JPH03116559U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03116559U JPH03116559U JP2219790U JP2219790U JPH03116559U JP H03116559 U JPH03116559 U JP H03116559U JP 2219790 U JP2219790 U JP 2219790U JP 2219790 U JP2219790 U JP 2219790U JP H03116559 U JPH03116559 U JP H03116559U
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- JP
- Japan
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- tensile
- exchange
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- Pending
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- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を説明するための試
料微動装置の微動台構成図、第２図は微動台の詳
細図、第３図は試料ホルダの詳細断面図である。 １……電子ビーム、２……対物レンズ、３……
試料、４……試料支持棒Ａ、５……試料支持棒Ｂ
、６……回転防止板、７……試料棒、８……試料
ホルダ、９……ロツクナツト、１０……Ｒ動作機
構、１１……Ｘ動作機構、１２……Ｙ動作機構、
１３……Ｚ動作機構、１４……Ｔ動作機構、１５
……ストツパー棒Ａ、１６……ストツパー棒Ｂ、
１７……ウオームギア。
料微動装置の微動台構成図、第２図は微動台の詳
細図、第３図は試料ホルダの詳細断面図である。 １……電子ビーム、２……対物レンズ、３……
試料、４……試料支持棒Ａ、５……試料支持棒Ｂ
、６……回転防止板、７……試料棒、８……試料
ホルダ、９……ロツクナツト、１０……Ｒ動作機
構、１１……Ｘ動作機構、１２……Ｙ動作機構、
１３……Ｚ動作機構、１４……Ｔ動作機構、１５
……ストツパー棒Ａ、１６……ストツパー棒Ｂ、
１７……ウオームギア。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料室の高真空をリークすることなく試料交
換可能な試料交換装置と試料の回転ができる試料
微動装置より成る走査形電子顕微鏡の試料ホルダ
において、試料ホルダ上の試料支持棒に回転防止
板を設けたことを特徴とする引張試料ホルダ。 ２ 請求項第１項において、水平Ｘ，Ｙ、傾斜Ｔ
、垂直Ｚ及び回転Ｒ機構より成る前記試料微動装
置において、水平動作機構に２本のストツパー棒
を設けたことを特徴とする引張試料ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2219790U JPH03116559U (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2219790U JPH03116559U (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03116559U true JPH03116559U (ja) | 1991-12-03 |
Family
ID=31525215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2219790U Pending JPH03116559U (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03116559U (ja) |
-
1990
- 1990-03-07 JP JP2219790U patent/JPH03116559U/ja active Pending
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