JPH03122277A - 差圧シール装置 - Google Patents
差圧シール装置Info
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- JPH03122277A JPH03122277A JP26025489A JP26025489A JPH03122277A JP H03122277 A JPH03122277 A JP H03122277A JP 26025489 A JP26025489 A JP 26025489A JP 26025489 A JP26025489 A JP 26025489A JP H03122277 A JPH03122277 A JP H03122277A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
長尺薄帯、例えば冷延ないし熱延鋼帯のような長尺材を
連続的に送給しつつこれに真空蒸着、イオンブレーティ
ング、スパッタリングなどのいわゆるドライブレーティ
ング法によって表面処理を施す際には複数の圧力差のあ
る空間領域相互によってドライブレーティング領域に至
る間に順次真空度を上げ、ついで下げていくエアー・ト
ウ・エアー（Ａｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ）方式が用いられる
。この発明はこの差圧室相互間の圧力差を維持しつつ長
尺薄帯の通過を誘導するのに好適な差圧シール装置に関
するものである。
連続的に送給しつつこれに真空蒸着、イオンブレーティ
ング、スパッタリングなどのいわゆるドライブレーティ
ング法によって表面処理を施す際には複数の圧力差のあ
る空間領域相互によってドライブレーティング領域に至
る間に順次真空度を上げ、ついで下げていくエアー・ト
ウ・エアー（Ａｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ）方式が用いられる
。この発明はこの差圧室相互間の圧力差を維持しつつ長
尺薄帯の通過を誘導するのに好適な差圧シール装置に関
するものである。
（従来の技術）
エア・トウ・エア方式に関しては、例えば米国特許第２
３８４５００号、同２９７２３３０号、同２９９６４１
０号明細書をはじめ、三菱重工技報Ｖｏ１．２１ （１
９８４）ｈ６のｐ１〜７などのように近年来の精密工作
技術の進歩と相まって、実用化が進められつつある。
３８４５００号、同２９７２３３０号、同２９９６４１
０号明細書をはじめ、三菱重工技報Ｖｏ１．２１ （１
９８４）ｈ６のｐ１〜７などのように近年来の精密工作
技術の進歩と相まって、実用化が進められつつある。
これらのシール法のうちの、とくに最後に引用した文献
には、通板の向きにわずかに軸心をずらせた一対のロー
ル間に挟んで長尺材を各ロール周面に沿わせるようにし
て、シール面積を拡大することが、また最近に至って特
開昭６２−１３５７２号公報では、一対の通板ロールに
長尺材を囲うシールバーとアダプターとを組み合わせて
、その、囲いの内部にて差圧を維持する試みが提案され
ているが、何れにあっても一対のロール間に長尺材を挟
圧して通板するので、被処理物はその表裏面で曲げ応力
、圧縮応力が働き、さらには大きな張力も受ける。
には、通板の向きにわずかに軸心をずらせた一対のロー
ル間に挟んで長尺材を各ロール周面に沿わせるようにし
て、シール面積を拡大することが、また最近に至って特
開昭６２−１３５７２号公報では、一対の通板ロールに
長尺材を囲うシールバーとアダプターとを組み合わせて
、その、囲いの内部にて差圧を維持する試みが提案され
ているが、何れにあっても一対のロール間に長尺材を挟
圧して通板するので、被処理物はその表裏面で曲げ応力
、圧縮応力が働き、さらには大きな張力も受ける。
このような張力や局部的な面圧の作用は、製品の品質に
悪影響を及ぼし、例えば一方向性けい素鋼板にエア・ト
ウ・エア方式を適用した際には磁気特性の劣化を起こす
