T2以上上側に
配置されている（条件２）。更に従来と異なり、
前記頂面T1の近傍には下磁極片４側に環状の凹
部Ｕが形成されており、前記条件（１）、（２）を
満した上で、中磁極片３の根元部の厚さがその先
端部の厚さより厚くなるように構成されている。
上述した構成の対物レンズにおいて、加速電圧
を200KVに設定し、第１の電源６より第１の励
磁コイル５に励磁電流を供給して第１ギヤツプ
G1の励磁強度を第２ギヤツプG2と同極性で
500ATだけ励磁すると共に、第２の励磁電源９
より第２の励磁コイル８に励磁電流を供給して、
第２ギヤツプG2の励磁強度を10KATから変化さ
せた場合、試料を透過した電子線が結像条件を満
すための試料位置zpと試料面上で入射電子線が結
像されるための条件を満す位置zi（但し、zpとziと
は、下磁極片４の頂面を基準としている）がどの
ように変化するか電子計算機で計算したところ、
zpとziは第２図において、各々実線ｏ、ｉで示す
ように変化することが分つた。但し、第２図にお
いて、横軸は第２の励磁コイル８の励磁強度
（KAT）を示しており、縦軸は、zp又はziの位置
（mm）である。従つて、この図より第２の励磁コ
イル８を約12100ATに励磁した点Ａで示す状態
においては、zpとziが共に2.2mm位置Ｚになること
が明らかである。従つて、この励磁条件のもとで
は、第３図ａに示すように第１のギヤツプG1に
形成される第１のレンズL1に平行な電子線EBを
入射させると、電子線EBは第１のレンズL1と第
２のギヤツプG2に形成される第２のレンズL2に
より試料１３の表面に細く絞られて入射し、試料
１３を透過した電子線EBは、第２のギヤツプG2
に形成される第３のレンズL3により、遠方の中
間レンズの物面に結像するようにされ、試料１３
の収束電子線回折像を観察することができる。一
方、切換器７を切換えて第１の励磁コイル５の励
磁極性を第２の励磁コイル８の励磁極性と逆にす
ると、前述した試料を透過した電子線を結像させ
る条件を満す試料位置zpと、試料に入射する電子
線が試料面上で結像させる条件を満す位置ziは、
第２図において各々点線ｏ、ｉで示すように変化
することが分つた。この点線で示された特性か
ら、試料１３を前記Ｚの位置に配置した状態にお
いて、第２の励磁コイル８をわずかに100ATだ
け点Ａで示された励磁強度から増加させて、第２
図における点Ｂに対応した励磁強度（即ち略
12200AT）にすると、前述した結像条件だけが
満されることが分る。この場合には、電子線は第
３図ｂに示すように、前段の収束レンズ（図示せ
ず）により一旦絞られた後、前記第１のレンズ
L1により平行ビームにされて試料１３に入射し、
試料１３を透過した電子線EBは、前記第３のレ
ンズL3により遠方の中間レンズ（図示せず）の
物面に結像するようにされる。従つて、この点Ｂ
に対応する励磁においては、試料１３の透過像が
得られることが分る。次に、第１の励磁コイル５
の励磁強度を第２の励磁コイル８の励磁極性と同
一にした状態において、第２の励磁コイル８の励
磁強度を変化させた際のレンズL1，L2，L3の合
成の球面収差係数Cs及び色収差係数Ccについて、
同様に電子計算機による計算をしたところ、前述
したb2＞S2、b2＞D3且つ、50゜≦θ3≦70゜なる関係
があるため、レンズL1，L2，L3合成の球面収差
係数Cs及び色収差係数Ccの大きさは、各々第４
図において実線Cs、Ccで示すように、全領域に
おいて小さな値であることが分つた。第１の励磁
コイル５の励磁強度を第２の励磁コイル８と逆極
性で励磁した状態で、第２の励磁コイル８の励磁
強度を変化させた場合にも、この特性と略同様と
なり、実用上何等問題が無いことが分つた。
を200KVに設定し、第１の電源６より第１の励
磁コイル５に励磁電流を供給して第１ギヤツプ
G1の励磁強度を第２ギヤツプG2と同極性で
500ATだけ励磁すると共に、第２の励磁電源９
より第２の励磁コイル８に励磁電流を供給して、
第２ギヤツプG2の励磁強度を10KATから変化さ
せた場合、試料を透過した電子線が結像条件を満
すための試料位置zpと試料面上で入射電子線が結
像されるための条件を満す位置zi（但し、zpとziと
は、下磁極片４の頂面を基準としている）がどの
ように変化するか電子計算機で計算したところ、
zpとziは第２図において、各々実線ｏ、ｉで示す
ように変化することが分つた。但し、第２図にお
いて、横軸は第２の励磁コイル８の励磁強度
（KAT）を示しており、縦軸は、zp又はziの位置
（mm）である。従つて、この図より第２の励磁コ
イル８を約12100ATに励磁した点Ａで示す状態
においては、zpとziが共に2.2mm位置Ｚになること
が明らかである。従つて、この励磁条件のもとで
は、第３図ａに示すように第１のギヤツプG1に
形成される第１のレンズL1に平行な電子線EBを
入射させると、電子線EBは第１のレンズL1と第
２のギヤツプG2に形成される第２のレンズL2に
より試料１３の表面に細く絞られて入射し、試料
