JPH028257B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH028257B2 JPH028257B2 JP54041285A JP4128579A JPH028257B2 JP H028257 B2 JPH028257 B2 JP H028257B2 JP 54041285 A JP54041285 A JP 54041285A JP 4128579 A JP4128579 A JP 4128579A JP H028257 B2 JPH028257 B2 JP H028257B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- defects
- signal
- rank
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は例えばシート材などの被検査部材の表
面の欠陥を検査する表面検査装置にかかり、特に
欠陥の軽重ランク付けを目視検査に近づけるため
の信号処理法に関するものである。
面の欠陥を検査する表面検査装置にかかり、特に
欠陥の軽重ランク付けを目視検査に近づけるため
の信号処理法に関するものである。
紙・布・金属などのシート材表面に発生する欠
陥の検査技術として光を利用した機械的な検査技
術が実用に供されている。しかしながらこのよう
な機械的な欠陥検査技術において認識する欠陥と
目視検査で認識する欠陥とは一致しないことが多
い。すなわち機械的な検査では欠陥が変色や大き
な凹凸を伴つていれば非常に小さな欠陥でも大信
号を発するのに対し、目視では一定以上の面積が
無ければどのように大きな変色や凹凸が発生して
いても欠陥として認識できない。またその逆に非
常に軽度の変色でも大きな面積を有していれば目
視検査で良く認識できるのに対し、機械的な検査
機では軽度変色に相当する微少信号しか得られな
い。第１図は従来の機械的検査技術における信号
の利用状況を示すための概念図で、１はシート材
２は欠陥、Ｗは欠陥幅、m1〜m5は各々欠陥にか
かる走査線であり、m1〜m5の各走査線に対して
得られる欠陥信号の波高値をV1〜V5（図示せず）
とする。第１図に示されるような欠陥に対しm1
〜m5の走査線で読み取られる情報は、欠陥幅Ｗ、
欠陥発生のあつた走査線数としての欠陥長さ、お
よびV1〜V5までの信号波高値である。しかしな
がら欠陥信号の波高値は欠陥長さ全域に対して
刻々と変化するアナログ信号であり、その処理を
おこなうのは非常に困難なため、その最大値をも
つて欠陥を代表することが多い。したがつて従来
の機械的欠陥検査機においては、欠陥の有無、欠
陥幅、欠陥長、欠陥信号の最大値を計測するにと
どまつていた。しかしながら目視の検査では微妙
な欠陥部の反射率変化が欠陥の軽重を決定する重
要なパラメーターとなつているため、実際には多
種多様の欠陥が発生する該シート材の欠陥検査を
目視に近い条件で実施することが困難であり、機
械的な検査器を目視検査の代表としてラインに適
用する上で問題となつていた。
陥の検査技術として光を利用した機械的な検査技
術が実用に供されている。しかしながらこのよう
な機械的な欠陥検査技術において認識する欠陥と
目視検査で認識する欠陥とは一致しないことが多
い。すなわち機械的な検査では欠陥が変色や大き
な凹凸を伴つていれば非常に小さな欠陥でも大信
号を発するのに対し、目視では一定以上の面積が
無ければどのように大きな変色や凹凸が発生して
いても欠陥として認識できない。またその逆に非
常に軽度の変色でも大きな面積を有していれば目
視検査で良く認識できるのに対し、機械的な検査
機では軽度変色に相当する微少信号しか得られな
い。第１図は従来の機械的検査技術における信号
の利用状況を示すための概念図で、１はシート材
２は欠陥、Ｗは欠陥幅、m1〜m5は各々欠陥にか
かる走査線であり、m1〜m5の各走査線に対して
得られる欠陥信号の波高値をV1〜V5（図示せず）
とする。第１図に示されるような欠陥に対しm1
〜m5の走査線で読み取られる情報は、欠陥幅Ｗ、
欠陥発生のあつた走査線数としての欠陥長さ、お
よびV1〜V5までの信号波高値である。しかしな
がら欠陥信号の波高値は欠陥長さ全域に対して
刻々と変化するアナログ信号であり、その処理を
おこなうのは非常に困難なため、その最大値をも
つて欠陥を代表することが多い。したがつて従来
の機械的欠陥検査機においては、欠陥の有無、欠
陥幅、欠陥長、欠陥信号の最大値を計測するにと
どまつていた。しかしながら目視の検査では微妙