ことがわかった。
悪影響を及ぼし、例えば一方向性けい素鋼板にエア・ト
ウ・エア方式を適用した際には磁気特性の劣化を起こす
ことがわかった。
また上記のような問題に加え、長尺材の通板中の振動に
よる仮割れなども発生し易く、さらには長尺薄帯の搬送
過程で付着したごみなどによって、汚れや表面きずが生
じたりすることが指摘されるようになった。
よる仮割れなども発生し易く、さらには長尺薄帯の搬送
過程で付着したごみなどによって、汚れや表面きずが生
じたりすることが指摘されるようになった。
（発明が解決しようとする課題）
長尺薄帯の通板時に品質劣化の原因となる強い面圧を受
けたり、通板中の長尺材の振動に起因した仮割れ、ある
いは薄帯の搬送過程で付着したごみに起因した汚れや表
面きずの発生なしにより高い差圧シールが実現できる装
置を提案することがこの発明の目的である。
けたり、通板中の長尺材の振動に起因した仮割れ、ある
いは薄帯の搬送過程で付着したごみに起因した汚れや表
面きずの発生なしにより高い差圧シールが実現できる装
置を提案することがこの発明の目的である。
（課題を解決するための手段）
この発明は、圧力差のある空間領域相互間の境界にて長
尺薄帯の巻きがけ案内を司る単一のガイドロールと、こ
のガイドロールの外周をほぼ半周にわたって取り囲み長
尺薄帯の巻きがけ域を除いてガイドロールの外周面に対
し極微小なすき間を形成する凹円弧状シール面と巻きが
け域にて長尺薄帯の背面ならびに両側縁に対してやはり
極微細なすき間を直接形成する第２の凹円弧状シール面
および第２の凹円弧状シール面の奥でこれに連なってガ
イドロールの接線方向に長尺薄帯の断面寸法に比しはる
かに太き（開口するスリットを有するアタッチメントを
備え、上記第２の凹円弧状シール面に、搬送過程におけ
る長尺薄帯の進行方向に対して逆向きに高圧ガスを吹き
つけ、この高圧ガスを該シール面とガイドロールとで形
成されるすき間を通して大気側に放出するノズル群を配
置したことを特徴とする差圧シール装置である。
尺薄帯の巻きがけ案内を司る単一のガイドロールと、こ
のガイドロールの外周をほぼ半周にわたって取り囲み長
尺薄帯の巻きがけ域を除いてガイドロールの外周面に対
し極微小なすき間を形成する凹円弧状シール面と巻きが
け域にて長尺薄帯の背面ならびに両側縁に対してやはり
極微細なすき間を直接形成する第２の凹円弧状シール面
および第２の凹円弧状シール面の奥でこれに連なってガ
イドロールの接線方向に長尺薄帯の断面寸法に比しはる
かに太き（開口するスリットを有するアタッチメントを
備え、上記第２の凹円弧状シール面に、搬送過程におけ
る長尺薄帯の進行方向に対して逆向きに高圧ガスを吹き
つけ、この高圧ガスを該シール面とガイドロールとで形
成されるすき間を通して大気側に放出するノズル群を配
置したことを特徴とする差圧シール装置である。
ここにこの発明では、巻きがけ域にて長尺薄帯の背面に
対して微小すき間を直接形成する第２の凹円弧状シール
面に長尺薄帯の長手方向と交差する向きに複数の溝を形
成しておくのがよい。
対して微小すき間を直接形成する第２の凹円弧状シール
面に長尺薄帯の長手方向と交差する向きに複数の溝を形
成しておくのがよい。
さて第１図（ａ）（ロ）（Ｃ）にこの発明に従う装置の
一例を大気圧Ｐ、から添数字の順の圧力Ｐに高めていく
場合について示し、同図における番号１は長尺薄帯、２
は例えば圧力Ｐ１になる空間と圧力Ｐ０になる空間領域
の境界にて長尺薄帯１の巻きがけ案内を司る単一のガイ
ドロールであり、このガイドロール２は図示はしないが
軸受は支持されていて長尺薄帯１を予め設定された巻付
き接触角ｅにて巻きがけする。また３はアタッチメント
であって、このアタッチメント３はガイドロール２の外
周をほぼ半周にわたって取り囲み該薄帯１の巻きがけ域
を除いてガイドロール２の外周面に対して極微小なすき
間αを形成する凹円弧状シール面Ｓｌと巻きがけ域にて
該薄帯ｌの背面並びに両縁に対してやはり極微細なすき
