JPS6170473A - 波形解析装置 - Google Patents

波形解析装置

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JPS6170473A
JPS6170473A JP19239284A JP19239284A JPS6170473A JP S6170473 A JPS6170473 A JP S6170473A JP 19239284 A JP19239284 A JP 19239284A JP 19239284 A JP19239284 A JP 19239284A JP S6170473 A JPS6170473 A JP S6170473A
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JP
Japan
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waveform
product
high quality
waveforms
defective
Prior art date
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JP19239284A
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English (en)
Inventor
Shigeru Ebihara
茂 海老原
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Individual
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Publication date
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電気部品、機械装置などが有する固有の電気信
号波形を解析し、これら機器の良否判定を行う装置に関
する。
従来、波形解析装置は電気信号波形の記憶、目視による
観測、波形信号の演算が主であった。
波形を一度記憶装置に読込んだ後、その波形のベクトル
演算として、7−リエ演算、徽・積分演算、相関演算な
どを行い、これら演算結果の値を表示するとともに、原
波形及び演算後の波形を表示・解析するものであった。
本発明は、製品検査に応用できるように、複数の良品と
判定された製品の波形を読み込み、平均化した後、基準
波形とし、その後、被測定製品の波形を読み込み、基準
波形との波形の一致度計算、尖頭値計算、周波数成分の
計算、実効値計算などの比較演算をすることにより、単
なる波形データの計算だけでなく、波形解析後、製品の
良否判定までを高速で正確に判定できる方法を提供する
ものである。
以下図面を参照して、本発明の一実施例を説明する。I
:fS1図は本発明の機能ブロック図であり、予じめ良
品と判断された製品の特性を示す電気信号波形(rjS
2図)を約30データ分、切換スイッチ(3)、増巾器
(4)、を介しアナログ波形をA/D変換器(5)に入
力する。
A/D変換器(5)は一定時間間隔(約100 ns〜
1秒)毎にディノタル信号に変換しコンピュータ(6)
に入力する。コンピュータ(6)は、これら良品電気信
号波形を順次、良品波形読込RAM(12)に記憶する
。良品データの取込が完了した時点でコンピュータ(6
)は良品波形読込RAM(12)から、第2図に示す同
一時刻(例えば1+)における約30データの値を加算
した後、加算したデータの数で除算した単純平均値を求
め、各時刻毎の値に上限リミット値設定スイッチ(15
)の値を加えたものを上限基準波形として基準波形RA
M(13)に格納し、また各時刻毎の値に下限リミット
値設定スイッチ(16)の値を差し引いたらのを下限基
準波形RAM(14)に格納する。同じように尖頭値判
定(第4図)は波形掃引開始後の最初の波形尖頭値の約
30データの平均値に、尖頭値上下限設定スイッチ(1
7)から読込んだ値を加えたものを上限尖頭値、差し引
いたものを下限尖頭値として基準波形RAM(13)に
格納する。ゼロクロスまでの時間判定(第5図)は波形
掃引開始後の最初に波形の値がゼロになるまでの時間に
、ゼロクロスまでの時間上下限設定スイッチ(18)の
値を加えたものを上限時間、差し引いたものを下限時間
として、基準波形RAM(13)に格納する。波形実効
値判定(第6図)は、波形掃引後の全波形の面積分は、
(PtS6図)(b)にお(するS++ S2+S3+
 S4+ SSで求まり、この積分値に、波形実効値上
下限設定スイッチ(19)の値を加えたものを上限実効
値、差し引いたものを下限実効値として基準波形RAM
(13)に格納する。このようにしてできた基準波形に
対し、被検査対象である製品の特性を示す被測定電気信
号波形(2)を切換六インチ(3)、増巾器(4)を介
し、アナログ波形をA/D変換器(5)に入力する。A
/D変換器(5)は基準波形を作るときに読込んだ良品
電気信号波形(1)と同じ時間間隔でディノタル信号に
変換し、コンピュータ(6)に入力する。コンピュータ
(6)は、これらディジタル化された被測定電気信号波
形(2)を被測定波形RAM(14)に記憶するととも
に、順次、基準波形RAM(13)に格納されている上
限基準波形(第3図)(a)(1)、下限基準波形(f
fi3図>(a)(3)と比較し、被測定電気信号波形
(2)がこれら上、下限値を超えた時、その時点の波形
を不良と判定する。
この不良判定が連続してnヶ発生するか、不良判定総数
がmヶ以上の場合この被測定製品は特性波形不良と判定
される。同じように、尖頭値1゛1定は被測定電気信号
波形(2)を同一手段により被測定波形RAM(14)
に格納された後、被測定波形(2)の掃引開始後の最初
の尖頭値と、基準波形RAM(13)に格納された上、
下限尖頭値を比較し、一定数以上が、上、下限値を超え
た場合、被測定製品は尖頭値不良と判定される。ゼロク
ロスまでの時間判定は同一手段により被測定波形RAM
(14)に格納された被測定波形(2)の掃引開始後の
最初に波形の値がゼロになるまでの時間と上、下限時間
を比較し一定数以上が、上、下限値を超えた場合、被測
定製品はゼロクロスまでの時間不良と判定される。波形
実効値判定は同一手段により被測定波形RAM(14)
に格納された被測定波形(2)の掃引開始後の全波形の
面積分の総和と上、下限実効値を比較し、一定数以上が
上、下限値を超えた場合、被測定製品は波形実効値不良
と判定゛される。これら不良と判定された、特性波形不
良、尖頭値不良、ゼロクロスまでの時間不良、波形実効
値不良の一つでも不良判定が存在すれば、被測定製品は
不良と判定される。
本発明の変形例として、波形掃引方法では、横細に電流
をとり縦紬に電圧をとるX−Y掃引の波形特性検査や、
演算方法に、相関分析、最小自乗法による類似度計算、
波形の周波数解析をイテう高速7−リエ演算などを入れ
ることも可能である。
また、特性波形1、尖頭値、ゼロクロスまでの時間、波
形実効値などの機能を個別にON / OFFできる機
能選択スイッチを設けることもできる。尖頭値、ゼロク
ロスまでの時間の判定に関しでは、波形掃引後、最初の
尖頭値または最初のゼロクロスするまでの時間以外のデ
ータを用いた測定を行うことも可能である。コンピュー
タを使わずに電子回路を同一目的のために使用しても、
同じ機能を発渾することができる。
以上のべたように、本発明によれば製品特性波形を、各
種手段により高速かつ、正確に判断することができ、効
果的な製品特性検査方法を提供するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の構成を示す8!能ジブロック、fj
S2図は、製品特性を示す電気信号波形、ptS3図は
、特性波形上下限+7 ミツト判定説明図であり(、)
は基準波形であり、かつ良品判定状態を示し、(b)は
良品波形に小さな雑音が乗った状態、(c)、(d)は
特性波形不良を示す、第3図は尖頭値判定で(a)は基
準波形と良品判定状態、(b)、(c)は尖頭値不良を
示す、flS5図はゼロクロスまでの時間判定で(a)
は基準波形と良品判定状態、(b)、(c)はゼロクロ
スまでの時間判定不良を示す、第6図は波形実効値判定
で(a)は基準波形と、良品判定状態、(b)、(c)
は波形実効値判定不良を示す、第7図はコンビj1.−
タでの判定処理機能を表すプログ2ムの70−チャート
図である。 敷Aゆ人  オ不入金ン上 アイテンフチズテへ侮A源
  べ・ 手続補正f(方式) 昭和60年2月26日 特FF庁11!殿             昭和60
年2月25日差出工、 事件の表示  昭和59年特許
g第192392号2、 発明の名称  波形解析装Z 3、補正をする者 電話(045)481−2022 株式会社 フイテγり システム内 4、 代理人 氏名(名称)               @5、補
正命令の日付(発送日)  昭和60年1月29日6、
補正の対象 (1)H書の出願人の印鑑の欄 (2) 明la嘗の図面の簡単な説明の欄7、 補正の
内容