な欠陥部の反射率変化が欠陥の軽重を決定する重
要なパラメーターとなつているため、実際には多
種多様の欠陥が発生する該シート材の欠陥検査を
目視に近い条件で実施することが困難であり、機
械的な検査器を目視検査の代表としてラインに適
用する上で問題となつていた。
本発明はかかる現状に対してなされたもので、
欠陥信号の波高値を大きく複数のランクに区分し
各区分毎の欠陥信号の有無を各走査線毎において
重みをつけて集計すると共に、集計結果を欠陥の
発生していた走査線数で割ることにより、欠陥の
症状評価を統計的に実施して、目視によりマクロ
的に捕えた欠陥の評価に近い評価を機械的な欠陥
検査機でも実施できるようにしたものである。
欠陥信号の波高値を大きく複数のランクに区分し
各区分毎の欠陥信号の有無を各走査線毎において
重みをつけて集計すると共に、集計結果を欠陥の
発生していた走査線数で割ることにより、欠陥の
症状評価を統計的に実施して、目視によりマクロ
的に捕えた欠陥の評価に近い評価を機械的な欠陥
検査機でも実施できるようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を図に従つて説明す
る。なお説明の都合上、欠陥の症状区分は大きく
重、中、軽の各欠陥に区分するものとする。第２
図は本発明にかかり統計的信号処理を実施するた
めの回路実施例である。同図において、９は欠陥
信号、１０，１１，１２は各々異つた参照電圧
v1，v2，v3を有する波形整形器、１３，１４，１
５は各々パルスカウンター１６は各パルスカウン
ターの出力を補正すると共に各々に重みをつけて
和を計算する回路、１９は欠陥発生走査線数、１
７は１６の回路出力を受けてそのデーターを１９
の欠陥発生数で割る回路、１８は１７の割り算回
路の出力を受けて、欠陥症状を決定する回路、２
０，２１，２２は各々重・中・軽の欠陥症状出
力、v4，v5は欠陥症状を決定するための基準入
力、N1，N2，N3は重みの評価値である。なお本
回路の動作説明にあたり説明の都合上欠陥はm1
〜m5の５本の走査線に対して発生したものとし、
各走査線に対して発生した信号の波高値をV1〜
V5とする。検査機で発生した欠陥信号９は波形
整形器に入力される。１０は重欠陥、１１は中欠
陥、１２は軽欠陥を検出するための波形整形器
で、欠陥信号９の波高値がv1，v2，v3の各参照電
圧を越えると該当する波形整形器の出力にパルス
信号が発生し、各々１３，１４，１５のカウンタ
ーでパルス数が計測される。すなわちV1〜V5ま
での各欠陥信号の波高値に応じて、重、中、軽の
各欠陥数が走査線毎に１３〜１５のカウンターに
計数される。ところで１３のカウンターに１カウ
ントのパルスが計数されるとき、同一信号で１
４，１５のカウンターも１カウント計数されてい
る。これは信号の大小関係と波形整形器の性質か
ら明らかなことで、したがつて正確な重・中・軽
の欠陥数は、１４のカウンター計数値から１３の
カウンター計数値を差し引いたものが中欠陥数、
同じく１５のカウンター計数値から１４のカウン
ター計数値を差し引いたものが軽欠陥数となる。
１６の回路は該演算を予めおこなうと共に、（重
欠陥数×重みN1）＋（中欠陥数×重みN2）＋（軽欠
陥数×重みN3）の演算をする。１６の回路によ
る演算出力は１７の回路で、欠陥発生走査線数入
力１９で割られる。１８の回路は１７の回路で演
算された結果を受けてその値が予め設定されてい
るv4以上なら重欠陥として信号出力２０、v4〜v5
なら中欠陥として信号出力２１、v5以下なら軽欠
陥として信号出力２２を発生する。かくして第２
図の信号処理回路では各走査線毎の欠陥信号をま
ず重・中・軽の症状に分類した後、各症状別に欠
陥数を計数し重みをつけて走査線数で平均化する
という演算を実施していることになるが、人間の
目視検査を考えた場合、反射率変化の大きい欠陥
（重欠陥）が連続欠陥の中に存在すればその部分
の長さや連続欠陥中の発生割合などが欠陥の症状
を決定するのに重要な要因であり、たとえ重欠陥
相当の反射率変化があつたとしても連続欠陥中の
微少部位にしか該重欠陥が存在しない場合は、む
しろ平均的な欠陥症状として平均的な欠陥部の反
射率や欠陥長さ、欠陥幅で該当する連続欠陥の評
価をしていることより、本発明による信号処理方
式で、より目視に近い欠陥の症状評価ができるこ
とはいうまでもない。
る。なお説明の都合上、欠陥の症状区分は大きく
重、中、軽の各欠陥に区分するものとする。第２
図は本発明にかかり統計的信号処理を実施するた
めの回路実施例である。同図において、９は欠陥
