JPH0310603Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は電子顕微鏡において、試料を試料ホル
ダに装着するための試料保持装置、特に壊れ易い
試料を装着する場合に有効な試料保持装置の改良
に関する。

［従来の技術］ 電子顕微鏡における試料保持装置の従来例とし
ては、試料ホルダの試料装填部分にネジ部を形成
し、試料を装着後、ネジ部に押え体を螺合して締
付けることにより試料を試料ホルダに固定する方
式が採用されている。

しかしながら斯様な構造では、押え体の締付け
力を一定に保つことが難しく、熟練を必要とす
る。つまり少しでも締付け力が強すぎると試料を
破壊してしまい、逆に締付け力が弱すぎると耐振
性が低下し、観察時に振動が発生して分解能の低
下を招く恐れが生じる等、初心者が容易に取扱う
ことができない。

近時、斯様な不都合を解決するために、第３図
に示すように試料ホルダ１にピン２により回転可
能に固定されたアーム３に球４を介してコイルバ
ネ５によりある一定の押圧力を加え、このアーム
３により試料６を押圧，固定するようになした試
料保持部材が提案されている。尚、アーム３の試
料６と接触する部分には、このアームに対してわ
ずかに左右，上下方向に移動可能に取付けられた
試料押え７が設けてあり、又、８はコイルバネの
ケース、９はコイルバネの押圧力を調整するため
にこのケース８に螺合された調整ネジである。更
に、図の状態でアーム３をピンセツト等により矢
印Ａ方向に回転させると、アーム３と球４との接
触点がピン２の中心より下方に移動するため、ア
ーム３には試料６から離れる方向の押圧力が加え
られ、アームは点線Ｂで示す位置に停止し、試料
の交換を行うことができる。

［考案が解決しようとする問題点］ しかして斯様に常に一定の押圧力が加えられた
アーム３により試料を押圧，固定するようになせ
ば、初心者でも容易に安定に試料を保持すること
ができるが、その反面、試料の押圧時に瞬間的に
バネ力による衝撃が試料に加わり、試料が破壊す
る恐れが生じる。つまり、試料への衝撃をできる
だけ抑えるためにピンセツト等によりアーム３を
挟み、バネ力に抗しながらアーム３を回転させて
試料まで移動させるわけであるが、このときアー
ムが試料表面に完全に接触した状態でピンセツト
を外すことは非常にむずかしく、どうしても試料
の直前でピンセツトを離すことになる。その結果
アーム３がピンセツトから離れた直後にバネ力に
よる衝撃が試料に瞬間的に加わり、それによつて
試料が壊れるわけである。特に、最近においては
半導体関係の試料、例えばウエハの如き薄くて壊
れ易い試料を観察することが多くなり、前述した
バネ力による衝撃は試料破壊の大きな原因とな
る。

本考案は斯様な欠点を解決することのできる試
料保持装置を提供することを目的とするものであ
る。

［問題点を解決するための手段］ そのため本考案は、電子線の通路上に試料を配
置するための試料ホルダと、前記試料ホルダの試
料設置箇所に設置された試料の上面を押さえるた
め該上面側に緩やかな凸な面を有する板状弾性体
からなる押え部材と、該押え部材に設けられた電
子線通過穴と、該押え部材の一端を試料ホルダに
回転可能に支持するための軸受と、前記押え部材
の他端を前記試料ホルダに着脱可能に掛止するた
めの手段とを備え、前記軸受けの回転中心を電子
線の光軸と略直交する平面内に配置したことを特
徴としている。