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 時間とともに変化する電圧、電流などの信号波形をA/
    D変換器を介してコンピュータに読込んだ後、記憶、演
    算、判定する機能を有する装置を用いて、予じめ良品と
    解っている複数個の製品の特性波形を読込んだ後、これ
    ら波形の平均値を演算し、基準波形とする。基準波形を
    中心に上下限の良品限界範囲波形の設定が、波形掃引開
    始時は狭く、時間経過とともに同じか、もしくは広く設
    定できる手段と、波形掃引後、最初の波形の尖頭値の上
    下限の良品限度範囲を決める手段と、波形掃引後、最初
    にゼロクロスするまでの時間の上下限の良品限度範囲を
    決める手段と、掃引全波形を面積分した値を実効値とす
    る実効値の上下限の良品限度範囲の設定ができるととも
    に、各機能別に上下限良品限度範囲を超えた信号を計数
    する装置を設け、一定数に達した場合不良と判定するこ
    とができるとともに、これら機能を使用するか否かの選
    択スイッチが設けられ、機能選択された判定結果の出力
    の、どれか一つにでも不良判定信号が存在すれば、被測
    定製品を不良と判定する方法。
JP19239284A 1984-09-13 1984-09-13 波形解析装置 Pending JPS6170473A (ja)

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JP19239284A JPS6170473A (ja) 1984-09-13 1984-09-13 波形解析装置

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JP19239284A JPS6170473A (ja) 1984-09-13 1984-09-13 波形解析装置

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JP19239284A Pending JPS6170473A (ja) 1984-09-13 1984-09-13 波形解析装置

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JP (1) JPS6170473A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6466577A (en) * 1987-09-07 1989-03-13 Nec Yamaguchi Ltd Apparatus for testing semiconductor device
JPH01187469A (ja) * 1987-10-30 1989-07-26 Teledyne Inc 漏れ電流試験装置
JPH0378422A (ja) * 1989-08-17 1991-04-03 Kyushu Electric Power Co Inc しゃ断器,開閉器の動作検出装置
JPH0378420A (ja) * 1989-08-17 1991-04-03 Kyushu Electric Power Co Inc 配電線の異常状態監視装置
US12404950B2 (en) 2021-09-30 2025-09-02 Fujikoki Corporation Electric valve control device, electric valve device, and method for controlling electric valve

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