JPH0295233U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0295233U JPH0295233U JP309589U JP309589U JPH0295233U JP H0295233 U JPH0295233 U JP H0295233U JP 309589 U JP309589 U JP 309589U JP 309589 U JP309589 U JP 309589U JP H0295233 U JPH0295233 U JP H0295233U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- block
- heater block
- wafer
- susceptor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 8
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 claims description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims 2
- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Details Of Resistors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す一部破断側面
図、第２図は本考案の要部概要構成図、第３図は
本考案によるサセプタ表面温度の降下を示す図、
第４図は従来装置の一部破断側面図、第５図は従
来の自然冷却によるサセプタ表面温度の降下を示
す図である。 ３，３ａ…ベースプレート、４…ヒータブロツ
ク、５…サセプタ、６…ウエハ、８…ガスノズル
、１２…冷却ブロツク、１３…冷却パイプ、１４
…切換弁、１５…冷却気体供給パイプ、１６…冷
却液体供給パイプ、１８…制御部、１８ａ…設定
部、１９…温度検出器。
図、第２図は本考案の要部概要構成図、第３図は
本考案によるサセプタ表面温度の降下を示す図、
第４図は従来装置の一部破断側面図、第５図は従
来の自然冷却によるサセプタ表面温度の降下を示
す図である。 ３，３ａ…ベースプレート、４…ヒータブロツ
ク、５…サセプタ、６…ウエハ、８…ガスノズル
、１２…冷却ブロツク、１３…冷却パイプ、１４
…切換弁、１５…冷却気体供給パイプ、１６…冷
却液体供給パイプ、１８…制御部、１８ａ…設定
部、１９…温度検出器。
Claims (1)
- ヒータブロツク上に載置されたサセプタ上にウ
エハを載置し、該ウエハの表面に反応ガスを吹付
けるようにした常圧ＣＶＤ装置において、前記ヒ
ータブロツクまたはこれに接触して設けられた冷
却ブロツク中に埋設された冷却パイプと、同冷却
パイプに切換弁によつて冷却気体と冷却液体を選
択的に供給するための冷媒供給手段と、前記サセ
プタ、ヒータブロツクおよび冷却ブロツクのうち
の少なくともいずれか１つの温度を検出し該温度
が設定値まで低下したとき前記冷却パイプに供給
する冷媒を冷却気体から冷却液体に切換えるよう
に前記切換弁を作動させるための制御部とを具備
することを特徴とする常圧ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP309589U JPH0534102Y2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP309589U JPH0534102Y2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0295233U true JPH0295233U (ja) | 1990-07-30 |
| JPH0534102Y2 JPH0534102Y2 (ja) | 1993-08-30 |
Family
ID=31204427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP309589U Expired - Lifetime JPH0534102Y2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0534102Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-01-13 JP JP309589U patent/JPH0534102Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0534102Y2 (ja) | 1993-08-30 |
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