信号、１０，１１，１２は各々異つた参照電圧
v1，v2，v3を有する波形整形器、１３，１４，１
５は各々パルスカウンター１６は各パルスカウン
ターの出力を補正すると共に各々に重みをつけて
和を計算する回路、１９は欠陥発生走査線数、１
７は１６の回路出力を受けてそのデーターを１９
の欠陥発生数で割る回路、１８は１７の割り算回
路の出力を受けて、欠陥症状を決定する回路、２
０，２１，２２は各々重・中・軽の欠陥症状出
力、v4，v5は欠陥症状を決定するための基準入
力、N1，N2，N3は重みの評価値である。なお本
回路の動作説明にあたり説明の都合上欠陥はm1
〜m5の５本の走査線に対して発生したものとし、
各走査線に対して発生した信号の波高値をV1〜
V5とする。検査機で発生した欠陥信号９は波形
整形器に入力される。１０は重欠陥、１１は中欠
陥、１２は軽欠陥を検出するための波形整形器
で、欠陥信号９の波高値がv1，v2，v3の各参照電
圧を越えると該当する波形整形器の出力にパルス
信号が発生し、各々１３，１４，１５のカウンタ
ーでパルス数が計測される。すなわちV1〜V5ま
での各欠陥信号の波高値に応じて、重、中、軽の
各欠陥数が走査線毎に１３〜１５のカウンターに
計数される。ところで１３のカウンターに１カウ
ントのパルスが計数されるとき、同一信号で１
４，１５のカウンターも１カウント計数されてい
る。これは信号の大小関係と波形整形器の性質か
ら明らかなことで、したがつて正確な重・中・軽
の欠陥数は、１４のカウンター計数値から１３の
カウンター計数値を差し引いたものが中欠陥数、
同じく１５のカウンター計数値から１４のカウン
ター計数値を差し引いたものが軽欠陥数となる。
１６の回路は該演算を予めおこなうと共に、（重
欠陥数×重みN1）＋（中欠陥数×重みN2）＋（軽欠
陥数×重みN3）の演算をする。１６の回路によ
る演算出力は１７の回路で、欠陥発生走査線数入
力１９で割られる。１８の回路は１７の回路で演
算された結果を受けてその値が予め設定されてい
るv4以上なら重欠陥として信号出力２０、v4〜v5
なら中欠陥として信号出力２１、v5以下なら軽欠
陥として信号出力２２を発生する。かくして第２
図の信号処理回路では各走査線毎の欠陥信号をま
ず重・中・軽の症状に分類した後、各症状別に欠
陥数を計数し重みをつけて走査線数で平均化する
という演算を実施していることになるが、人間の
目視検査を考えた場合、反射率変化の大きい欠陥
（重欠陥）が連続欠陥の中に存在すればその部分
の長さや連続欠陥中の発生割合などが欠陥の症状
を決定するのに重要な要因であり、たとえ重欠陥
相当の反射率変化があつたとしても連続欠陥中の
微少部位にしか該重欠陥が存在しない場合は、む
しろ平均的な欠陥症状として平均的な欠陥部の反
射率や欠陥長さ、欠陥幅で該当する連続欠陥の評
価をしていることより、本発明による信号処理方
式で、より目視に近い欠陥の症状評価ができるこ
とはいうまでもない。
なお説明の都合上、上記した説明では欠陥の症
状を重・中・軽の３つに大別する場合について記
したが、欠陥の症状区分はこの３種に限定される
ものでは無く自由に選択できるものであることは
いうまでも無い。
状を重・中・軽の３つに大別する場合について記
したが、欠陥の症状区分はこの３種に限定される
ものでは無く自由に選択できるものであることは
いうまでも無い。
以上のように、この発明によれば１つの欠陥全
体を各走査線毎に信号波高値をランク付けし、重
みを付加しながら累計し欠陥長さで割ることによ
り、欠陥の症状を統計的に処理し目視に近い評価
ができるなど、実用上の利益が期待できるもので
ある。
体を各走査線毎に信号波高値をランク付けし、重
みを付加しながら累計し欠陥長さで割ることによ
り、欠陥の症状を統計的に処理し目視に近い評価
ができるなど、実用上の利益が期待できるもので
ある。
第１図は機械的な検査機で、得られる欠陥情報
を示した概念図、第２図は本発明にかかる装置の
信号処理を示すためのブロツク図である。 図中１はシート材、２は欠陥、９は欠陥信号、
１０，１１，１２は波形整形器、１３，１４，１
５はパルスカウンター、１６は補正演算回路、１
７は割算器、１８は欠陥のランク付け回路、１９
は欠陥発生走査線数、２０，２１，２２はランク
付け欠陥信号、m1〜m5は走査線、V1〜V5は欠陥
信号波高値、v1〜v5は参照電圧、N1〜N3は重み
評価値、Ｗは欠陥幅である。なお図中、同一符号
は同一または相当部分を示す。
を示した概念図、第２図は本発明にかかる装置の
