JPH0311380B2 - - Google Patents

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JPH0311380B2
JPH0311380B2 JP59182735A JP18273584A JPH0311380B2 JP H0311380 B2 JPH0311380 B2 JP H0311380B2 JP 59182735 A JP59182735 A JP 59182735A JP 18273584 A JP18273584 A JP 18273584A JP H0311380 B2 JPH0311380 B2 JP H0311380B2
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JP
Japan
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air
tunnel
clean
duct
port
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JP59182735A
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English (en)
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JPS6162740A (ja
Inventor
Hirokuni Tanaka
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanki Engineering Co Ltd
Original Assignee
Sanki Engineering Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sanki Engineering Co Ltd filed Critical Sanki Engineering Co Ltd
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、クリーントンネルに清浄空気を供
給する送風清浄装置に関する。
「従来の技術」 一般に、半導体ウエハーなどの高度な清浄度を
要求される搬送物を搬送するため、搬送用自走台
車を運行する搬送用トンネル部内を清浄空気で充
満するクリーントンネルが使用されているが、そ
の送風清浄装置として従来から用いられているも
のは、例えば第５図以下に示すようなものがあ
る。
角筒状をしたクリーントンネル１の本体２上部
に全幅全長にわたつて空気区画２ｋとその下に
HEPAフイルタ３とが設けられており、送風手
段（図示省略）により外部から送られた空気は、
前記本体２の一方の側壁２ｓの上部に穿設された
複数個の給気口４から空気区画２ｋへ送り込ま
れ、HEPAフイルタ３を通り過されて清浄空
気の層流となつて底板２ｂの中央に走行レース５
を敷設した搬送用トンネル部２内へ吹出し充満す
る。次いで前記給気口４に対応した箇所で底板２
ｂと走行レース５とを貫通して設けられて排気口
６から排風手段（図示省略）によつて吸引され、
外部へ排出される。
そして空気系統は、第６図に示すように、大気
を吸入して送る送風機７からクリーントンネル１
に平行して主送風管８が敷設されており、更に、
該主送風管８から複数本の枝送風管９が分岐して
それぞれ前記給気口４に連通してなる送風手段１
０と、一方、各排気口６は、枝排気管１１を介し
て主排気管１２に連通され、該主排気管１２は、
クリーントンネル１に平行して排風機１３に導か
れ、自走台車１５の走行に伴なつて発生する摩耗
粉塵を含む清浄空気を大気へ放出する排風手段１
４とから構成されている。
「発明が解決しようとする問題点」 しかしながら、このような従来の送風清浄装置
にあつては、空気配管が複雑で、クリーントンネ
ル全体が大型化するばかりか、搬送用トンネル部
に吹き出す清浄空気層流の気速が送風機からの遠
近によつて不斉となり、また、摩耗粉塵を含むと
はいえ折角の清浄空気を大気中へ放出してしまう
という無駄がある。
「問題点を解決するための手段」 この発明は、叙上の問題点に着目してなされた
もので、搬送用トンネル部を、搬送物蓋なし収納
ケースを走行駆動部に立設した支筒上方に載設し
た搬送用自走台車を運行するため、搬送用トンネ
ル部と走行駆動部用トンネル部とに区分したクリ
ーントンネルに対する送風清浄装置として、送風
機を内設したダクトによりなる送風手段の複数を
所望の間隔をもつてクリーントンネルの側壁に配
設し、清浄空気の循環路を設けるとともに、前記
ダクトに補助給気口を、搬送物用トンネル部に補
助排気口をそれぞれ設けた構成とすることによ
り、これらの問題点を解決したものである。
「作用」 したがつて、送風機から出た空気はHEPAフ
イルタにより清浄空気となり、搬送物用トンネル
部と走行駆動部用トンネル部とを通つて大部分の
ものは再び送風機に戻り、清浄空気の循環流を形
成するが一部は補助排気口から大気中に放出され
その放出分を補うように補助給気口から大気が補
充されてクリーントンネル内の清浄化を図ること
ができる。
「実施例」 以下、この発明の一実施例を第１図及び第２図
に基づいて説明する。
まず、構成を述べる。
この送風清浄装置を適用するクリーントンネル