１３を透過した電子線EBは、第２のギヤツプG2
に形成される第３のレンズL3により、遠方の中
間レンズの物面に結像するようにされ、試料１３
の収束電子線回折像を観察することができる。一
方、切換器７を切換えて第１の励磁コイル５の励
磁極性を第２の励磁コイル８の励磁極性と逆にす
ると、前述した試料を透過した電子線を結像させ
る条件を満す試料位置zpと、試料に入射する電子
線が試料面上で結像させる条件を満す位置ziは、
第２図において各々点線ｏ、ｉで示すように変化
することが分つた。この点線で示された特性か
ら、試料１３を前記Ｚの位置に配置した状態にお
いて、第２の励磁コイル８をわずかに100ATだ
け点Ａで示された励磁強度から増加させて、第２
図における点Ｂに対応した励磁強度（即ち略
12200AT）にすると、前述した結像条件だけが
満されることが分る。この場合には、電子線は第
３図ｂに示すように、前段の収束レンズ（図示せ
ず）により一旦絞られた後、前記第１のレンズ
L1により平行ビームにされて試料１３に入射し、
試料１３を透過した電子線EBは、前記第３のレ
ンズL3により遠方の中間レンズ（図示せず）の
物面に結像するようにされる。従つて、この点Ｂ
に対応する励磁においては、試料１３の透過像が
得られることが分る。次に、第１の励磁コイル５
の励磁強度を第２の励磁コイル８の励磁極性と同
一にした状態において、第２の励磁コイル８の励
磁強度を変化させた際のレンズL1，L2，L3の合
成の球面収差係数Cs及び色収差係数Ccについて、
同様に電子計算機による計算をしたところ、前述
したb2＞S2、b2＞D3且つ、50゜≦θ3≦70゜なる関係
があるため、レンズL1，L2，L3合成の球面収差
係数Cs及び色収差係数Ccの大きさは、各々第４
図において実線Cs、Ccで示すように、全領域に
おいて小さな値であることが分つた。第１の励磁
コイル５の励磁強度を第２の励磁コイル８と逆極
性で励磁した状態で、第２の励磁コイル８の励磁
強度を変化させた場合にも、この特性と略同様と
なり、実用上何等問題が無いことが分つた。
従つて、第１の励磁コイル５を第２の励磁コイ
ル８と同極性で励磁し、第２の励磁電源９の出力
電流を調節することにより、第２の点Ａに対応し
た略12000ATにすれば、試料１３の集束電子線
回折像を得ることができ、切換器７を切換えて第
１の励磁コイル５を第２の励磁コイル８と逆極性
で励磁し、その状態において、第２の励磁コイル
８を第２図における点Ｂに対応した略12200AT
で励磁すれば、集束電子線回折像を得ていた試料
１３の微小領域と略同一領域を得ることができる
が、観察モードの切換えに伴つて、第２の励磁電
源の励磁電流を殆んど小幅に変化させるだけで良
い。
ル８と同極性で励磁し、第２の励磁電源９の出力
電流を調節することにより、第２の点Ａに対応し
た略12000ATにすれば、試料１３の集束電子線
回折像を得ることができ、切換器７を切換えて第
１の励磁コイル５を第２の励磁コイル８と逆極性
で励磁し、その状態において、第２の励磁コイル
８を第２図における点Ｂに対応した略12200AT
で励磁すれば、集束電子線回折像を得ていた試料
１３の微小領域と略同一領域を得ることができる
が、観察モードの切換えに伴つて、第２の励磁電
源の励磁電流を殆んど小幅に変化させるだけで良
い。
上述した実施例は、本発明の一実施例に過ぎ
ず、実施にあたつては、他の態様を取り得る。例
えば、上述した実施例においては、試料を上方か
ら挿入したが、光軸Ｃに垂直な方向から挿入する
ようにしても良い。
ず、実施にあたつては、他の態様を取り得る。例
えば、上述した実施例においては、試料を上方か
ら挿入したが、光軸Ｃに垂直な方向から挿入する
ようにしても良い。
［効 果］
上述したように、本発明の対物レンズにおいて
は、第１の励磁電源から第１の励磁コイルに供給
される励磁電流の向きを切換えて、観察モードを
切換える際に、第２の磁極片の根元部分が厚くさ
れているため、この部分で殆んど磁気飽和を起さ
ず、従つて、第２の励磁コイル供給する励磁電流
を100AT程度のわずかな量だけ変化させるだけ
で良いため、倍率が略一定に保たれるばかりでな
く、非点収差補正コイルへの供給伝流をこの切換
えの都度調節する必要が無くなり、操作を簡単に
することができる。
は、第１の励磁電源から第１の励磁コイルに供給
される励磁電流の向きを切換えて、観察モードを
切換える際に、第２の磁極片の根元部分が厚くさ
れているため、この部分で殆んど磁気飽和を起さ
ず、従つて、第２の励磁コイル供給する励磁電流
を100AT程度のわずかな量だけ変化させるだけ
で良いため、倍率が略一定に保たれるばかりでな
く、非点収差補正コイルへの供給伝流をこの切換
えの都度調節する必要が無くなり、操作を簡単に
することができる。
第１図は本発明の一実施例を示すための図、第
２図は試料を透過した電子線が結像するという条
件を満す試料のｚ方向位置zoと試料に入射する
電子線が試料面上で結像するという条件を満す位
置ziの変化を、第１のコイルの２通りの励磁極性
