JPH0312402A - 感光性樹脂積層体の製造方法 - Google Patents
感光性樹脂積層体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0312402A JPH0312402A JP14647689A JP14647689A JPH0312402A JP H0312402 A JPH0312402 A JP H0312402A JP 14647689 A JP14647689 A JP 14647689A JP 14647689 A JP14647689 A JP 14647689A JP H0312402 A JPH0312402 A JP H0312402A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive resin
- film
- layer
- printed wiring
- resin solution
- Prior art date
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- Pending
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- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は感光性樹脂積層体の製造方法に関する。
（従来の技術）
従来より、プリント配線基板はプリント配線用基板にド
ライフィルムホトレジスト（以下ＤＦＲという）をｍ旙
し露光、現像等を行うことＥζよって製作されている。
ライフィルムホトレジスト（以下ＤＦＲという）をｍ旙
し露光、現像等を行うことＥζよって製作されている。
上記ＤＦＲは支持フィルムＪ：４ζ感光性樹ｍ溶液を塗
布乾燥して感光性樹脂層を形成した後その１醗ζ剥離性
フィルム状物を積層することをζよって製造されており
、使用する際は剥離性フィルム状物を刺離し、その面を
プリント配線用基板等に圧着している。
布乾燥して感光性樹脂層を形成した後その１醗ζ剥離性
フィルム状物を積層することをζよって製造されており
、使用する際は剥離性フィルム状物を刺離し、その面を
プリント配線用基板等に圧着している。
しかしながらと記方法で製造した場合Ｃζは感光性樹脂
溶液を塗布し、乾燥した面蕎こは感光性樹脂溶液を塗布
した際の斑や発泡等（こよる凹凸が生じており、ξの面
をプリント配線用基板に圧着することになるため、ＤＦ
Ｒと基板の間に気泡がはいりやすくなり、密着力も弱く
なるため、回路を形成した際に細いレジストラインが破
断し、製造効率が低い。
溶液を塗布し、乾燥した面蕎こは感光性樹脂溶液を塗布
した際の斑や発泡等（こよる凹凸が生じており、ξの面
をプリント配線用基板に圧着することになるため、ＤＦ
Ｒと基板の間に気泡がはいりやすくなり、密着力も弱く
なるため、回路を形成した際に細いレジストラインが破
断し、製造効率が低い。
（発明が解決しようとする課題）
本発明の目的は上記欠点に鑑み、平面が平滑で基板に対
する密着力がすぐれており、プリント配線用基板−ζ圧
着して回路を形成する際１こ細いレジストラインが破断
せず効率よくプリント配線基板を製造しうる馨光性樹脂
積ｊ一体の製造方法を提供することにある。
する密着力がすぐれており、プリント配線用基板−ζ圧
着して回路を形成する際１こ細いレジストラインが破断
せず効率よくプリント配線基板を製造しうる馨光性樹脂
積ｊ一体の製造方法を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明で使用される剥離性フィルム状物は、少なくとも
一表面が平滑であって、その表面Ｉこ感光性樹脂溶液が
塗布、乾燥されて形成された感光性樹脂ｊ−から剥離可
能なものであればよく、たとえばポリエチレンテレフタ
レート、ポリエチレン等のフィルム状物、及びその表面
が離型処理されたフィルム状物、１ｌ１１型紙等があげ
られる。
一表面が平滑であって、その表面Ｉこ感光性樹脂溶液が
塗布、乾燥されて形成された感光性樹脂ｊ−から剥離可
能なものであればよく、たとえばポリエチレンテレフタ
レート、ポリエチレン等のフィルム状物、及びその表面
が離型処理されたフィルム状物、１ｌ１１型紙等があげ
られる。
本発明で使用される感光性樹脂溶液は、従来よりＤＦＲ
用（こ使用されているものであればよく、たと九ば、メ
チル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレー
ト、ブチル（メタ）アクリレート、スチレン、アクリロ
ニトリルなどの（共）３１合体、上記モノマーと（メタ
）アクリル酸との共重合体等のバインダー テトラエチ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレングリコ
ールジメタクリレート、１．４−ブタンジオールジメタ
クリレート等のα、β−不飽和エチレン基を有する光重
合性七ツマ−及び、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン
、チオキサントン等の光重合開始剤等が酢酸エチル、メ
チルエチルケトン、トルエン、キシレン等の溶剤に溶解
された溶液があげられる。
用（こ使用されているものであればよく、たと九ば、メ
チル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレー
ト、ブチル（メタ）アクリレート、スチレン、アクリロ
ニトリルなどの（共）３１合体、上記モノマーと（メタ
）アクリル酸との共重合体等のバインダー テトラエチ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレングリコ
ールジメタクリレート、１．４−ブタンジオールジメタ
クリレート等のα、β−不飽和エチレン基を有する光重