２１は、第１図に示すように、走行駆動部用２５
ｒに立設した支柱筒２５ｓに機器部２５ｋ及び搬
送物蓋なし収納ケース２５ｃを載設してなる搬送
用の自走台車２５を運行するため、搬送用トンネ
ル部２３を、走行駆動部用トンネル部２３ｒと搬
送物用トンネル部２３ｈとに区分するように、前
記支柱筒２５ｓを通行させる中央空気路２４ｃと
一対の側方空気路２４ｓとを形成したセパレータ
２４を設けたものである。
そして、この実施例の送風清浄装置は、クリー
ントンネル２１の本体２２の一方の側壁２２ｓ外
面に適当な間隔をもつて配設された複数の送風手
段３０と、該送風手段３０にそれぞれ対応して前
記側壁２２ｓに穿設された空気区画２２ｋの給気
口２６及び走行駆動部用トンネル部２３ｒの排気
口２７と、搬送物用トンネル部２３ｈの開閉可能
な重錘付き調整板２８を具備する補助排気口２９
と、前記空気区画２２ｋと、その下に設けられた
HEPAフイルタ３とから構成されたものである。
なお、送風手段３０は、送風機３１を垂設した
間仕切板３２ｍにより送風ダクト３２ｓと吸入ダ
クト３２ｋとに区分されたダクト３２からなり、
送風ダクト３２ｓは前記給気口２６に連通し、吸
入ダクト３２ｋには前記排気口２７が連通し、か
つ、下面に大気を吸入する補助吸入口３３が開口
している。また、前記調整板２８は、送風手段３
０の近くに開口した方形の補助排気口２９の上辺
に蝶番３４をもつて外方へ啓開可能となつてお
り、下辺に付設された重錘２８ｊにより常には補
助排気口２９を閉鎖している。（第２図参照） そして、各給気口２６の断面積を１００とした
場合、排気口２７は80、補助排気口２９及び補助
給気口３３は20の割合となるように形成されてい
る。
次に、作用を述べる。
送風機３１を起動すると、該送風機３１から出
た空気は、送風ダクト３２ｓ、給気口２６を通つ
て空気区画２２ｋに入り、HEPAフイルタ３に
過され、気速0.5ｍ／ｓほどの清浄空気層流と
なつて搬送物用トンネル部２３ｋ内へ流入し、セ
パレータ２４によつて流下を制限されているた
め、内部空気圧は上昇する。そして外部の空気圧
よりも高くなり、調整板２８の閉鎖状態を維持し
ようとする重錘作用に打ち克つと、該調整板２８
を外方に開いて内部の清浄空気を、循環空気量の
ほぼ20％の割合で外部へ溢出させる。一方、セパ
レータ２４に形成された前記空気路２４ｃ，２４
ｓからは大部分の清浄空気が、約４ｍ／ｓの気速
となつて走行駆動部用トンネル部２３ｒ内へ流入
し、排気口２７から吸入ダクト３２ｋへ循環空気
量のほぼ80％の割合で吸入され、補助吸入口３３
から吸入される循環空気量のほぼ20％に相当する
量の大気とともに送風機３１に吸い込まれ、再び
送風ダクト３２ｓから空気区画２２ｋに送られ
る。すなわち、清浄空気の以上一連の循環気流
は、ほぼ20％ずつ大気と入れ替りつつ循環するわ
けであるが、これは循環気流の温度上昇を防止す
る冷却処置であるばかりか流量をほぼ一定に維持
する方策でもある。
なお、他の実施例として第３図に示すような構
成としてもよい。この実施例は、送風手段３０′
の送風ダクト３２′ｓ内にHEPAフイルタ３′を
設置し送風機３１からの給気を該フイルタ３′に
過した後、給気口２６を介して空気区画２２ｋ
へ送り込み、クリーントンネル２１内のHEPA
フイルタ３は排除して代りに設けた整流板３５を
通して清浄空気層流を搬送物用トンネル部２３ｈ
へ吹き出させるものである。
したがつて、HEPAフイルタ３の占める容積
分だけクリーントンネル２１全長にわたつて小型
化することが可能となり、かつ、HEPAフイル
タの顕著な節約を図ることができるばかりか、
HEPAフイルタの交換も極めて容易になるとい
う効果が得られる。
なお、第４図にこの発明の送風清浄装置を装備
したクリーントンネル２１の設置状態を示す。４
１はエンバイロメンタルチヤンバー、４２は、ラ
イン型クリーンベンチ、４３は、簡易型クリーン
ブースである。
「発明の効果」 以上説明してきたように、この発明は、クリー
ントンネルの側壁外に所望の間隔をもつて、送風
機を内設する送風手段を複数配設し、補助排気口
と補助吸入口とにより一部の空気量を大気と入れ
替えながら清浄空気を循環使用する構成としたた
め、クリーントンネル内の温度を上昇させること
なく、かつ、該トンネルの長さに無関係に一定量
の循環気流によつて各部斉一な高い清浄度を維持
させることができるという効果がある。また、清
浄空気の放出も著しく減少し、清浄化の効率が向
上するばかりか、装置全体もコンパクトになると
いう利点もある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、この発明の一実施例を示す断面図、
第２図は、同じく一部断面斜視図、第３図は、他
の実施例を示す断面図、第４図は、この発明の送
風清浄装置を装備したクリーントンネルの設置状
態を示す斜視図、第５図は、従来の送風清浄装置
を示す断面図、第６図は、従来のクリーントンネ
ル外の空気系統を示す略線図である。 ３……HEPAフイルタ、２１……クリーント
ンネル、２２ｋ……空気区画、２２ｓ……側壁、
２３……搬送用トンネル部、２３ｒ……走行駆動
部用トンネル部、２３ｈ……搬送物用トンネル
部、２４……セパレータ、２４ｃ……中央空気
路、２４ｓ……側方空気路、２５……自走台車、
２５ｓ……支柱筒、２６……給気口、２７……排
気口、２８……調整板、２８ｊ……重錘、２９…
