JPH0312573B2 - - Google Patents
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- JPH0312573B2 JPH0312573B2 JP59150233A JP15023384A JPH0312573B2 JP H0312573 B2 JPH0312573 B2 JP H0312573B2 JP 59150233 A JP59150233 A JP 59150233A JP 15023384 A JP15023384 A JP 15023384A JP H0312573 B2 JPH0312573 B2 JP H0312573B2
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- Japan
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- support
- tank
- plasma
- hanger
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
- B05B7/16—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed
- B05B7/22—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed electrically, magnetically or electromagnetically, e.g. by arc
- B05B7/222—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed electrically, magnetically or electromagnetically, e.g. by arc using an arc
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
- B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
- B05B13/0221—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts
- B05B13/0242—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts the objects being individually presented to the spray heads by a rotating element, e.g. turntable
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
- C23C4/134—Plasma spraying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
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Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
（産業上の利用分野）
この発明は、タンク内に収容された回転支持台
上の複数個のハンガーに合成樹脂製のバンパー等
の被加工物を支持し、タンク内に設けられたプラ
ズマ噴射管から噴射されるプラズマガスによつて
被加工物の表面にプラズマ処理を施し、その被加
工物の表面に塗料を付着し易くするプラズマ処理
装置に関するものである。
上の複数個のハンガーに合成樹脂製のバンパー等
の被加工物を支持し、タンク内に設けられたプラ
ズマ噴射管から噴射されるプラズマガスによつて
被加工物の表面にプラズマ処理を施し、その被加
工物の表面に塗料を付着し易くするプラズマ処理
装置に関するものである。
（従来の技術）
従来、この種のプラズマ処理装置においては、
被加工物を支持するためにタンク内に設けられた
ハンガーが平板状であるものが知られている。
被加工物を支持するためにタンク内に設けられた
ハンガーが平板状であるものが知られている。
（発明が解決しようとする問題点）
上記従来のプラズマ処理装置においては、ハン
ガーが単なる板状のものであるため、被加工物が
ハンガー上で妄動するおそれがある。又、これを
防止するためにハンガーの両側縁に移動阻止用の
突壁等を設けることも考えられるが、このように
構成した場合には、被加工物の両側部の表面が前
記ハンガーの突壁にて遮蔽されて、プラズマガス
が被加工物の端部等まで効果的に噴射されず、被
加工物の表面全体にわたつて均一なプラズマ処理
が施されないという問題点がある。
ガーが単なる板状のものであるため、被加工物が
ハンガー上で妄動するおそれがある。又、これを
防止するためにハンガーの両側縁に移動阻止用の
突壁等を設けることも考えられるが、このように
構成した場合には、被加工物の両側部の表面が前
記ハンガーの突壁にて遮蔽されて、プラズマガス
が被加工物の端部等まで効果的に噴射されず、被
加工物の表面全体にわたつて均一なプラズマ処理
が施されないという問題点がある。
発明の構成
（問題点を解決するための手段）
この発明は、前記のような問題点に着目してな
されたものであつて、被加工物をハンガー上に妄
動するおそれもなく安定状態で支持することがで
き、しかもタンク内に自動車用バンパー等の大型
の被加工物を多数収容してプラズマ処理を行う場
合にも、被加工物の表面がハンガーにて遮蔽され
ることなく、その被加工物の端部等までプラズマ
ガスが効果的に行き渡り、被加工物の表面全体に
わたつて均一なプラズマ処理を施すことができる
ようにしたものである。
されたものであつて、被加工物をハンガー上に妄
動するおそれもなく安定状態で支持することがで