［実施例］ 第１図は試料を光軸と直交する方向から挿入す
るサイドエントリタイプの試料装置に用いられる
試料保持装置の一実施例を示す平面図、第２図は
そのＣＣ断面図である。両図において、１は試料
ホルダであり、この試料ホルダは図示外の電子顕
微鏡の鏡体側壁を耐真空的に貫通，固定され、そ
の先端が対物レンズの上磁極片と下磁極片との間
に挿入される。１０は該試料ホルダの電子線の光
軸Ｚと交差する部分に形成された凹部で、この凹
部内には試料台１１がビス等により着脱可能に取
付けられている。この試料台１１の上部には切欠
部１２が形成してあり、又、この切欠部の底部に
は試料１３を収容する窪み１４が設けてある。１
５は前記試料１３を試料台１１に押圧，固定する
ための押えバネで、この押えバネは板状に加工さ
れており、又、押えバネの試料１３と接触する中
央部分には電子線通過穴１６が形成され、更に、
該押えバネの両端部分は夫々上方に曲げられてい
て試料の上面側に緩やかに凸になつており、試料
を押える際に適度の弾性力が得られるようになし
てある。１７はこの押えバネ１５の一端に固定さ
れた軸受で、前記切欠部１２の内壁に固定された
軸１８に回転可能に取付けられている。１９は前
記押えバネ１５の他端に固定されたフツクで、該
フツクの下部には前記切欠部１２の内壁に固定さ
れたピン２０に着脱可能に嵌合する切欠部２１が
形成してある。２２及び２３は前記試料ホルダ１
及び試料台１１に形成した電子線を通過させるた
めの穴である。

しかして、第２図の状態はフツク１９の切欠部
２１がピン２０に嵌合してフツク部が試料台１１
に掛止され、押えバネ１５の弾性力により試料１
３が試料台１１に押圧，固定されている状態であ
る。次に、ピンセツトによりフツク１９を右方向
に僅か回転させると、切欠部２１とピン２０との
係合が外れる。この状態でフツク１９を更に同方
向に動かせば、押えバネ１５が試料１３から離れ
るので、新しい試料と交換することができる。

一方、試料の交換後、フツク１９をを介して押
えバネ１５を前述とは逆の方向に回転させれば、
先ず押えバネ１５が試料１３と接触する。このと
き試料には押えバネ１５の自重のみが加えられて
いる。この状態でフツク１９を更に降下させて欠
切部２１をピン２０に嵌合せしめると、押えバネ
１５に所定の弾性力が発生するため、試料１３が
押圧，固定される。

尚、前述の説明では、押えバネ１５を試料台１
１に組込んだ場合について述べたが、この押えバ
ネを試料ホルダ１に直接組込むように構成しても
良いことは言うまでもない。

［考案の効果］ このような構成となせば、試料表面全体に押え
部材を接触させた後、徐々に押え部材を試料ホル
ダ側に押して行くことにより、試料にかける押圧
力を試料面にわたつて略均等に分散させて、しか
も徐々に増しながら試料を試料ホルダに固定する
ことができる。従つて、本考案に基づく電子顕微
鏡における試料保持装置によれば、簡単な構造で
あるにもかかわらず、壊れ易い試料であつても、
試料を損傷することなく容易に試料ホルダに装着
することが可能になる。

【実用新案登録請求の範囲】 電子線の通路上に試料を配置するための試料ホ
ルダと、前記試料ホルダの試料設置箇所に設置さ
れた試料の上面を押さえるため該上面側に緩やか
な凸な面を有する板状弾性体からなる押え部材
と、該押え部材に設けられた電子線通過穴と、該
押え部材の一端を試料ホルダに回転可能に支持す
るための軸受と、前記押え部材の他端を前記試料
ホルダに着脱可能に掛止するための手段とを備
え、前記軸受けの回転中心を電子線の光軸と略直
交する平面内に配置したことを特徴とする電子顕
微鏡における試料保持装置。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２
図は第１図のＣＣ断面図、第３図は従来例を説明
するための断面図である。 １：試料ホルダ、１０：凹部、１１：試料台、
１２：切欠部、１３：試料、１４：窪み、１５：
押えバネ、１６，２２，２３：電子線通過穴、１
７：軸受、１８：軸、１９：フツク、２０：ピ
ン、２１：切欠部。