合性七ツマ−及び、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン
、チオキサントン等の光重合開始剤等が酢酸エチル、メ
チルエチルケトン、トルエン、キシレン等の溶剤に溶解
された溶液があげられる。
又、上記感光性樹脂ＩＮ液１ζ、必要に応じて、着色剤
、重合禁止剤、抗酸化剤、可履剤、密着改良剤等が添加
されてもよい。このような組成物は、たとえば特公昭５
４−２５）９５７号公報、特公昭５８−１１４２号公報
等に記載されている。
、重合禁止剤、抗酸化剤、可履剤、密着改良剤等が添加
されてもよい。このような組成物は、たとえば特公昭５
４−２５）９５７号公報、特公昭５８−１１４２号公報
等に記載されている。
本発明で使用される支持フィルムは、積ノ一体から剥離
性フィルム状物を剥離する際に感光性樹脂層が剥離しな
いように感光性樹脂層との密着力が感光性樹脂層と剥離
性フィルム状物の密着力より大きりればよく、たとえば
ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレン
フィルム等があげられる。
性フィルム状物を剥離する際に感光性樹脂層が剥離しな
いように感光性樹脂層との密着力が感光性樹脂層と剥離
性フィルム状物の密着力より大きりればよく、たとえば
ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレン
フィルム等があげられる。
本発明壷ζおいては、まず剥離性フィルム状物上に感光
性樹脂＃ｌ液を塗布乾燥して、剥離性フィルム状物上に
感光性樹脂層を形成する。
性樹脂＃ｌ液を塗布乾燥して、剥離性フィルム状物上に
感光性樹脂層を形成する。
上記塗布方法及び乾燥方法は従来公知の任意の方法が採
用されてよく、塗布方法としては、たとえばドクターナ
イフ法、リバースロール法等があげられ、乾燥方法とし
てはたとえ・ば赤外線ヒーター法、熱風法等があげられ
る。
用されてよく、塗布方法としては、たとえばドクターナ
イフ法、リバースロール法等があげられ、乾燥方法とし
てはたとえ・ば赤外線ヒーター法、熱風法等があげられ
る。
感光性樹脂層が形成されると次に、その上に支持フィル
ムが積層されて感光性樹脂積層体が得られる。支持フィ
ルムの種層の際に加熱したり、加圧してもよい。
ムが積層されて感光性樹脂積層体が得られる。支持フィ
ルムの種層の際に加熱したり、加圧してもよい。
（作用）
本発明の感光性Ｉ８脂積層体を使用する１こは、まず剥
離性フィルム状物を剥離し、この面をプリント配線用基
板等６ζ圧着し、支持フィルム側から光を照射して感光
性ｗ脂を硬化させる。
離性フィルム状物を剥離し、この面をプリント配線用基
板等６ζ圧着し、支持フィルム側から光を照射して感光
性ｗ脂を硬化させる。
（実施例）
次に本発明の詳細な説明する。
実施例
メチルメタクリレート−ｎ−ブチルメタクリレート−メ
タクリル酸共重合体（］ｉ＊比５０；２５８２０、重量
平均分子量１５万） ５０重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート ｉｓｘ
、ｉｔ部テトラエチレングリコールジアクリレート
ｌ ５］量部２．４−ジエチルチオキサントン
２］を鬼部ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチ
ル ２１麓部マラカイトグリーン
Ｑ、０５１鼠部パラメトキシフェノール
α１１１１部メチルエチルケトン ２００重
量部上記組成からなる感光性樹脂溶液を、離型処理され
た、表面が平滑なポリエチレンテレフタレートフィルム
（厚さ２０μ）ｌｊｌｌｉ性フィルム状物）上−こ塗布
し、８０℃の熱風で１０分間乾燥して厚８５ａｕｍの感
光性樹脂層を形成した。次に、感光性樹脂層上に厚さ２
０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（支持フ
ィルム）を圧着して感光性樹脂積層体を得た。
タクリル酸共重合体（］ｉ＊比５０；２５８２０、重量
平均分子量１５万） ５０重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート ｉｓｘ
、ｉｔ部テトラエチレングリコールジアクリレート
ｌ ５］量部２．４−ジエチルチオキサントン
２］を鬼部ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチ
ル ２１麓部マラカイトグリーン
Ｑ、０５１鼠部パラメトキシフェノール
α１１１１部メチルエチルケトン ２００重
量部上記組成からなる感光性樹脂溶液を、離型処理され
た、表面が平滑なポリエチレンテレフタレートフィルム
（厚さ２０μ）ｌｊｌｌｉ性フィルム状物）上−こ塗布
し、８０℃の熱風で１０分間乾燥して厚８５ａｕｍの感
光性樹脂層を形成した。次に、感光性樹脂層上に厚さ２
０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（支持フ
ィルム）を圧着して感光性樹脂積層体を得た。
得られた積層体の剥離性フィルム状物を剥離しながら、
表面が脱脂及び研磨された銅張８１Ｍ板１ζラミネート
し、高圧水銀灯により１５０ ｍＪ／ｃ１１１露光した
。露光後支持フィルムを１１１離し、基盤目試験を行っ
たところ全く剥離しなかった。尚、基盤目試験は、硬化
した感光性樹脂ｊ−をｌａｍ間隔に縦横共に１１本ずつ
切れ目を入れ、１００個の基盤目を作成し、セロファン
テープを強く押しつけた後引き利して利離した個数を測
定した。
表面が脱脂及び研磨された銅張８１Ｍ板１ζラミネート
し、高圧水銀灯により１５０ ｍＪ／ｃ１１１露光した
。露光後支持フィルムを１１１離し、基盤目試験を行っ
たところ全く剥離しなかった。尚、基盤目試験は、硬化
した感光性樹脂ｊ−をｌａｍ間隔に縦横共に１１本ずつ
