JPH0311620A - 半導体ウェハ熱処理炉用ボートローダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体ウェハ製造工程に使用される縦型熱処理
炉内にボートを出し入れする半導体ウェハ熱処理炉用ボ
ートローダに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のボートローダは第２図の斜視図に示すよ
うに構成されていた。被熱処理品の半導体ウェハ］はホ
ー１へ２に刻まれたスリット上に水平かつ平行に置かれ
保持され、このホード２はバッフル板８を介してキャッ
プ４上に置かれ、上部には熱処理炉である反応管６及び
ヒーター７が設ζフられていた。又、キャップ４が上下
動機構部５により上下し、被熱処理品である半導体ウェ
ハ１は、熱処理炉内の処理位置に出し入れされるように
なっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

一般的に熱処理炉に使用されるホード３．バッフル板８
．キャブ１４フ反応管６等は、耐熱性で且つ純度を要求
されるため高純度石英製のものが用いられている。上述
した従来のボートローダのボート２．バッフル板８．キ
ャップ６は積み重ねの構造となっており、転倒しないよ
うホード２の垂直度を維持するためには、ボート２．バ
ッフル板８．キャップ４のそれぞれの垂直度平行度に高
い精度が必要であっ／ご３゜ また、一般的に熱処理温度は、石英の安全使用温度のう
ちの最高温度付近にて使用するため、長期間の使用にて
変形し、かつボート２．バッフル板８．キャップ４は積
み重ね構造のため、半導体ウェハ１．ボート２の重さが
バッフル板８にかかっており、バッフル板８のわずかな
変形により、ボート２の先端部の位置が極端に変わり、
ひいては半導体ウェハ１が水平でなくなる、また、ボー
ト２が倒れ易くなる等の欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、半導体ウェハを水平かつ平行に保持したボー
トを上下動ｆｉ構により縦型熱処理炉内に出し入れする
半導体ウェハ熱処理炉用ボートローダにおいて、前記ボ
ートを懸垂させる懸垂治具を前記上下動機構に取り付け
た半導体ウェハ熱処理用ボートローダである。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の斜視図である。半導体ウェ
ハ１はボート２に刻まれたスリット上に水平かつ平行に
置かれ保持されている。ボート２は逆Ｖ字型の懸垂治具
３に上端にて引掛かかる構造を有しており、懸垂されて
いる。従って従来のバッフル板は不要となる。懸垂治具
３はキャップ４に溶接され、真っ直ぐに立っている。キ
ャップ４は上下動機構部５により上下動し、被熱処理品
である半導体ウェハ１はヒーター７により加熱された反
応管６中に挿入され、また反応管６より弓き出される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明のボートローダは、半導体ウ
ェハを保持したボートを懸垂治具に懸垂させることによ
り、ボートの自重により常に垂直方向の姿勢を維持する
ことができ、従来のボートローダにおけるボート、バッ
フル板、キャップに要求される高精度を必要とせず、ま
た、熱変形に対して垂直方向に姿勢変形力が働くため、
半導体ウェハの平行度は維持される。ひいては、懸垂治
具、ボート、キャップの使用寿命を充分長くする効果を
有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は従来のボ
ートローダの斜視図である。 １・・・半導体ウェハ、２・・・ボート、３・・・懸垂
治具、４・・・キャップ、５・・・上下動機構部、６・
・・反応管、７・・・ヒーター

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体ウェハを水平かつ平行に保持したボートを上下動
   機構により縦型熱処理炉内に出し入れする半導体ウェハ
   熱処理炉用ボートローダにおいて、前記ボートを懸垂さ
   せる懸垂治具を前記上下動機構に取り付けたことを特徴
   とする半導体ウェハ熱処理炉用ボートローダ。