JPH03102728U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03102728U JPH03102728U JP1091790U JP1091790U JPH03102728U JP H03102728 U JPH03102728 U JP H03102728U JP 1091790 U JP1091790 U JP 1091790U JP 1091790 U JP1091790 U JP 1091790U JP H03102728 U JPH03102728 U JP H03102728U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet material
- chuck head
- view
- etching
- chuck
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例を示すシート材の
片面エツチング装置の要部構成図、第２図は、チ
ヤツクヘツド部の断面図、第３図は、チヤツクヘ
ツド部の底面図、第４図は、第３図と異なる実施
例を示すチヤツクヘツド部の底面図、第５図は、
バツクグラインド後の半導体用ウエハーを説明す
るための斜視図、第６図は、バツクグラインド後
の半導体用ウエハーの拡大断面図、第７図は、エ
ツチング量とチツプ強度との関係を示すグラフ、
第８図および第９図は従来例を示し、第８図は、
片面エツチング装置の要部構成図、第９図は、チ
ヤツクヘツドの断面図である。 １……半導体用ウエハー、１ａ……研削面、２
……チヤツクヘツド部、３……吸着板、６ａ……
収納凹部、７……超音波センサ、８……測定用開
口部、９……超音波厚さ計、１０……エツチング
制御部。
片面エツチング装置の要部構成図、第２図は、チ
ヤツクヘツド部の断面図、第３図は、チヤツクヘ
ツド部の底面図、第４図は、第３図と異なる実施
例を示すチヤツクヘツド部の底面図、第５図は、
バツクグラインド後の半導体用ウエハーを説明す
るための斜視図、第６図は、バツクグラインド後
の半導体用ウエハーの拡大断面図、第７図は、エ
ツチング量とチツプ強度との関係を示すグラフ、
第８図および第９図は従来例を示し、第８図は、
片面エツチング装置の要部構成図、第９図は、チ
ヤツクヘツドの断面図である。 １……半導体用ウエハー、１ａ……研削面、２
……チヤツクヘツド部、３……吸着板、６ａ……
収納凹部、７……超音波センサ、８……測定用開
口部、９……超音波厚さ計、１０……エツチング
制御部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 エツチング加工する面をエツチング処理槽に向
けてシート材を保持するチヤツクヘツドと、 上記チヤツクヘツドに保持されるシート材に対
向させるようにして、上記チヤツクヘツドの内部
にセンサ部が配設されているシート材の厚さ測定
器とを具備することを特徴とするシート材の片面
エツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1091790U JPH03102728U (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1091790U JPH03102728U (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03102728U true JPH03102728U (ja) | 1991-10-25 |
Family
ID=31514465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1091790U Pending JPH03102728U (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03102728U (ja) |
-
1990
- 1990-02-06 JP JP1091790U patent/JPH03102728U/ja active Pending