JPH03105709A

JPH03105709A - 磁気ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH03105709A
Application number: JP24202689A
Authority: JP
Inventors: Shoji Tsutaki; 蔦木　昭治; Kazuyoshi Fuse; 一義布施
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-09-20
Filing date: 1989-09-20
Publication date: 1991-05-02
Anticipated expiration: 2013-09-21
Also published as: JP2801678B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的〕（産業の利用分野）この発明は、例えばビデオテープレコーダやフロッピー
ディスク装置に用いられる磁気ヘッドの製造方法に関す
る。

（従来の技術）最近、こ、の種の磁気ヘッドにおいては、記録媒体の高
密度化の促進にともなう高保持力、高残留磁束密度化に
対応するものとして、フエライト等の磁性体コア間に設
けるギャップＧをセンダストやアモルファス等の金属磁
性体を用いた金属磁性体展層で挟装したＭＩＧ（Ｍｅｔ
ａｌ　　ＩｎＧａｐ）ヘッドと称する飽和磁束密度が大
きく、残留磁束密度の小さなものが出現されている。

第６図はこのような従来の磁気ヘッドを示すもので、コ
ア本体をフエライト等の一対の磁性体コアｌａ，ｌｂで
形成し、この磁性体コアｌａ，１ｂ間には８１０■等の
非磁性体膜層２ａ，２ｂで形成されるギャップＧが金属
磁性体膜層３ａ，３ｂで挟装されて形成される。すなわ
ち、第７図に示すように磁性体コアｌａ，ｌｂにトラッ
ク幅Ｔｗが所定のピッチ間隔Ｐで形成される（第７図（
ａ）．（ｂ）中では、一方のみを図示）。このトラック
幅Ｔｗに対応する面上には例えば４〜８μｍ程度の金属
磁性体膜層２ａ，２ｂがスバッタ等で形成され、この金
属磁性体膜層２ａ，２ｂ上には０．２〜０．５μｍ程度
の非磁性体膜層３ａ，３ｂが同様にスバッタ等により形
成される。そして、金属磁性体膜層２ａ，２ｂ及び非磁
性体膜層３ａ，３ｂが形成された磁性体コアｌａ，Ｉｂ
は、そのトラック幅ＴＷに対応する面が互いに対向され
て接着材４を用いて接合された後、第７図（ｃ）中破線
で示す如く切断されて第６図に示す磁気ヘッドが形成さ
れる。

ところが、上記磁気ヘッドでは、一対の磁性体コアｌａ
，ｌｂを接合する接着材４との間に金属磁性体膜層２ａ
，　　２ｂが介在される構戊上、磁性体コアｌａ，ｌｂ
を接合する接着材４の接着強度が金属磁性体膜層２ａ，
２ｂにより低下されるために、その磁性体コア１　ａ　
＋　　１　ｂと金属磁性体膜層２ａ，２ｂとの界面に剥
離が発生し易いという問題を有していた。この磁性体コ
アｌａ，ｌｂと金属磁性体膜層２ａ，　２ｂとの界面に
剥離が発生すると、トラック幅Ｔｗに対応する記録媒体
摺動部に剥離の影響を受けて、その磁性体コアｌａ，１
ｂと金属磁性体膜層２ａ，２ｂ間にいわゆる疑似ギャッ
プが発生するという不具合が起こる。これによると、第
８図に示すように通常、ギャップＧによる周波数特性Ａ
に対して疑似ギャップによる出力Ｂ，Ｃが発生すること
により、ヘッド特性が低下され、所望のヘッド特性を得
ることが困難となる。

（発明が解決しようとする課題）以上述べたように、従来の磁気ヘッドでは、疑似キャッ
プが発生して所望のヘッド特性を得るのが困難となると
いう問題を有していた。

この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、構成簡
易にして、高精度なヘッド特性の確保を実現し得るよう
にした磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とす
る。

［発明の構或］（課題を解決するための手段及び作用）この発明は、所
定の間隔おきにトラック幅を形成した一対の磁性体コア
の少なくとも一方に金属磁性体膜層、非磁性体膜層を順
に形成する第１の工程と、前記一方の磁性体コアのトラ
ック幅の両端までを前記金属磁性体膜層及び非磁性体膜
層が覆うように前記トラック幅の両側の金属磁性体膜層
及び非磁性体膜層を除去した溝を形成する第２の工程と
、前記溝を形成した一方の磁性体コアと他方の磁性体コ
アのトラック幅を対向させて接着材を用いて接合して少
なくとも一方面側に金属磁性体膜層を有したギャップを
形成した後、切断して、ヘッドチップを形成する第３の
工程とを備えて磁気ヘッドを製造するように構成したも
のである。

