JPS599654A - フオトレジスト定温注入システム - Google Patents
フオトレジスト定温注入システムInfo
- Publication number
- JPS599654A JPS599654A JP57118586A JP11858682A JPS599654A JP S599654 A JPS599654 A JP S599654A JP 57118586 A JP57118586 A JP 57118586A JP 11858682 A JP11858682 A JP 11858682A JP S599654 A JPS599654 A JP S599654A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- photoresist
- liquid
- tube
- gelatin
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はフォトレジストを一定温度で注入するシステム
、特に固体撮像素子のウェーハへのゼラチン塗布に好適
なフォトレジスト定温注入システムに関するものである
。
、特に固体撮像素子のウェーハへのゼラチン塗布に好適
なフォトレジスト定温注入システムに関するものである
。
一般に固体撮１永素子には、色分解フィルタとして一補
のフォトレジストであるゼラチンが使用されており、こ
のセラチンはウェーハ上に形成された絵素上に回転塗布
法により核層形成される。そして、このゼラチンは、約
２５８Ｃ柱度の常温でゲル状態を呈しているため、約２
５８Ｃ以−ヒに温め、ゾル状態にしておかなければ壁布
できない。さらにゼラチンは、またウェーハも値布膜厚
が均一で膜欠点もない良好な塗布を行なうためには所定
の温度に温調する必要がある。
のフォトレジストであるゼラチンが使用されており、こ
のセラチンはウェーハ上に形成された絵素上に回転塗布
法により核層形成される。そして、このゼラチンは、約
２５８Ｃ柱度の常温でゲル状態を呈しているため、約２
５８Ｃ以−ヒに温め、ゾル状態にしておかなければ壁布
できない。さらにゼラチンは、またウェーハも値布膜厚
が均一で膜欠点もない良好な塗布を行なうためには所定
の温度に温調する必要がある。
これらの条件を踏まえた従来のゼラチン値布システムを
第１図に示す。同図において、従来のシステムは、恒温
槽１．ヒータ２．温度センサ３゜攪拌器４および温度調
節器５により恒温にｉｖＡされる液体６に、ゼラチン１
の収容容器８が入れられだ加圧容器９を浸け、ゼラチン
Ｔをゾル状態にしておくとともに、一定温度に保温させ
る。゛また恒温槽１から皺布室１０までの注入系を内部
に注入管１１が通された弗素樹脂製チューブ１２と、こ
の外部を援った断熱材１３と、これとチューブ１２との
間に入れられたヒータ１４および温度センサ１５と、温
度調節器１６とにより温調し、ゼラチン７を一短温度で
吐出させる。さらに図示しないファンと、ヒータおよび
フィルタとからなるファンヒータユニットとによシ、温
風１７をダクト１８を通して偵布室１０へ送り込み、回
転するように（，４成され−Ｃいるチャック１９に吸着
されたウェーハ２０を一定温度に加熱するようになって
いる。なお、２１は廃液回収容器、２２はウェーハ２０
の回転時に発生するゼラチン飛沫吸引用ブロア、２３は
ゼラチンを吐出させるだめの所足の圧力にｆｌｊｌＪ御
されたＮ２ガス、２４はフィルタ、２５゜２６は圧入管
１１の開閉、吐出側ゼラチンのサックバック用ベローズ
である。
第１図に示す。同図において、従来のシステムは、恒温
槽１．ヒータ２．温度センサ３゜攪拌器４および温度調
節器５により恒温にｉｖＡされる液体６に、ゼラチン１
の収容容器８が入れられだ加圧容器９を浸け、ゼラチン
Ｔをゾル状態にしておくとともに、一定温度に保温させ
る。゛また恒温槽１から皺布室１０までの注入系を内部
に注入管１１が通された弗素樹脂製チューブ１２と、こ
の外部を援った断熱材１３と、これとチューブ１２との
間に入れられたヒータ１４および温度センサ１５と、温
度調節器１６とにより温調し、ゼラチン７を一短温度で
吐出させる。さらに図示しないファンと、ヒータおよび
フィルタとからなるファンヒータユニットとによシ、温
風１７をダクト１８を通して偵布室１０へ送り込み、回
転するように（，４成され−Ｃいるチャック１９に吸着
されたウェーハ２０を一定温度に加熱するようになって
いる。なお、２１は廃液回収容器、２２はウェーハ２０
の回転時に発生するゼラチン飛沫吸引用ブロア、２３は
ゼラチンを吐出させるだめの所足の圧力にｆｌｊｌＪ御
されたＮ２ガス、２４はフィルタ、２５゜２６は圧入管
１１の開閉、吐出側ゼラチンのサックバック用ベローズ
である。
このように構成された従来システムは、ゼラチン注入系
の温調方法に問題があった。すなわち、温度調節器５の
設定温度とゼラチン７の吐出温度どが異なるため、吐出
液温調整が不便であった。
