JPH03100351U - - Google Patents

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JPH03100351U
JPH03100351U JP767890U JP767890U JPH03100351U JP H03100351 U JPH03100351 U JP H03100351U JP 767890 U JP767890 U JP 767890U JP 767890 U JP767890 U JP 767890U JP H03100351 U JPH03100351 U JP H03100351U
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図〜第４図は本考案の一実施例を説明する
もので、第１図は試料移動機構の詳細を示す斜視
図、第２図はエキソ電子顕微鏡の試料室内を示す
平面図、第３図はその−線断面図、第４図は
その−線断面図、第５図は従来から知られて
いるエキソ電子顕微鏡の概略構成図である。 １０……走査型電子顕微鏡、１０ａ……電子銃
、１０ｂ……集束レンズ、１０ｃ……偏向コイル
、１０ｄ……対物レンズ、１１……反射鏡、１２
……電子検出器、１３……紫外光照射装置、１４
……ＣＲＴ、１５……走査信号発生回路、１６…
…増幅器、１７……イメージインテンシフアイヤ
、２１……ケース、２１ａ……真空室、２２……
モータ、２２ａ……出力軸、２６……第１のヘリ
カルギア、２７……案内レール、２８……スライ
ダ、３０……軸、３１……第２のヘリカルギア、
３２……絶縁継手、３３……試料保持台、３４…
…プレート、３７……ねじロツド、３８……操作
具、４３……圧子、４５……錘り、５２……傷。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空室内に設置された試料の面にエキソ電子励
    起用の光を照射する光源と、この光の照射によつ
    て試料面から励起されたエキソ電子に基づいて試
    料表面を可視化する可視化手段とを備えたエキソ
    電子顕微鏡において、前記真空室外方から回転さ
    れる回転軸上を摺動する第１のギアと、前記真空
    室内で前記試料を水平に保持し水平面内で回転可
    能にかつ前記回転軸方向に水平移動可能な試料保
    持台と、この試料保持台に連結され垂直方向に延
    在する回転軸と、前記第１のギアと噛合して前記
    回転軸とともに回転する第２のギアと、前記試料
    保持台に保持されている試料表面を押圧しモータ
    による試料回転により試料表面に傷をつける圧子
    と、前記試料保持台を前記回転軸に沿つて水平方
    向に移動させる直線移動機構とを具備することを
    特徴とするエキソ電子顕微鏡。
JP1990007678U 1990-01-30 1990-01-30 エキソ電子顕微鏡 Expired - Lifetime JP2529173Y2 (ja)

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JPH03100351U true JPH03100351U (ja) 1991-10-21
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55159143A (en) * 1979-05-31 1980-12-11 Agency Of Ind Science & Technol Metal surface flaw detector
JPS60105056U (ja) * 1983-12-22 1985-07-17 日本電子株式会社 走査電子顕微鏡等における試料装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55159143A (en) * 1979-05-31 1980-12-11 Agency Of Ind Science & Technol Metal surface flaw detector
JPS60105056U (ja) * 1983-12-22 1985-07-17 日本電子株式会社 走査電子顕微鏡等における試料装置

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JP2529173Y2 (ja) 1997-03-19

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