間α１．α２を直接形成する第２の凹円弧状シール面Ｓ
２とこのシール面Ｓ２の奥でこれに連なってガイドロー
ル２の接線方向に該薄帯ｌの断面寸法に比しはるかに大
きく開口するスリットｔを有する。また４はヘッダーＨ
を有し、搬送過程にある長尺薄帯ｌの進行方向に対して
逆向きに高圧ガスを吹きつけ、このガスをすき間α１を
通して大気側に放出させるノズル群であり、このノズル
群４はシーリングアタッチメント３の第２の凹円弧状シ
ール面Ｓ２に、長尺薄帯１の幅方向にわたって均一に噴
射できるように設けられる。なお、ノズル群４による高
圧ガスの吹きつけ機構は図示の如きに限定されるもので
はなくいかようであってもよい。また５はケーシングｋ
によって形成される第一差圧室、６は同じく第二差圧室
、７は第三差圧室である。上記の構成になる差圧シール
装置においてより高い差圧を維持するために第２図に示
すように、アタッチメント３の少なくとも凹円弧状シー
ル面Ｓ！に長尺薄帯１の長手方向と交差する向きで複数
の溝３ａを設けることができる。この溝３ａは幅が０．
１〜１０ｍｍ。
一例を大気圧Ｐ、から添数字の順の圧力Ｐに高めていく
場合について示し、同図における番号１は長尺薄帯、２
は例えば圧力Ｐ１になる空間と圧力Ｐ０になる空間領域
の境界にて長尺薄帯１の巻きがけ案内を司る単一のガイ
ドロールであり、このガイドロール２は図示はしないが
軸受は支持されていて長尺薄帯１を予め設定された巻付
き接触角ｅにて巻きがけする。また３はアタッチメント
であって、このアタッチメント３はガイドロール２の外
周をほぼ半周にわたって取り囲み該薄帯１の巻きがけ域
を除いてガイドロール２の外周面に対して極微小なすき
間αを形成する凹円弧状シール面Ｓｌと巻きがけ域にて
該薄帯ｌの背面並びに両縁に対してやはり極微細なすき
間α１．α２を直接形成する第２の凹円弧状シール面Ｓ
２とこのシール面Ｓ２の奥でこれに連なってガイドロー
ル２の接線方向に該薄帯ｌの断面寸法に比しはるかに大
きく開口するスリットｔを有する。また４はヘッダーＨ
を有し、搬送過程にある長尺薄帯ｌの進行方向に対して
逆向きに高圧ガスを吹きつけ、このガスをすき間α１を
通して大気側に放出させるノズル群であり、このノズル
群４はシーリングアタッチメント３の第２の凹円弧状シ
ール面Ｓ２に、長尺薄帯１の幅方向にわたって均一に噴
射できるように設けられる。なお、ノズル群４による高
圧ガスの吹きつけ機構は図示の如きに限定されるもので
はなくいかようであってもよい。また５はケーシングｋ
によって形成される第一差圧室、６は同じく第二差圧室
、７は第三差圧室である。上記の構成になる差圧シール
装置においてより高い差圧を維持するために第２図に示
すように、アタッチメント３の少なくとも凹円弧状シー
ル面Ｓ！に長尺薄帯１の長手方向と交差する向きで複数
の溝３ａを設けることができる。この溝３ａは幅が０．
１〜１０ｍｍ。
深さ０．０１〜５ｍｍ 、間隔（ピッチ）が１〜２０ｍ
＊＋程度の複数の線状とするのが好ましく、その断面形
状はいかようであってもかまわない。第３図（ａ）（ト
））に上掲第１図に示した装置のシーリングアッタチメ
ント３の外観を、又第４図に上掲第２図に示した装置の
シーリングアッタチメント３の外観をそれぞれ分かり易
く図解した。なお、第１図に示した例において差圧室５
．６問および６．７間の差圧（Ｐ＋ Ｐｇ）、（Ｐｇ
Ｐｚ）は（Ｐｍ −ｐ＋）に比しはるかに小さいこ
ともあって、軸心を通板方向にずらせたロール対８，９
によるロールシールを用いた場合を示した。
＊＋程度の複数の線状とするのが好ましく、その断面形
状はいかようであってもかまわない。第３図（ａ）（ト
））に上掲第１図に示した装置のシーリングアッタチメ
ント３の外観を、又第４図に上掲第２図に示した装置の
シーリングアッタチメント３の外観をそれぞれ分かり易
く図解した。なお、第１図に示した例において差圧室５
．６問および６．７間の差圧（Ｐ＋ Ｐｇ）、（Ｐｇ
Ｐｚ）は（Ｐｍ −ｐ＋）に比しはるかに小さいこ