上記構成によれば、磁気ヘッドは磁性体コアにトラック
幅Ｔｗを形成して、金属磁性体膜層及び非磁性体膜層を
順に形成し、その後、トラック幅の両側の金属磁性体膜
層及び非磁性体膜層を除去することにより、トラック幅
Ｔｗの両端までが金属磁性体膜層及び非磁性体膜層で覆
われたトラック幅Ｔｗが形成される。従って、トラック
幅Ｔｗの高精度な形成作業を確保したうえで、磁性体コ
アと接着材間におけるの十分な接着面積が確保されて、
堅牢な金属磁性体膜層の製作ができる。

また、この発明は、一対の磁性体コアの少なくとも一方
にトラック幅を規制する複数の一対の溝を形成した後、
金属磁性体膜層、非磁性体膜層を順に形成すると共に、
前記他方の磁性体コアにトラック幅を前記一方の磁性体
コアのトラック幅に対応して形成する第１の工程と、前
記一方の磁性体コアの複数の一対の溝間を除去して、両
端までが前記金属磁性体膜層及び非磁性体膜層で覆われ
たトラック幅を形成すると共に、前記他方の磁性体コア
にトラック幅を前記一方の磁性体コアのトラック幅に対
応して形成する第２の工程と、この第２の工程で複数の
一対の溝間を除去した一方の磁性体コアを、前記他方の
磁性体コアと互いのトラック幅を対向させて接着材を用
いて接合して前記金属磁性体膜層で挟装したギャップを
形成した後、切断して、ヘッドチップを形成する第３の
工程とを備えて磁気ヘッドを製造するように構成したも
のである。

上記構成によれば、磁気ヘッドは磁性体コアのトラック
幅Ｔｗの規制を行う複数の一対の溝を形成して、一対の
溝を形成した面に金属磁性体膜層及び非磁性体膜層を順
に形成し、その後、一対の溝間を除去することにより、
両端までが金属磁性体膜層及び非磁性体膜層で覆われた
トラック幅Ｔｗが形成される。従って、トラック幅Ｔｗ
の高精度な形成作業を確保したうえで、磁性体コアと接
着材間における十分な接着面禎が確保されて、堅牢な金
属磁性体膜層の製作ができる。

（実施例）以下、この発明の実施例について、図面を参照して詳細
に説明する。

第１図はこの発明の一実施例の適用された磁気ヘッドを
示すもので、図中１０ａ，１０ｂは一対の磁性体コアで
、その略中央部にトラック幅Ｔｗが互いに対応して形成
される。これら磁性体コア１０ａ，１０ｂには、そのト
ラック幅Ｔｗの端部までを覆うようにセンダスト等の約
４〜８μｍ程度の金属磁性体膜層１１．ａ，ｌｌｂ、ギ
ャップＧに相当する（約０．２４〜０．５μｍ）程度の
Ｓ，Ｏ，等の非磁性体膜層１２ａ，１２ｂが順に積層さ
れて形成されており、その互いの非磁性体膜層１２ａ，
１２ｂが突合わされてガラス等の接着材１３を用いて接
合されて金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂで挟装されるギ
ャップＧが形成されている。

上記構成により、一対の磁性体コア１０ａ，１０ｂは、
その金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ及び非磁性体膜層１
２ａ、１２ｂ以外の部分が接着材１３を介して直接的に
接合されて十分な接着面積が確保される。この結果、一
対の磁性体コア１０ａ，１０ｂと金属磁性体膜層１１ａ
，ｌｌｂ間は、磁性体コア１０ａ，１０ｂの金属磁性体
膜層１１ａ、ｌｌｂ及び非磁性体膜層１２ａ，？２ｂ以
外の部分を接合する接着材１３の接着力が作用して接合
される。

次に、上記一対の磁性体コア１０ａ，１０ｂのトラック
幅Ｔｗの両端までを覆うように金属磁性体膜層１１ａ，
ｌｌｂ及び非磁性体膜層１２ａ，１２ｂを形成した磁気
ヘッドの製造方法について説明する。

すなわち、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す第１の
工程においては、フエライト等の一対の磁性体コア１０
ｇ．１０ｂの一方に巻線溝１４を形成した後、それぞれ
にトラック幅Ｔｗをピッチ間隔Ｐで形成し、その後、セ
ンダスト等の金馬磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂを約４〜８
μｍ１Ｓｈｏ■等の非磁性体膜層１２ａ，１２ｂをスバ
ッタ等により順に形成する（図中では、略同様に形成さ
れることで、一方のみを図示）。そして、第２の工程で
は、第２図（ｄ）に示すように磁性体コア１０ａ，１０
ｂのトラック幅Ｔｗの両端までを金属磁性体膜層１１ａ
，ｌｌｂ及び非磁性体膜層１２ａ，１２ｂが覆うように
トラック幅Ｔｗの両側を除去した溝１５を形成する（図
中では、略同様に形成されることで、一方のみを図示）
。