の温調方法に問題があった。すなわち、温度調節器５の
設定温度とゼラチン７の吐出温度どが異なるため、吐出
液温調整が不便であった。
まｆｃ、塗布至１０内のゼラチン温度を調節できないと
いう欠点もあった。さらにこのため、ウェーハ加熱用の
温風を塗布至１０へ送り込延なければ注入管１１０末砧
からゼラチンが凝固してくる問題もめった。
いう欠点もあった。さらにこのため、ウェーハ加熱用の
温風を塗布至１０へ送り込延なければ注入管１１０末砧
からゼラチンが凝固してくる問題もめった。
したがって本発明は、上述した従来技術の問題点を屏消
するだめになされたものでめり、その目的とするところ
は、注入糸の末端まで温調できるフォトレジスト犀温旺
入システムを提供することに必る。
するだめになされたものでめり、その目的とするところ
は、注入糸の末端まで温調できるフォトレジスト犀温旺
入システムを提供することに必る。
このような目的を達成するために不発明は、注入系に温
調手段を設けたものである。
調手段を設けたものである。
以下、１囲を用いて不発明の実施例を詳卸１に説明する
。
。
第２図は不発明によるフォトレジスト定温注入システム
の一例を示す断面構成図であり、第１図と同符号は同−
安水となるのでその説明は省略する。第２図において、
恒温槽１から塗布室１０を経由し、再び恒温槽１筐でポ
ンプ２７を通してチューブ２８が配管されている。そし
て、このチューブ２８の内部にはゼラチン１の注入管１
１が塗布室１０まで通されている。また塗布室１０内の
ゼラチン吐出部分は第３図に要部断面図で示すような構
造を治している。すなわち、第３図において、２９はコ
ネクタであり、このコネクタ２９には前記チューブ２８
が通常用いられているチューブ継手３０によシ接続され
ている。また、前記注入管１１の先端はフランジ加工さ
れ、コネクタ２９の一端にねじ込まれるノズル３１によ
り、コネクタ２９に締付固定されている。なお、３２は
シール材である。
の一例を示す断面構成図であり、第１図と同符号は同−
安水となるのでその説明は省略する。第２図において、
恒温槽１から塗布室１０を経由し、再び恒温槽１筐でポ
ンプ２７を通してチューブ２８が配管されている。そし
て、このチューブ２８の内部にはゼラチン１の注入管１
１が塗布室１０まで通されている。また塗布室１０内の
ゼラチン吐出部分は第３図に要部断面図で示すような構
造を治している。すなわち、第３図において、２９はコ
ネクタであり、このコネクタ２９には前記チューブ２８
が通常用いられているチューブ継手３０によシ接続され
ている。また、前記注入管１１の先端はフランジ加工さ
れ、コネクタ２９の一端にねじ込まれるノズル３１によ
り、コネクタ２９に締付固定されている。なお、３２は
シール材である。
このように配材された圧入糸において、ポンプ２１を作
動させることにより、恒温槽１内の液体６がｌ土人看１
１の−まわりを包むようにしてチューブ２８とコネクタ
２９とを通って循環する。一方、液体６はＡｉｌ述した
ように恒温となるように常時加熱藺画されている。した
がって、この定温注入システムによれば、収容容器８内
のゼラチン７の温度を一定に保つと同時に佳人官１１内
のゼラチン温度も−ｙに保つことができる。−また、液
体６の温度はそのまま収容容器８および圧入管１１内の
ゼラチン温度となるため、温度調に１〕器５の設定温度
とゼラチン吐出部分とが同一となる。
動させることにより、恒温槽１内の液体６がｌ土人看１
１の−まわりを包むようにしてチューブ２８とコネクタ
２９とを通って循環する。一方、液体６はＡｉｌ述した
ように恒温となるように常時加熱藺画されている。した
がって、この定温注入システムによれば、収容容器８内
のゼラチン７の温度を一定に保つと同時に佳人官１１内
のゼラチン温度も−ｙに保つことができる。−また、液
体６の温度はそのまま収容容器８および圧入管１１内の
ゼラチン温度となるため、温度調に１〕器５の設定温度
とゼラチン吐出部分とが同一となる。
以上説明したように、＋発明によれば、温度調節器の設
定温変通りに制御された液体で、収容容器内から吐出部
までにわたってゼラチン温度することができるので、１
止出敢温調型が簡単となり、かつ吐出部先端からのゼラ
チンの凝固が全く起らなくなるなどの極めて優れた効米
が倚られる。
定温変通りに制御された液体で、収容容器内から吐出部
までにわたってゼラチン温度することができるので、１
止出敢温調型が簡単となり、かつ吐出部先端からのゼラ
チンの凝固が全く起らなくなるなどの極めて優れた効米
が倚られる。
８１４１図は従来のゼラチン堕布システムの一例を説明
するだめの要部断囲構成図、第２図は本発明に係わるゼ
ラチン塗布シスデムの一例を説明するための袋部断面構
成図、第３図は第２図のゼラチン吐出部分を示す断面構
成図である。 １・・・・恒温慣、２・・・・ヒータ、３・・・・温度
センサ、４・・・・攪拌器、５・・・・温度調節器、６
・・・・液体、７・・・Φゼラチン、８・・・・収容容
