JPH0287636A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH0287636A JPH0287636A JP63241413A JP24141388A JPH0287636A JP H0287636 A JPH0287636 A JP H0287636A JP 63241413 A JP63241413 A JP 63241413A JP 24141388 A JP24141388 A JP 24141388A JP H0287636 A JPH0287636 A JP H0287636A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- bonding
- semiconductor element
- lead
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07551—Connecting or disconnecting of bond wires characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/30—Die-attach connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/30—Die-attach connectors
- H10W72/321—Structures or relative sizes of die-attach connectors
- H10W72/325—Die-attach connectors having a filler embedded in a matrix
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/30—Die-attach connectors
- H10W72/351—Materials of die-attach connectors
- H10W72/352—Materials of die-attach connectors comprising metals or metalloids, e.g. solders
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/541—Dispositions of bond wires
- H10W72/5449—Dispositions of bond wires not being orthogonal to a side surface of the chip, e.g. fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
- H10W72/5522—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/581—Auxiliary members, e.g. flow barriers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/59—Bond pads specially adapted therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
- H10W72/931—Shapes of bond pads
- H10W72/932—Plan-view shape, i.e. in top view
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置に係シ、特にボンディング部のワイ
ヤー保持を目的としたパッケージの構造に関する。
ヤー保持を目的としたパッケージの構造に関する。
従来のこの種の半導体装置は、ワイヤー長が長くなった
り、ボンディングリードの幅が狭くなったりすると、ワ
イヤータレやワイヤーカール等の事故が発生し、ボンデ
ィング不良が多発する。これを防止するためにはバ、ケ
ージ設計上制限を設け、チップサイズに合わせたパッケ
ージを作製しなければならない。
り、ボンディングリードの幅が狭くなったりすると、ワ
イヤータレやワイヤーカール等の事故が発生し、ボンデ
ィング不良が多発する。これを防止するためにはバ、ケ
ージ設計上制限を設け、チップサイズに合わせたパッケ
ージを作製しなければならない。
前述した従来の半導体装置は、ボンディングワイヤー長
が長くなるとワイヤータレやワイヤーカール等が発生し
、ボンディングワイヤーが半導体素子の接続点以外の部
分に接触して、ショートしたり、隣りのワイヤーに接触
してショートしたりするというボンディング不良が発生
し、歩留シが低下するという欠点がある−0ゆえに、ワ
イヤー長を短かくしなければならない為、パッケージ設
計が制限され、多ビン化対応ができなくなる。
が長くなるとワイヤータレやワイヤーカール等が発生し
、ボンディングワイヤーが半導体素子の接続点以外の部
分に接触して、ショートしたり、隣りのワイヤーに接触
してショートしたりするというボンディング不良が発生
し、歩留シが低下するという欠点がある−0ゆえに、ワ
イヤー長を短かくしなければならない為、パッケージ設
計が制限され、多ビン化対応ができなくなる。
これらを対処する為にはチップサイズに応じて種々のパ
ッケージが心安となり、パッケージの種類が多くなると
いう欠点を有する。
ッケージが心安となり、パッケージの種類が多くなると
いう欠点を有する。
本発明の目的は、前記欠点が解決され、ボンディングワ
イヤーの接触事故が発生しないようにした半導体装置を
提供することにある。
イヤーの接触事故が発生しないようにした半導体装置を
提供することにある。
本発明の構成は、半導体素子上のパッドとリードとを電
気的に接続するボンディングワイヤを備えた半導体装置
において、前記ワイヤ下の前記リード上に電気的絶縁体
を設けたことを特徴とする。
気的に接続するボンディングワイヤを備えた半導体装置
において、前記ワイヤ下の前記リード上に電気的絶縁体
を設けたことを特徴とする。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の第1の実施例の半導体装置の内部を示
す上面図、第2図は第1図のA −A’線の断面図であ
る。これら図において、本実施例ではリードフレーム2
が厚さ0.25 rrtmの42アロイからなる。リー
ドフレーム2先端のボンディングリード4には、金ワイ
ヤ−5との接合の為、0.3μm以上の金めつきを行な
っている。ボンディングリード4に囲まれた中央には、
8 rran’乃至13mm0のアイランド9があり、
その上面にアイランド9より、0.1 rrrm程度小
さい半導体素子1が銀ペースト6により取り付けである
。ワイヤ5は、半導体素子1上のパッドと、ボンディン
グリード4とを電気的に接続するものである。枠体3は
、チップサイズとアイランドサイズに合ったものを作成
する必要があるが、なるべく半導体素子1側にした方が
エッヂタッチ防止効果があるので、チップより1咽程大
きい内径であυ、幅は0.5 mにした。
す上面図、第2図は第1図のA −A’線の断面図であ
る。これら図において、本実施例ではリードフレーム2
が厚さ0.25 rrtmの42アロイからなる。リー
ドフレーム2先端のボンディングリード4には、金ワイ
ヤ−5との接合の為、0.3μm以上の金めつきを行な
っている。ボンディングリード4に囲まれた中央には、
8 rran’乃至13mm0のアイランド9があり、
その上面にアイランド9より、0.1 rrrm程度小
さい半導体素子1が銀ペースト6により取り付けである
。ワイヤ5は、半導体素子1上のパッドと、ボンディン
グリード4とを電気的に接続するものである。枠体3は
、チップサイズとアイランドサイズに合ったものを作成
する必要があるが、なるべく半導体素子1側にした方が
エッヂタッチ防止効果があるので、チップより1咽程大
きい内径であυ、幅は0.5 mにした。
又、高さは、マウントされた半導体素子1の高さ約0.