次に、第３の工程では、第２図（ｅ）に示すように同様
に形成した磁性体コア１０ａ，１０ｂを互いのトラック
幅Ｔｗが対応するように突合わせて接着材１３を用いて
接合させ、その後、図中破線で示す如く切断して磁気ヘ
ッドを形成する。

上記磁気ヘッドは、金属磁性体膜層１１ａ，１１ｂ及び
非磁性体膜層１２ａ，１２ｂを磁性体コア１０ａ，１０
ｂのトラック幅Ｔｗの両端までのみを覆うように設けて
あることにより、磁性体コア１０ａ，１０ｂの接合状態
において、そのトラック幅Ｔｗの両端までを覆った金属
磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ以外の部分が接着材１３を介
して直接的に接合されて、接着材１３による接着面積が
十分に確保される。これにより、磁性体コア１０ａ，１
０ｂと金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ間の接着強度が磁
性体コア１０ｇ，１０ｂを接合する接着材１３の接着力
の作用により高められ、その堅牢な接着が実現されるた
め、従来のような疑似ギップの原因となる磁性体コア１
０ａ，１０ｂと金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂとの剥離
の防止が図れ、可及的に高精度なヘッド特性が確保され
る。

このように、上記磁気ヘッドの製造方法においては、磁
性体コア１０ａ，１０ｂにトラック幅Ｔｗを形成して、
金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ及び非磁性体膜層１２ａ
，１２ｂを順に形成し、その後、トラック幅Ｔｗの両側
の金属磁性体膜層１１ａ．ｌｌｂ及び非磁性体膜層１２
ａ，１２ｂを除去してトラック幅Ｔｗの両端までが金属
磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ及び非磁性体膜層１２ａ．１
２ｂで覆われたトラック幅ＴＷを形成するようにした。

これによれば、トラック幅Ｔｗの形成作業に悪影響を及
ぼすことなく、磁性体コア１０ａ，１０ｂと接着材１３
の接着面積を大きく採ることができるため、簡易な製作
作業を確保したうえで、金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ
の剥離防止を図ることができる。

なお、上記実施例では、磁性体コア１０ａ，１０ｂのト
ラック幅Ｔｗの両端までを覆う金属磁性体膜層１１ａ，
ｌｌｂ及び非磁性体膜層１２ａ，１２ｂを該トラック幅
Ｔｗの両側の金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ及び非磁性
体膜層１２ａ，１２ｂを除去する溝１５を設けることに
より、形成するように構成したが、この製造方法に限る
ことなく、例えば第３図に示すように構成することも可
能である。

すなわち、第１の工程では、第３図（ａ），（ｂ）．（
Ｃ）に示すように例えば２０μｍ程度のトラック幅Ｔｗ
を形成する場合、一方に巻線溝１４を形成したフエライ
ト等の一対の磁性体コア１０ａ．４０ｂにトラック幅”
ｒｗを規制する一対の溝１６ａ．１．６ｂを３００μｍ
程度の間隔Ｐで複数個形成する。そして、この磁性体コ
ア１０ａ．１０ｂには、その溝１６ａ．１６ｂを含む面
上にセンダスト等の金属磁性体膜層１１ａ，１ｌｂを約
４〜８μｍＳＳＩＯ２等の非磁性体膜層１２ａ．１２ｂ
をギャップＧに相当する（約０．２４〜０．５μｍ）程
度スバッタ等により順に形成する。この一対の溝１６ａ
，１６ｂの幅寸法は、金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ及
び非磁性体膜層１２ａ，１２ｂの層厚の２倍以上で、か
つ層厚の１０倍以下となるように砥石．レーザ，エッチ
ング等で形成され、その磁性体コア１０ａ，１０ｂに被
着される金属磁性体膜層１１ａ，１ｌｂ及び非磁性体膜
層１２ａ，１２ｂが開口部近傍までの侵入を許容する。

そして、第２の工程では、第３図（ｄ）に示すように磁
性体コア１０ａ，１０ｂの一対の溝１６ａ，１６ｂと隣
接する一対の溝１６ａ，１６ｂ間をそれぞれ除去して、
両端までが金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ及び非磁性体
層１２ａ．１２ｂで覆われたトラック幅Ｔｗを形成する
。次に、第３の工程では、第３図（ｅ）に示すように第
２の工程で一対の満１６ａ，１６ｂと隣接する一対の溝
１６ａ，１６ｂ間を除去した磁性体コア１０ａ．１０ｂ
同志を互いのトラック幅Ｔｗを対向させて接着材１３を
用いて接合して金属磁性体膜層１１ａ，１ｌｂで挾装し
たギャップＧを形成した後、図中破線で示す如く切断し
て、同図（ｆ）に示すように磁気ヘッドを形成する。

