JPH03100818U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03100818U JPH03100818U JP751890U JP751890U JPH03100818U JP H03100818 U JPH03100818 U JP H03100818U JP 751890 U JP751890 U JP 751890U JP 751890 U JP751890 U JP 751890U JP H03100818 U JPH03100818 U JP H03100818U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- split
- beam splitter
- prism mirror
- light
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
第1図は本考案による一実施例の構成図、第2
図は従来例の構成図、第3図は空気中で、空気の
密度が異なる場合の光ビームの波長と屈折率との
関係を示す図である。 1……光源、2,6……ビームスプリツタ、3
……ポリゴンスキヤナ、4a,4b……fθレン
ズ、G1,G2,G3,G4……ガラス、5a,
5b……プラスチツク製パイプ、P5a,P5b
……真空パイプ、7,8a,8b……プリズムミ
ラー、9a,9b,9c,9d,9e,9f……
センサ、L1,L2,L3,L3a,L3b……
光ビーム。
図は従来例の構成図、第3図は空気中で、空気の
密度が異なる場合の光ビームの波長と屈折率との
関係を示す図である。 1……光源、2,6……ビームスプリツタ、3
……ポリゴンスキヤナ、4a,4b……fθレン
ズ、G1,G2,G3,G4……ガラス、5a,
5b……プラスチツク製パイプ、P5a,P5b
……真空パイプ、7,8a,8b……プリズムミ
ラー、9a,9b,9c,9d,9e,9f……
センサ、L1,L2,L3,L3a,L3b……
光ビーム。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 光源1から出射した、ほぼ平行な光ビームL1
を2つに分割するようにビームスプリツタ2を設
け、このビームスプリツタ2を透過した光ビーム
L3がポリゴンスキヤナ3によつて反射した光ビ
ームをfθレンズ4bを介しビームスプリツタ6
に入射し、透過した光ビームL3aは第1のプリ
ズムミラー8bで分割し、第1及び第2のセンサ
9e,9fに入射させ、ビームスプリツタ6を反
射した光ビームL3bは第2のプリズムミラー7
で分割し、第3及び第4のセンサ9c,9dに入
射させ、それぞれ光ビーム位置を検出し、更に該
ビームスプリツタ2を反射した光ビームL2は第
2のfθレンズ4aを介し、第3のプリズムミラ
ー8aで分割し、第5及び第6のセンサ9a,9
bに入射させ、光ビーム位置を検出して成るポリ
ゴンスキヤナの面倒れ測定装置において、 第1のfθレンズ4bと第1のビームスプリツ
タ6との間の光軸、及び第2のfθレンズ4aと
第3のプリズムミラー8aとの間の光軸が貫通す
るように、真空パイプP5a,P5bをそれぞれ
配設したことを特徴とするポリゴンスキヤナの面
倒れ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP751890U JPH03100818U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP751890U JPH03100818U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03100818U true JPH03100818U (ja) | 1991-10-22 |
Family
ID=31511178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP751890U Pending JPH03100818U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03100818U (ja) |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP751890U patent/JPH03100818U/ja active Pending