信号処理を示すためのブロツク図である。 図中１はシート材、２は欠陥、９は欠陥信号、
１０，１１，１２は波形整形器、１３，１４，１
５はパルスカウンター、１６は補正演算回路、１
７は割算器、１８は欠陥のランク付け回路、１９
は欠陥発生走査線数、２０，２１，２２はランク
付け欠陥信号、m1〜m5は走査線、V1〜V5は欠陥
信号波高値、v1〜v5は参照電圧、N1〜N3は重み
評価値、Ｗは欠陥幅である。なお図中、同一符号
は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- １ 被検査部材表面を走査して得られた欠陥信号
を所定波高値毎にランク付けし、各ランク毎の欠
陥信号数を計数する計数手段、この計数手段によ
る計数値を各ランク毎に所定重みを付けて集計す
る集計手段、この集計手段による集計結果値を欠
陥発生のあつた走査数で割る割算器、および上記
割算器の出力から欠陥全体のランクを決定するラ
ンク決定回路を備え、欠陥からの信号を欠陥全体
にわたつて統計的に評価するようにしたことを特
徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4128579A JPS55132936A (en) | 1979-04-04 | 1979-04-04 | Surface inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4128579A JPS55132936A (en) | 1979-04-04 | 1979-04-04 | Surface inspection apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55132936A JPS55132936A (en) | 1980-10-16 |
| JPH028257B2 true JPH028257B2 (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=12604165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4128579A Granted JPS55132936A (en) | 1979-04-04 | 1979-04-04 | Surface inspection apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55132936A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0711050U (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-14 | 村田機械株式会社 | 原稿のキャリアシート |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56114747A (en) * | 1980-02-14 | 1981-09-09 | Nippon Steel Corp | Surface inspection device |
| JPH01206241A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 欠陥検出方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5384793A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Crack detecting method by television camera and apparatus for carrying out the method |
-
1979
- 1979-04-04 JP JP4128579A patent/JPS55132936A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0711050U (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-14 | 村田機械株式会社 | 原稿のキャリアシート |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55132936A (en) | 1980-10-16 |
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