に対して第２の励磁コイルの励磁強度との関連に
おいて示すための図、第３図は収束電子線回折像
を得る際の光学図と、透過像を得る際の光学図を
示すための図、第４図は第２の励磁コイルの励磁
強度の変化に伴なう球面収差係数Cs、色収差係
数Ccの変化を示すための図である。 １：ヨーク、２：上磁極片、３：中磁極片、
４：下磁極片、５，８：励磁コイル、６，９：励
磁電源、７：切換器、１０，１１：スペーサー、
１２：試料傾斜装置、１３：試料、T1，T2：頂
面、Ｕ：凹部。
２図は試料を透過した電子線が結像するという条
件を満す試料のｚ方向位置zoと試料に入射する
電子線が試料面上で結像するという条件を満す位
置ziの変化を、第１のコイルの２通りの励磁極性
に対して第２の励磁コイルの励磁強度との関連に
おいて示すための図、第３図は収束電子線回折像
を得る際の光学図と、透過像を得る際の光学図を
示すための図、第４図は第２の励磁コイルの励磁
強度の変化に伴なう球面収差係数Cs、色収差係
数Ccの変化を示すための図である。 １：ヨーク、２：上磁極片、３：中磁極片、
４：下磁極片、５，８：励磁コイル、６，９：励
磁電源、７：切換器、１０，１１：スペーサー、
１２：試料傾斜装置、１３：試料、T1，T2：頂
面、Ｕ：凹部。
Claims (1)
- １ ヨークと、該ヨークに取り付けられた第１、
第２、第３の磁極片と、該第１、第２の磁極片間
にレンズ磁界を形成するための第１の励磁コイル
と、該第１の励磁コイルに励磁電流を供給するた
めの第１の電源と、該第１の電源から第１の励磁
コイルに供給される励磁電流の向きを切換えるた
めの切換手段と、第２、第３の磁極片間に第２の
レンズ磁界を形成するための第２の励磁コイル
と、該第２の励磁コイルに励磁電流を供給するた
めの第２の電源とを具備し、第２の磁極片の先端
部の第３磁極片側頂面の位置が根元側の第３磁極
片側頂面の位置以上第１磁極片側にあり、且つ第
２の磁極片の先端部の第３磁極側傾斜面が光軸に
対して60゜乃至80゜を成すようにした対物レンズに
おいて、該第２の磁極片の根元部分の厚さは該第
２の磁極片の先端部分の厚さより厚くされている
と共に、該第２の磁極片の先端側の第３磁極片側
には環状の凹部が形成されていることを特徴とす
る電子顕微鏡等の対物レンズ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58187392A JPS6079653A (ja) | 1983-10-06 | 1983-10-06 | 電子顕微鏡等の対物レンズ |
| US06/584,712 US4585942A (en) | 1983-03-17 | 1984-02-29 | Transmission electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58187392A JPS6079653A (ja) | 1983-10-06 | 1983-10-06 | 電子顕微鏡等の対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6079653A JPS6079653A (ja) | 1985-05-07 |
| JPH02816B2 true JPH02816B2 (ja) | 1990-01-09 |
Family
ID=16205219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58187392A Granted JPS6079653A (ja) | 1983-03-17 | 1983-10-06 | 電子顕微鏡等の対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6079653A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2644930B1 (fr) * | 1989-03-21 | 1996-04-26 | Cameca | Lentille electromagnetique composite a focale variable |
| US6452175B1 (en) * | 1999-04-15 | 2002-09-17 | Applied Materials, Inc. | Column for charged particle beam device |
| WO2018189850A1 (ja) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
-
1983
- 1983-10-06 JP JP58187392A patent/JPS6079653A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6079653A (ja) | 1985-05-07 |
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