器、９・・・・加圧容器、１０・・争・堕布量、１１・
・・拳法入管、１２・・・・チューブ、１３・・・・断
熱材、１４番・・・ヒータ、１５・・・・温度センサ、
１６・・・・温度調節器、１７・・・・温風、１８・・
ダクト、１９・・や・チャック、２０１１＠・・ウェー
ハ、２１・・Φ・廃液ｔｒ！Ｉ収谷器収容２・・・・ブ
ロア、２３・Φ・・Ｎ２ガス、２４・・・・フィルタ、
２５．２６・・・・ベローズ、２Ｔ・・・・ポンプ、２
８・・・・チューブ、２９・・・・コネクタ、３０・会
・拳チューフ゛ｍ手、３１−・・・ノズル、３２・・ｅ
拳シール材。 ３３１− 第３図 １
するだめの要部断囲構成図、第２図は本発明に係わるゼ
ラチン塗布シスデムの一例を説明するための袋部断面構
成図、第３図は第２図のゼラチン吐出部分を示す断面構
成図である。 １・・・・恒温慣、２・・・・ヒータ、３・・・・温度
センサ、４・・・・攪拌器、５・・・・温度調節器、６
・・・・液体、７・・・Φゼラチン、８・・・・収容容
器、９・・・・加圧容器、１０・・争・堕布量、１１・
・・拳法入管、１２・・・・チューブ、１３・・・・断
熱材、１４番・・・ヒータ、１５・・・・温度センサ、
１６・・・・温度調節器、１７・・・・温風、１８・・
ダクト、１９・・や・チャック、２０１１＠・・ウェー
ハ、２１・・Φ・廃液ｔｒ！Ｉ収谷器収容２・・・・ブ
ロア、２３・Φ・・Ｎ２ガス、２４・・・・フィルタ、
２５．２６・・・・ベローズ、２Ｔ・・・・ポンプ、２
８・・・・チューブ、２９・・・・コネクタ、３０・会
・拳チューフ゛ｍ手、３１−・・・ノズル、３２・・ｅ
拳シール材。 ３３１− 第３図 １
Claims (1)
- 液体を収容する恒温槽と、この恒温槽に取付けられかつ
一端を液体中に投じられた攪拌器、ヒータおよび温度セ
ンサと、この温度センサとヒータとにより液体の温度を
制御する温度調節器と、この液体中に漬けられたフォト
レジストの収容容器と、この液体をフォトレジストの吐
出部を経由して循環させるように配管されたチューブと
、この吐出部においてチューブ継手によりこのチューブ
と接続されるコネクタと、このコネクタの先端にねじ込
まれたフォトレジスト吐出ノズルと、この吐出ノズルに
よりフランジ形の先端をコネクタに固定させこのコネク
タとチューブの内部を通してフォトレジスト収容容器ま
で導かれたフォトレジストの注入官とから構成され、液
体で収容容器内から吐出部までにわたりフォトレジスト
を温調することを特徴とするフォトレジスト定温注入シ
ステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57118586A JPS599654A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | フオトレジスト定温注入システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57118586A JPS599654A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | フオトレジスト定温注入システム |
Related Child Applications (7)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1174028A Division JPH0286831A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 液体処理装置 |
| JP1174024A Division JPH0667466B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 被加工物の処理方法 |
| JP1174022A Division JPH0667465B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 被加工物の処理方法 |
| JP1174023A Division JPH0286827A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 液体処理装置 |
| JP1174026A Division JPH0624622B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 液体処理装置 |
| JP1174025A Division JPH0286829A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 液体処理装置 |
| JP1174027A Division JPH0286830A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 液体処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS599654A true JPS599654A (ja) | 1984-01-19 |