…補助排気口、３０……送風手段、３１……送風
機、３２……ダクト、３２ｓ……送風ダクト、３
２ｋ……吸入ダクト、３２ｍ……間仕切板、３３
……補助吸入口。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 給気口２６を有する空気区画２２ｋ及びフイ
    ルタ３を設け、これに連なる搬送用トンネル部２
    ３を搬送物用トンネル部２３ｈと走行駆動部用ト
    ンネル部２３ｒとに、空気路２４ｃ，２４ｓを形
    成したセパレータ２４で区分したクリーントンネ
    ル２１において、クリーントンネル２１の一方の
    側壁２２ｓ外面に、送風機３１を垂設した間仕切
    板３２ｍにより送風ダクト３２ｓと吸入ダクト３
    ２ｋとに区分したダクト３２によりなる送風手段
    ３０複数を、所望の間隔をもつて配設し、送風ダ
    クト３２ｓを前記給気口２６を介して空気区画２
    ２ｋに連通し、一方、吸入ダクト３２ｋには走行
    駆動部用トンネル部２３ｒから排気口２７を介し
    て連通させるとともに補助吸入口３３を穿設し、
    また、前記送風手段３０に近い搬送物用トンネル
    部２３ｈの側壁２２ｓに、開閉可能な重錘２８ｊ
    付き調整板２８を具備した補助排気口２９を穿設
    し、断面積を前記給気口２６の100に対し排気口
    ２７は80、補助排気口２９及び補助吸入口３３は
    20の割合いの大きさにそれぞれ形成して構成した
    ことを特徴とするクリーントンネル送風清浄装
    置。
JP59182735A 1984-09-03 1984-09-03 クリ−ントンネル送風清浄装置 Granted JPS6162740A (ja)

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JPS6162740A JPS6162740A (ja) 1986-03-31
JPH0311380B2 true JPH0311380B2 (ja) 1991-02-15

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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0736418B2 (ja) * 1986-05-19 1995-04-19 富士通株式会社 ウエーハキャリア
GB2198413B (en) * 1986-11-20 1990-01-17 Shimizu Construction Co Ltd Transporting robot for semiconductor wafers
US4880581A (en) * 1986-12-24 1989-11-14 Alcon Laboratories, Inc. Means and method for aseptic particle-free production of articles
DE3716977A1 (de) * 1987-05-20 1988-12-01 Siemens Ag Reinraum-linearachsenkonzept fuer industrieroboter
US4934920A (en) * 1987-06-17 1990-06-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Apparatus for producing semiconductor device
US4927438A (en) * 1987-12-01 1990-05-22 Varian Associates, Inc. Horizontal laminar air flow work station
DE3805212A1 (de) * 1988-02-19 1989-08-31 Hahn Glasbau Vitrine zur aufbewahrung und/oder zur zurschaustellung von gegenstaenden
JPH0756879B2 (ja) * 1988-03-31 1995-06-14 日鉄セミコンダクター株式会社 半導体の無塵化製造装置
JPH026868A (ja) * 1988-06-25 1990-01-11 Taikisha Ltd 塗装ブースにおける塗装装置設置方法と塗装ブースの一部を構成する塗装機操作ユニット
US4986715A (en) * 1988-07-13 1991-01-22 Tokyo Electron Limited Stock unit for storing carriers
US5626820A (en) * 1988-12-12 1997-05-06 Kinkead; Devon A. Clean room air filtering
US5083558A (en) * 1990-11-06 1992-01-28 Thomas William R Mobile surgical compartment with micro filtered laminar air flow
US5570987A (en) * 1993-12-14 1996-11-05 W. L. Gore & Associates, Inc. Semiconductor wafer transport container