切れ目を入れ、１００個の基盤目を作成し、セロファン
テープを強く押しつけた後引き利して利離した個数を測
定した。
又、露光後支持フィルムを利離し、１％炭酸ナトリウム
水溶液でＩＫＩＩ／−スプレー現像したところ３０μｍ
以上の線まで密着していた（密着試験）。
水溶液でＩＫＩＩ／−スプレー現像したところ３０μｍ
以上の線まで密着していた（密着試験）。
さらにライン／スペースが各８０μｍ Ｒ隔（７）回路
パターンを有する陰画を用いて、上記と同様にし゛Ｃ露
光現像したところ１００枚中１枚も断線もなかった（歩
留り試験）。
パターンを有する陰画を用いて、上記と同様にし゛Ｃ露
光現像したところ１００枚中１枚も断線もなかった（歩
留り試験）。
比較例
厚さ２０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（
支持フィルム）すζ実施例で行ったと同様にして感光性
樹脂層を形成した後厚さ２０μｍのポリエチレンフィル
ム（剥離性フィルム状物）を積層し′Ｃ感光性樹脂積層
体を得た。
支持フィルム）すζ実施例で行ったと同様にして感光性
樹脂層を形成した後厚さ２０μｍのポリエチレンフィル
ム（剥離性フィルム状物）を積層し′Ｃ感光性樹脂積層
体を得た。
得られた積層体を用いて実施例で−Ｆつだと同様にして
基盤目試験を行ったところ３０個判離し、密着試験した
ところ６０μｍ以上の線まで密着しており、歩留り試験
したところ３５枚断線していた。
基盤目試験を行ったところ３０個判離し、密着試験した
ところ６０μｍ以上の線まで密着しており、歩留り試験
したところ３５枚断線していた。
（発明の効果）
本発明、′の感光性樹脂積層体の製造方法は上述の通り
であり、感光性樹脂溶液は表面が平滑なｔＪｌｌＩｉ性
フィルム状物に塗布乾燥されるのであるから感光性ＩＭ
脂層の剥離性フィルム状物側は平滑で凹凸がなく、プリ
ント配線用基板等（こ圧着すると空気を巻き込むことな
く密着する。従ってレジストラインが細くなっても破断
することがなくプリント配線基板等を効率よく製造する
ことができる。
であり、感光性樹脂溶液は表面が平滑なｔＪｌｌＩｉ性
フィルム状物に塗布乾燥されるのであるから感光性ＩＭ
脂層の剥離性フィルム状物側は平滑で凹凸がなく、プリ
ント配線用基板等（こ圧着すると空気を巻き込むことな
く密着する。従ってレジストラインが細くなっても破断
することがなくプリント配線基板等を効率よく製造する
ことができる。
Claims (1)
- １． 表面が平滑な剥離性フイルム状物上に感光性樹脂
溶液を塗布、乾燥して感光性樹脂層を形成し、さらにそ
の上に支持フイルムを積層することを特徴とする感光性
樹脂積層体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14647689A JPH0312402A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 感光性樹脂積層体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14647689A JPH0312402A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 感光性樹脂積層体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312402A true JPH0312402A (ja) | 1991-01-21 |
Family
ID=15408505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14647689A Pending JPH0312402A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 感光性樹脂積層体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312402A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7645561B1 (en) | 1997-09-19 | 2010-01-12 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Photosensitive film |
| WO2021065317A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 富士フイルム株式会社 | 転写フィルム、積層体の製造方法、積層体、タッチパネルセンサー、タッチパネル |
-
1989
- 1989-06-08 JP JP14647689A patent/JPH0312402A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7645561B1 (en) | 1997-09-19 | 2010-01-12 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Photosensitive film |
| US7687224B2 (en) | 1997-09-19 | 2010-03-30 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Photosensitive film |
| WO2021065317A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 富士フイルム株式会社 | 転写フィルム、積層体の製造方法、積層体、タッチパネルセンサー、タッチパネル |
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