5圓よりO乃至0.4sn高くなる様につくり、50μ
m程度のエポキシ系樹脂で接着させる。
5圓よりO乃至0.4sn高くなる様につくり、50μ
m程度のエポキシ系樹脂で接着させる。
枠体3を入れる条件は、ワイヤー長が2.5叫を越える
ような長い場合が、タレの発生が70%以上になる為、
特に有効である。枠体3の材料には、高純度で安価な接
着剤付きのボリイはド樹脂を使用する。
ような長い場合が、タレの発生が70%以上になる為、
特に有効である。枠体3の材料には、高純度で安価な接
着剤付きのボリイはド樹脂を使用する。
ここで、リードフレーム2の材料としては、リン青銅、
コバール、4270イ、銅合金の内から、選ばれること
が好ましい。尚、第1図、第2図では、トランスモール
ドする前の半導体装置が示されている。
コバール、4270イ、銅合金の内から、選ばれること
が好ましい。尚、第1図、第2図では、トランスモール
ドする前の半導体装置が示されている。
本実施例において、工程や使用環境から使用する枠体3
又は角棒体7の材料は、175℃以上の耐熱性を有する
ものでかつ耐湿性等の信頼性もそこなわない材料を選択
する。本条件を満足するものとしてはポリイばド系樹脂
やPBT (ポリブチレンテレフタレート)やPET1
又は耐熱ガラエボの高純度品等がコスト面からも適して
いる。
又は角棒体7の材料は、175℃以上の耐熱性を有する
ものでかつ耐湿性等の信頼性もそこなわない材料を選択
する。本条件を満足するものとしてはポリイばド系樹脂
やPBT (ポリブチレンテレフタレート)やPET1
又は耐熱ガラエボの高純度品等がコスト面からも適して
いる。
第3図は本発明の第2の実施例の半導体装置の断面図で
ある。同図において、本実施例は、構造的には前記第1
の実施例と同様であるが、ここでは角棒体7を、セラd
2りにし、耐熱性が450℃以上のものを使用する。リ
ードフレーム2と角棒体7との接着には、鉛ホウ酸系の
低融点ガラス300℃以上で溶かし、結晶化させ、接着
させる。
ある。同図において、本実施例は、構造的には前記第1
の実施例と同様であるが、ここでは角棒体7を、セラd
2りにし、耐熱性が450℃以上のものを使用する。リ
ードフレーム2と角棒体7との接着には、鉛ホウ酸系の
低融点ガラス300℃以上で溶かし、結晶化させ、接着
させる。
本実施例では450℃以上のAu−8i共共晶台による
半導体素子1のマウントが可能となり、前記第1の実施
例に劣らぬ効果がめった。
半導体素子1のマウントが可能となり、前記第1の実施
例に劣らぬ効果がめった。
ここで、角棒体7としては、セラミックの他に、ガラス
やアルミニウムのアルマイト処理されたものであっても
よい。
やアルミニウムのアルマイト処理されたものであっても
よい。
尚、枠体3又は角棒体7は、絶縁物であり、電気的に全
く無害であり、かつパッケージ内に存在しても耐湿性が
耐熱性その他伯頼性に全く影響しない。
く無害であり、かつパッケージ内に存在しても耐湿性が
耐熱性その他伯頼性に全く影響しない。
以上説明した様に、本発明は、半導体素子とパッケージ
とを電気的に接続するボンディングワイヤの下面に来る
様に、素子面又はパッケージ接線面より高い枠体又は角
棒体を取ジ付け、ボンディングを行なうことにより、ワ
イヤー長やボンディングリード幅の影響で発生するワイ
ヤータレやワイヤーカールの発生を無くすことができ、
ショート不良もなくなる為、多ビンパッケージの設計が
半導体素子の大きさに制限されず容易になり、ボンディ
ング工程での歩留9も飛障的に上昇する効果がある。ま
た、本発明は、キャビティサイズを太き目につくってお
けば、いくつものパッケージを作製する必要が無く、基
板コストも低減できる効果がある。
とを電気的に接続するボンディングワイヤの下面に来る
様に、素子面又はパッケージ接線面より高い枠体又は角
棒体を取ジ付け、ボンディングを行なうことにより、ワ
イヤー長やボンディングリード幅の影響で発生するワイ
ヤータレやワイヤーカールの発生を無くすことができ、
ショート不良もなくなる為、多ビンパッケージの設計が
半導体素子の大きさに制限されず容易になり、ボンディ
ング工程での歩留9も飛障的に上昇する効果がある。ま
た、本発明は、キャビティサイズを太き目につくってお
けば、いくつものパッケージを作製する必要が無く、基
板コストも低減できる効果がある。
第1図は本発明の第1の実施例の半導体装置のモールド
の前の状態を示す上面図、第2図は第1図の八−A′線
に沿って切断して見た断面図、第3図は本発明の第2の
実施例の半導体装置のモールド前状態の断面図である。 1・・・・・・半導体素子、2・・・・・・リードフレ
ーム(−部分)、3・・・・・・枠体、4・・・・・・
ボンディングリード、5・・・・・・ボンディングワイ
ヤ、6・・・・・・銀ペースト、7・・・・・・角棒体
、8・・・・・・Au−8i結合部、9・・・・・・ア
イランド。 代理人 弁理士 内 原 晋
の前の状態を示す上面図、第2図は第1図の八−A′線
に沿って切断して見た断面図、第3図は本発明の第2の
実施例の半導体装置のモールド前状態の断面図である。 1・・・・・・半導体素子、2・・・・・・リードフレ
ーム(−部分)、3・・・・・・枠体、4・・・・・・
ボンディングリード、5・・・・・・ボンディングワイ
ヤ、6・・・・・・銀ペースト、7・・・・・・角棒体
、8・・・・・・Au−8i結合部、9・・・・・・ア
イランド。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 半導体素子上のパッドとリードとを電気的に接続するボ
