JPH03110831U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03110831U JPH03110831U JP1990019128U JP1912890U JPH03110831U JP H03110831 U JPH03110831 U JP H03110831U JP 1990019128 U JP1990019128 U JP 1990019128U JP 1912890 U JP1912890 U JP 1912890U JP H03110831 U JPH03110831 U JP H03110831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas supply
- gas
- reaction tube
- supply pipe
- gas inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案のＭＯ―ＶＰＥ反応装置の一実
施例を示し、同図ａは縦断面図、同図ｂはそのＡ
−Ａ線拡大断面図、第２図は第１図の実施例の変
形例を示し、同図ａは縦断面図、同図ｂはそのＢ
−Ｂ線拡大断面図、第３図は従来のＭＯ―ＶＰＥ
反応装置を示し、同図ａは縦断面図、同図ｂはそ
のＣ−Ｃ線拡大断面図、第４図は従来の他の例を
示し、同図ａは縦断面図、同図ｂはそのＤ−Ｄ線
拡大断面図である。 １……反応管、２……サセプタ、３……ウエハ
、４……ＲＦ加熱用コイル、５……ＭＯガス供給
管、５Ａ，５ａ……ガス導入口、６……ハイドラ
イドガス供給管、６Ａ，６ａ……ガス導入口、７
……デイフユーザ、７Ａ，７ａ……穴。
施例を示し、同図ａは縦断面図、同図ｂはそのＡ
−Ａ線拡大断面図、第２図は第１図の実施例の変
形例を示し、同図ａは縦断面図、同図ｂはそのＢ
−Ｂ線拡大断面図、第３図は従来のＭＯ―ＶＰＥ
反応装置を示し、同図ａは縦断面図、同図ｂはそ
のＣ−Ｃ線拡大断面図、第４図は従来の他の例を
示し、同図ａは縦断面図、同図ｂはそのＤ−Ｄ線
拡大断面図である。 １……反応管、２……サセプタ、３……ウエハ
、４……ＲＦ加熱用コイル、５……ＭＯガス供給
管、５Ａ，５ａ……ガス導入口、６……ハイドラ
イドガス供給管、６Ａ，６ａ……ガス導入口、７
……デイフユーザ、７Ａ，７ａ……穴。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 内部に結晶が成長されるウエハ等を配置する
反応管と、この反応管の一端にそれぞれガス導入
口が接続されたＭＯガス供給管及びハイドライド
ガス供給管とを備え、これらのガス供給管を通し
て供給されるＭＯガスとハイドライドガスとを反
応管内で混合させて前記ウエハ等の表面に結晶成
長させる反応装置において、前記ＭＯガス供給管
とハイドライドガス供給管は、それぞれのガス導
入口を複数本に分岐し、かつこれらが交互に並ぶ
ように配設したことを特徴とするＭＯ―ＶＰＥ反
応装置。 ２ ＭＯガス供給管とハイドライドガス供給管の
各ガス導入口をそれぞれ等しい数に分岐し、かつ
各ガス導入口を反応管の円周方向に沿つて交互に
配置してなる実用新案登録請求の範囲第１項記載
のＭＯ―ＶＰＥ反応装置。 ３ 各ガス導入口とウエハ等との間に反応管内に
、比較的に大きな径寸法をした多数個の穴を開設
したデイフユーザを配設してなる実用新案登録請
求の範囲第１項または第２項記載のＭＯ―ＶＰＥ
反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990019128U JPH03110831U (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990019128U JPH03110831U (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03110831U true JPH03110831U (ja) | 1991-11-13 |
Family
ID=31522266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990019128U Pending JPH03110831U (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03110831U (ja) |
-
1990
- 1990-02-27 JP JP1990019128U patent/JPH03110831U/ja active Pending
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