ともあって、軸心を通板方向にずらせたロール対８，９
によるロールシールを用いた場合を示した。
（作 用）
長尺薄帯１はガイドロール２に巻きがけられて極く微小
なすき間を通して大気圧Ｐ０から第１差圧室５内の圧力
Ｐ、に至るとくに高い差圧の下に送り進められ、しかも
この際第２の凹円弧状シール面Ｓ２のノズル群４より噴
出させた空気、窒素あるいはアルゴンガス等の高圧ガス
によって、微小すき間α、に比較的大きな乱流を積極的
に発生させることができるので、品質の劣化原因となる
強い面圧を受けることなしにより高い差圧シールが実現
できることとなる。また長尺薄帯ｌはこの高圧ガスによ
ってガイドロール２に強固に密着させられることになる
から、薄帯ｌの振動に起因した仮割れは効果的に回避さ
れる。
なすき間を通して大気圧Ｐ０から第１差圧室５内の圧力
Ｐ、に至るとくに高い差圧の下に送り進められ、しかも
この際第２の凹円弧状シール面Ｓ２のノズル群４より噴
出させた空気、窒素あるいはアルゴンガス等の高圧ガス
によって、微小すき間α、に比較的大きな乱流を積極的
に発生させることができるので、品質の劣化原因となる
強い面圧を受けることなしにより高い差圧シールが実現
できることとなる。また長尺薄帯ｌはこの高圧ガスによ
ってガイドロール２に強固に密着させられることになる
から、薄帯ｌの振動に起因した仮割れは効果的に回避さ
れる。
なお、第１図に示したところにおいてすき間α２につい
ては長尺薄帯１の幅が変わった場合多少は許容せざるを
えないが、気密性を有しロールの軸方向に移動可能な補
助板等を設置することにより適宜に対処できる。
ては長尺薄帯１の幅が変わった場合多少は許容せざるを
えないが、気密性を有しロールの軸方向に移動可能な補
助板等を設置することにより適宜に対処できる。
（実施例）
この発明に従い差圧シールを２回繰り返すことによって
大気圧Ｐ、から圧力Ｐ、さらにＰｔからＰ、への高差圧
をより有利に達成し得る例を示した第２図の装置を適用
して、ここに板厚０．２０ｍ１ｗ、板幅５００ｇａｍの
冷延鋼板をラインスピード１５ａ／ｓｉｎにて通板させ
、各差圧室のシール状況について調査した。その結果を
表−１に示すが、この発明に従うことで高い差圧を維持
できるのは勿論、仮割れやごみ等の付着による汚れ、表
面きずの発生が全くないことが確かめられた。
大気圧Ｐ、から圧力Ｐ、さらにＰｔからＰ、への高差圧
をより有利に達成し得る例を示した第２図の装置を適用
して、ここに板厚０．２０ｍ１ｗ、板幅５００ｇａｍの
冷延鋼板をラインスピード１５ａ／ｓｉｎにて通板させ
、各差圧室のシール状況について調査した。その結果を
表−１に示すが、この発明に従うことで高い差圧を維持
できるのは勿論、仮割れやごみ等の付着による汚れ、表
面きずの発生が全くないことが確かめられた。
（発明の効果）
かくしてこの発明によれば、より高い差圧が維持できる
のは勿論であるが品質劣化の原因となる強い面圧を受け
ることもないし、搬送過程における板の振動に起因した
板割れや処理前に付着した薄帯表面のごみなどに起因し
た表面きず、よごれ等を効果的に回避できる。
のは勿論であるが品質劣化の原因となる強い面圧を受け
ることもないし、搬送過程における板の振動に起因した
板割れや処理前に付着した薄帯表面のごみなどに起因し
た表面きず、よごれ等を効果的に回避できる。
第１図（ａ）（ｂ）（Ｃ）はこの発明に従う差圧シール
装置の構成説明図、 第２図はこの発明に従う差圧シール装置の他の例を示し
た図、 第３図（ａ）（ｂ）及び第４図は、この発明に従う差圧
シール装置の要部の斜視図である。 １・・・長尺薄帯 ２・・・ガイドロール３・
・・シーリングアタッチメント ３ａ・・・溝 ４・・・噴射ノズル５・・
・第一差圧室 ６・・・第二差圧室７・・・第三
差圧室８，９・・・シールロールＳ１・・・凹円弧状シ
ール面 ・・・第２の凹円弧状シール面 α８．α２・・・微小すき間
装置の構成説明図、 第２図はこの発明に従う差圧シール装置の他の例を示し