Family
ID=14740248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57118586A Pending JPS599654A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | フオトレジスト定温注入システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599654A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62141501A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 色フイルタ染色装置 |
| WO1988005179A1 (fr) * | 1986-12-25 | 1988-07-14 | Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha | Procede et installation de recuperation et de recyclage d'une composition de reserve |
| JPH0286828A (ja) * | 1989-07-07 | 1990-03-27 | Hitachi Ltd | 被加工物の処理方法 |
| EP1591217A1 (en) * | 2004-04-26 | 2005-11-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for recycling ultraviolet curing resin |
-
1982
- 1982-07-09 JP JP57118586A patent/JPS599654A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62141501A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 色フイルタ染色装置 |
| WO1988005179A1 (fr) * | 1986-12-25 | 1988-07-14 | Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha | Procede et installation de recuperation et de recyclage d'une composition de reserve |
| US4967782A (en) * | 1986-12-25 | 1990-11-06 | Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha | Process and apparatus for recovering and reusing resist composition |
| US5084483A (en) * | 1986-12-25 | 1992-01-28 | Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha | Process and apparatus for recovering and reusing resist composition |
| EP0296249B1 (en) * | 1986-12-25 | 1994-08-31 | Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for recovering and reusing resist composition |
| JPH0286828A (ja) * | 1989-07-07 | 1990-03-27 | Hitachi Ltd | 被加工物の処理方法 |
| EP1591217A1 (en) * | 2004-04-26 | 2005-11-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for recycling ultraviolet curing resin |
| US7846984B2 (en) | 2004-04-26 | 2010-12-07 | Panasonic Corporation | Method and apparatus for recycling ultraviolet curing resin, and method for manufacturing optical recording medium using that recycling method |
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