JPH0286829A

JPH0286829A - 液体処理装置

Info

Publication number: JPH0286829A
Application number: JP1174025A
Authority: JP
Inventors: Seikichi Saito; 斉藤　誠吉
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-07-07
Filing date: 1989-07-07
Publication date: 1990-03-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は液体処理装置、特にフォトレジストを一定温度
で注入するシステム、とりわけ固体撮像素子のウェーハ
へのゼラチン塗布に好適なフォトレジスト定温注入シス
テムに関するものである。

一般に固体撮像素子には、色分解フィルタとして一種の
フォトレジストであるゼラチンが使用されており、この
ゼラチンはウェーハ上に形成された検索上に回転塗布法
により被着形成される。そして、このゼラチンは、約２
５℃程度の常温でゲル状態を呈しているため、約２５°
Ｃ以上に温め、ゾル状態にしておかなければ塗布できな
い。さらにゼラチンは、またウェーハも塗布膜厚が均一
で膜欠点もない良好な塗布を行なうためには所定の温度
に温調する必要がある。

これらの条件を踏まれた従来のゼラチン塗布システムを
第１図に示す。同図において、従来のシステムは、恒温
槽１．ヒータ２．温度センサ３゜攪拌器４および温度調
節器５により恒温に温調される液体６に、ゼラチン７の
収容容器８が入れられた加圧容器９を浸け、ゼラチン７
をゾル状態にしておくとともに、一定温度に保温させる
。また恒温槽１から塗布室１ｏまでの注入系を内部に注
入管１１が通された弗素樹脂製チューブ１２と、この外
部を覆った断熱材１３と、これとチューブ１２との間に
入れられたヒータ１４および温度センサ１５と、温度調
節器１６とにより温調し、ゼラチン７を一定温度で吐出
させる。さらに図示しないファンと、ヒータおよびフィ
ルタとからなるファンヒータユニットとにより、温風１
７をダクト１８を通じて塗布室１０へ送り込み、回転す
るように構成されているチャック１９に吸着されたウェ
ーハ２０を一定温度に加熱するようになっている。なお
、２１は廃液回収容器、２２はウェーハ２０の回転時に
発生するゼラチン飛沫吸引用ブロア、２３はゼラチンを
吐出させるための所定の圧力に制御されたＮＺガス、２
４はフィルタ、２５．２６は注入管１１の開閉、吐出側
ゼラチンのサックバック用ベローズである。

このように構成された従来システムは、ゼラチン注入系
の温調方法に問題があった。すなわち、温度調節器５の
設定温度とゼラチン７の吐出温度とが異なるため、吐出
液温調整が不便であった。

また塗布室１０内のゼラチン温度を調節できないという
欠点もあった。さらにこのため、ウェーハ加熱用の温風
を塗布室１０へ送り込まなければ注入管１１の末端から
ゼラチンが凝固してくる問題もあった。

したがって本発明は、上述した従来技術の問題的とする
ところは、注入系の末端まで温調できるフォトレジスト
定温注入システムを提供することにある。

このような目的を達成するために本発明は、注入系に温
調手段を設けたものである。

以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

第２図は本発明によるフォトレジスト定温注入システム
の一例を示す断面構成図であり、第１図と同符号は同一
要素となるのでその説明は省略する。第２図において、
恒温槽１から塗布室１ｏを経由し、再び恒温槽１までポ
ンプ２７を通してチューブ２８が配管されている。そし
て、このチューブ２８の内部にはゼラチン７の注入管１
１が塗布室１０まで通されている。また塗布室１ｏ内の
ゼラチン吐出部分は第３図に要部断面図で示すような構
造を有している。すなわち、第３図において、２９はコ
ネクタであり、このコネクタ２９には前記チューブ２８
が通常用いられているチュー入管１１の先端はフランジ
加工され、コネクタ２９の一端にねじ込まれるノズル３
１により、コネクタ２９に締付固定されている。なお、
３２はシール材である。

このように配管された注入系において、ポンプ２７を作
動させることにより、恒温槽１内に液体６が注入管１１
のまわりを包むようにしてチューブ２８とコネクタ２９
とを通って循環する。一方、液体６は前述したように恒
温となるように常時加熱温調されている。したがって、
この定温注入システムによれば、収入容器８内のゼラチ
ン７の温度を一定に保つと同時に注入管１１内のゼラチ
ン温度も一定に保つことが出来る。また、液体６の温度
はそのまま収容容器８および注入管１１内のゼラチン温
度となるため、温度調節器５の設定温度とゼラチン吐出
温度とが同一となる。

また、処理液の注入管１１と容器８とを同じ液体６で温
度調節しているので、或は、それらを共通の温度制御系
２．３及び５で温度調整しているので、温度制御性が良
い。ポンプ２７は注入管が内側に挿入されていないチュ
ーブ２８の部分に取り付けられているため、取り付けが
簡単である。

また、チューブ２８が注入管１１を包含する二重管構成
からチューブ２８だけの単管にする位置は、第２図、第
３図に示すように、チューブ２８の端部でなく、チュー
ブ２８の途中であり、チューブ２８をＴ字状に分岐させ
て二重管から単管にしているので構造が簡単であり、ま
た、処理液を被加工物１こ供給するときの邪魔になるこ
ともない。

以上説明したように本発明によれば、温度調節器の設定
温変通りに制御された液体で、収容容器内から吐出部ま
でにわたってゼラチン温調することができるので、吐出
液温度調整が簡単となり、かつ吐出部先端からのゼラチ
ンの凝固が全く起らなくなるなどの極めて優れた効果が
得られる。

【図面の簡単な説明】第１図は従来のゼラチン塗布システムの一例を説明する
ための要部断面構成図、第２図は本発明に係わるゼラチ
ン塗布システムの一例を説明するための要部断面構成図
、第３図は第２図のゼラチン吐出部分を示す断面構成図
である。１・・・恒温槽、２・・・ヒータ、３・・・温度センサ
、４・・・攪拌器、５・・・温度調節器、６・・・液体
、７・・・ゼラチン、８・・・収容容器、９・・・加圧
容器、１０・・・塗布室、１１・・・注入管、１２・・
・チューブ、１３・・・断熱材、１４・・・ヒータ、１
５・・・温度センサ、１６・・・温度調節器、１７・・
・温風、１８・・・ダクト、１９・・・チャック、２０
・・・ウェーハ、２１・・・廃液回収容器、２２・・・
ブロア、２３・・・Ｎ２ガス、２４・・・フィルタ、２
５．２６・・・ベローズ、２７・・・ポンプ、２８・・
・チューブ、２９・・・コネクタ、３ｏ・・・チューブ
継手、３１・・・ノズル、３２・・・シール材。

Claims

【特許請求の範囲】

１、被加工物に処理液を供給するための処理液供給管と
、温度調整用の流体を上記処理液供給管の周りに供給す
る流体供給手段とを具備して成り、上記処理液と上記流
体の流動方向が逆となるように構成されたことを特徴と
する液体処理装置。