ンディングワイヤを備えた半導体装置において、前記ワ
イヤ下の前記リード上に電気的絶縁体を設けたことを特
徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63241413A JPH0287636A (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63241413A JPH0287636A (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287636A true JPH0287636A (ja) | 1990-03-28 |
Family
ID=17073921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63241413A Pending JPH0287636A (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0287636A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461471A (en) * | 1977-10-25 | 1979-05-17 | Nec Corp | Semiconductor device |
| JPS6060743A (ja) * | 1983-09-14 | 1985-04-08 | Matsushita Electronics Corp | リ−ドフレ−ム |
| JPH01124227A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
-
1988
- 1988-09-26 JP JP63241413A patent/JPH0287636A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461471A (en) * | 1977-10-25 | 1979-05-17 | Nec Corp | Semiconductor device |
| JPS6060743A (ja) * | 1983-09-14 | 1985-04-08 | Matsushita Electronics Corp | リ−ドフレ−ム |
| JPH01124227A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR940007649B1 (ko) | 반도체 패키지 | |
| JPH0321047A (ja) | カプセル封じされた半導体パツケージ | |
| KR900005587A (ko) | 반도체 디바이스 및 그 제작방법 | |
| JPH08148644A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
| US5796162A (en) | Frames locking method for packaging semiconductor chip | |
| JPS60167454A (ja) | 半導体装置 | |
| KR960005039B1 (ko) | 수지밀봉형 반도체장치 | |
| JPH01161743A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS61236130A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0287636A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0546098B2 (ja) | ||
| JPH0817870A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2629853B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPS62154769A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS6173344A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS61241953A (ja) | リ−ドフレ−ムおよびそれを用いた半導体装置 | |
| WO1997027627A1 (en) | Lead frame with circular lead tip layout and improved assembly | |
| JPS6043660B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP3545584B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS63137464A (ja) | 半導体装置用リ−ドフレ−ム | |
| JP2005109007A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
| KR100355639B1 (ko) | 수지봉지형 반도체소자 및 그를 이용한 반도체장치의 제조방법 | |
| JPH01171251A (ja) | ピングリッドアレーパッケージ | |
| JPH02280366A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS583239A (ja) | ボンデイング用ワイヤ− |