上記の製造方法にあっては、磁性体コア１０ａ，】、Ｏ
ｂのトラック幅Ｔｗの規制を行う複数の一対の溝１６ａ
，１６ｂを形成して、一対の溝１６ａ，１６ｂを形成し
た面に金属磁性体膜層１１ａ．１ｌｂ及び非磁性体層１
２ａ，１２ｂを順に形成し、その後、一対の溝１６ａ，
ｉ６ｂと隣接する一対の溝１６ａ，ｌｂ間を除去して両
端までが金属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂ及び非磁性体膜
層１２ａ，１２ｂで覆われたトラック幅Ｔｗを形成する
ことにより、磁性体コア１０ａ，１０ｂと接着材１３の
接着面積の大きな磁気ヘッドをトラック幅Ｔｗの形成に
悪影響を及ぼすことなく、簡易に形成することができる
。

さらに、上記実施例では一対の磁性体コア１，Ｏａ，１
０ｂにそれぞれ金属磁性体膜層１１ａ，１　１．　ｂ及
び非磁性体膜層１２ａ，１２ｂを設け、ギャップＧを金
属磁性体膜層１１ａ，ｌｌｂで挟装するように構成した
が、これに限ることなく、例えば第４図に示すように、
ギャップＧの一方側のみに金属磁性体膜層１１ａを設け
たいわゆる片側ＭＩＧヘッドにおいても適用可能である
。この場合、一対の磁性体コア１０ａ，１０ｂのうち一
方の磁性体コア１０ａに上述したいずれかの製造方法で
トラック幅ＴＷの両端までを覆う金城磁性体膜層１１ａ
及び非磁性体膜層１．　２　ａを形成すれば良い。

また、さらに、第５図に示すような複数のギャップＧｌ
，Ｇ２を設けてなる複合ヘッドにおいても適用可能であ
る。

よって、この発明は上記実施例に限ることなく、その他
、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を尖施
し得ることは勿論のことである。

［発明の効果コ以上詳述したように、この発明によれば、構成簡易にし
て、高精度なヘッド特性の確保を実現し得るようにした
磁気ヘッドの製造方法を堤供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係る磁気ヘッドの製造方
法による磁気ヘッドを示す図、第２図は第１図の磁気ヘ
ッドの製造方法を説明するために示した工程図、第３図
この発明の他の実施例に係る磁気ヘッドの製造方法を説
明するために示した工程図、第４図及び第５図はこの発
明の他の実施例を示す図、第６図乃至第８図は従来の磁
気ヘッドの問題点を説明するために示した図である。１０ａ，１０ｂ−・・磁性体コア、ｌｌａ，Ｉｌｂ・・
・金属磁性体膜層、１２ａ，１２ｂ・・・非磁性体膜層
、１３・・・接着材、１４・・・巻線溝、１５・・・溝
、１６ａ，１６ｂ・・・一対の溝。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）所定の間隔おきにトラック幅を形成した一対の磁
性体コアの少なくとも一方に金属磁性体膜層、非磁性体
膜層を順に形成する第１の工程と、前記一方の磁性体コアのトラック幅の両端までを前記金
属磁性体膜層及び非磁性体膜層が覆うように前記トラッ
ク幅の両側の金属磁性体膜層及び非磁性体膜層を除去し
た溝を形成する第２の工程と、前記溝を形成した一方の磁性体コアと他方の磁性体コア
のトラック幅を対向させて接着材を用いて接合して少な
くとも一方面側に金属磁性体膜層を有したギャップを形
成した後、切断して、磁気ヘッドを形成する第３の工程
とを具備したことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
（２）一対の磁性体コアの少なくとも一方にトラック幅
を規制する複数の一対の溝を形成した後、金属磁性体膜
層、非磁性体膜層を順に形成する第１の工程と、前記一方の磁性体コアの複数の一対の溝間を除去して、
両端までが前記金属磁性体膜層及び非磁性体膜層で覆わ
れたトラック幅を形成すると共に、前記他方の磁性体コ
アにトラック幅を前記一方の磁性体コアのトラック幅に
対応して形成する第２の工程と、この第２の工程で複数の一対の溝間を除去した一方の磁
性体コアを、前記他方の磁性体コアと互いのトラック幅
を対向させて接着材を用いて接合して前記金属磁性体膜
層で挟装したギャップを形成した後、切断して、磁気ヘ
ッドを形成する第３の工程とを具備したことを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法。
（３）前記複数の一対の溝は幅寸法が前記金属磁性体膜
層及び非磁性体膜層の層厚の２倍以上で、かつ層厚の１
０倍以下で形成されてなることを特徴とする請求項３記
載の磁気ヘッドの製造方法。