US5713711A (en) * 1995-01-17 1998-02-03 Bye/Oasis Multiple interface door for wafer storage and handling container
US5713791A (en) * 1995-04-06 1998-02-03 Motorola, Inc. Modular cleanroom conduit and method for its use
US5833726A (en) * 1995-05-26 1998-11-10 Extraction System, Inc. Storing substrates between process steps within a processing facility
US6189195B1 (en) 1995-08-22 2001-02-20 Medrad, Inc. Manufacture of prefilled syringes
US5687542A (en) * 1995-08-22 1997-11-18 Medrad, Inc. Isolation module for molding and packaging articles substantially free from contaminants
WO1998050134A1 (en) * 1997-05-09 1998-11-12 Szatmary Michael A Isolation chamber air curtain apparatus
US5944602A (en) * 1997-09-09 1999-08-31 Tumi Manufacturing, Inc. Portable cleanroom cabinet assembly
US5947170A (en) * 1998-02-10 1999-09-07 Vital Signs Inc. Aseptic liquid filling
US6364762B1 (en) * 1999-09-30 2002-04-02 Lam Research Corporation Wafer atmospheric transport module having a controlled mini-environment
WO2002079699A1 (fr) * 2001-03-29 2002-10-10 Kabushiki Kaisha Sankyo Seiki Seisakusho Systeme de production
TW532158U (en) * 2002-07-10 2003-05-11 Nat Defense Medical Ct Treatment chair with air curtain protection
KR102139249B1 (ko) * 2018-04-03 2020-07-29 우범제 이에프이엠

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2528087A (en) * 1948-01-02 1950-10-31 Kwikset Locks Inc Apparatus for spray coating
US2737879A (en) * 1953-02-05 1956-03-13 Alfred A Cooke Air pressure regulator
NL123318C (ja) * 1960-05-12 1900-01-01
US3395972A (en) * 1965-05-20 1968-08-06 Universal Oil Prod Co Method of cleaning and purifying particle laden discharge streams
US3487766A (en) * 1968-01-12 1970-01-06 American Air Filter Co Clean room having substantially vertical air flow therein
US3630138A (en) * 1970-10-26 1971-12-28 United Aircraft Corp Air-conditioning system with positive pressurization
US4266504A (en) * 1979-08-10 1981-05-12 Deere & Company Paint spraying assembly
US4338958A (en) * 1980-07-10 1982-07-13 Junji Fujita Spray booth assembly for washing or chemically treating objects of desired kind
DE3124652A1 (de) * 1981-06-23 1983-01-05 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Verfahren zur herstellung von phenylessigsaeure und t-butylamin

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US4660464A (en) 1987-04-28
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