た図、 第３図（ａ）（ｂ）及び第４図は、この発明に従う差圧
シール装置の要部の斜視図である。 １・・・長尺薄帯 ２・・・ガイドロール３・
・・シーリングアタッチメント ３ａ・・・溝 ４・・・噴射ノズル５・・
・第一差圧室 ６・・・第二差圧室７・・・第三
差圧室８，９・・・シールロールＳ１・・・凹円弧状シ
ール面 ・・・第２の凹円弧状シール面 α８．α２・・・微小すき間
Claims (2)
- １．圧力差のある空間領域相互間の境界にて長尺薄帯の
巻きがけ案内を司る単一のガイドロールと、このガイド
ロールの外周をほぼ半周にわたって取り囲み長尺薄帯の
巻きがけ域を除いてガイドロールの外周面に対し極微小
なすき間を形成する凹円弧状シール面と巻きがけ域にて
長尺薄帯の背面ならびに両側縁に対してやはり極微細な
すき間を直接形成する第２の凹円弧状シール面および第
２の凹円弧状シール面の奥でこれに連なってガイドロー
ルの接線方向に長尺薄帯の断面寸法に比しはるかに大き
く開口するスリットを有するアタッチメントを備え、上
記第２の凹円弧状シール面に、搬送過程における長尺薄
帯の進行方向に対して逆向きに高圧ガスを吹きつけ、こ
の高圧ガスを該シール面とガイドロールとで形成される
すき間を通して大気側に放出するノズル群を配置したこ
とを特徴とする差圧シール装置。 - ２．巻きがけ域にて長尺薄帯の背面に対して微小すき間
を直接形成する第２の凹円弧状シール面に長尺薄帯の長
手方向と交差する向きに複数の溝を形成した請求項１に
記載の差圧シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26025489A JPH03122277A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 差圧シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26025489A JPH03122277A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 差圧シール装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03122277A true JPH03122277A (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=17345493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26025489A Pending JPH03122277A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 差圧シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03122277A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016017182A (ja) * | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 株式会社Ihi | 真空シール装置及び真空プロセス処理システム |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP26025489A patent/JPH03122277A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016017182A (ja) * | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 株式会社Ihi | 真空シール装置及び真空プロセス処理システム |
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