き、しかもタンク内に自動車用バンパー等の大型
の被加工物を多数収容してプラズマ処理を行う場
合にも、被加工物の表面がハンガーにて遮蔽され
ることなく、その被加工物の端部等までプラズマ
ガスが効果的に行き渡り、被加工物の表面全体に
わたつて均一なプラズマ処理を施すことができる
ようにしたものである。
そこで、まずこの発明のプラズマ処理装置の概
要を説明すると、このプラズマ処理装置において
は、タンク１内に回転支持台６が収容され、その
支持台６の一対の回転盤１１，１１間には合成樹
脂製の自動車用バンパー等の被加工物Ｗを支持す
るための複数個のハンガー２３が相対回転可能に
設けられている。タンク１内にはプラズマ噴射管
２６が配設され、前記回転支持台６の回転盤１
１，１１が回転されながら、このプラズマ噴射管
２６から被加工物Ｗに酸素等のプラズマガスが噴
射されて、被加工物Ｗの表面にプラズマ処理が施
されるようになつている。
要を説明すると、このプラズマ処理装置において
は、タンク１内に回転支持台６が収容され、その
支持台６の一対の回転盤１１，１１間には合成樹
脂製の自動車用バンパー等の被加工物Ｗを支持す
るための複数個のハンガー２３が相対回転可能に
設けられている。タンク１内にはプラズマ噴射管
２６が配設され、前記回転支持台６の回転盤１
１，１１が回転されながら、このプラズマ噴射管
２６から被加工物Ｗに酸素等のプラズマガスが噴
射されて、被加工物Ｗの表面にプラズマ処理が施
されるようになつている。
そして、前記各ハンガー２３は、上端部におい
て回転支持台６の回転盤１１，１１に相対回転可
能に支持された左右一対の側板２７等の支持部
と、両側板２７の下端部間に架設された連結杆３
０と、被加工物Ｗの内側を下方から支持するよう
に連結杆３０に突設された複数個の支持突片３
２，３３とより構成されている。
て回転支持台６の回転盤１１，１１に相対回転可
能に支持された左右一対の側板２７等の支持部
と、両側板２７の下端部間に架設された連結杆３
０と、被加工物Ｗの内側を下方から支持するよう
に連結杆３０に突設された複数個の支持突片３
２，３３とより構成されている。
（作用）
従つて、このプラズマ処理装置において、ハン
ガー２３上に自動車用バンパー等の被加工物Ｗを
載置すれば、複数個の支持突片３２，３３が被加
工物Ｗの内側を下面から上方へ持ち上げるように
支持し、被加工物Ｗはハンガー２３上に安定状態
で支持される。そして、この状態において、被加
工物Ｗの表面が遮蔽されることなくその端部等ま
で効果的にプラズマガスにさらされ、被加工物Ｗ
の表面全体にわたつて均一なプラズマ処理が施さ
れる。
ガー２３上に自動車用バンパー等の被加工物Ｗを
載置すれば、複数個の支持突片３２，３３が被加
工物Ｗの内側を下面から上方へ持ち上げるように
支持し、被加工物Ｗはハンガー２３上に安定状態
で支持される。そして、この状態において、被加
工物Ｗの表面が遮蔽されることなくその端部等ま
で効果的にプラズマガスにさらされ、被加工物Ｗ
の表面全体にわたつて均一なプラズマ処理が施さ
れる。
（実施例）
以下、この発明を具体化したプラズマ処理装置
の一実施例を図面に従つて詳細に説明する。
の一実施例を図面に従つて詳細に説明する。
さて、この実施例のプラズマ処理装置のタンク
１は第１図に示すようにその一側端に出入口２を
備え、その出入口２にはのぞき窓３を有する蓋体
４が開閉可能に取着されている。タンク１内の底
部には一対のレール５が所定間隔をおいて配設さ
れ、タンク１内のほぼ全長にわたつて延びてい
る。
１は第１図に示すようにその一側端に出入口２を
備え、その出入口２にはのぞき窓３を有する蓋体
４が開閉可能に取着されている。タンク１内の底
部には一対のレール５が所定間隔をおいて配設さ
れ、タンク１内のほぼ全長にわたつて延びてい
る。
前記タンク１内に出入可能に収容されるよう
に、レール５上には回転支持台６が移動可能に支
持されている。第１〜３図に示すようにその回転
支持台６は支持フレーム７と、その支持フレーム
７上に水平軸線の周りで回転可能に支持された回
転体８とより構成され、支持フレーム７の下部両
側には前記レール５に沿つて転動する複数個の車
輪９が回転可能に取付けられている。そして、前
記回転体８は中央の回転軸１０と、その回転軸１
０の両端近傍に固定された左右一対の回転円盤１
１とより構成されている。
に、レール５上には回転支持台６が移動可能に支
持されている。第１〜３図に示すようにその回転
支持台６は支持フレーム７と、その支持フレーム
７上に水平軸線の周りで回転可能に支持された回
転体８とより構成され、支持フレーム７の下部両
側には前記レール５に沿つて転動する複数個の車
輪９が回転可能に取付けられている。そして、前
記回転体８は中央の回転軸１０と、その回転軸１
０の両端近傍に固定された左右一対の回転円盤１
１とより構成されている。
第１〜３図に示すように前記支持フレーム７の
外側において、回転軸１０の右端には歯車１２が
固定されるとともに左端にはスプロケツトホイー
ル１３が固定されている。そのスプロケツトホイ
ール１３と対応して支持フレーム７の左側板には
スプロケツトホイール１４及び歯車１５が支軸１
６により一体回転可能に支持され、両スプロケツ
トホイール１３，１４間にはチエーン１７が掛装
されている。前記タンク１の外側にはモータ１８
が支持板１９を介して配設支持され、そのモータ
軸２０が軸受筒２１を介してタンク１内に突出し
ている。そして、このモータ軸２０の内端には歯
車２２が固定され、タンク１内への回転支持台６
の出入れに伴つて支持フレーム７上の歯車１５に
係合離脱するようになつている。
外側において、回転軸１０の右端には歯車１２が
固定されるとともに左端にはスプロケツトホイー
ル１３が固定されている。そのスプロケツトホイ
ール１３と対応して支持フレーム７の左側板には
スプロケツトホイール１４及び歯車１５が支軸１
６により一体回転可能に支持され、両スプロケツ
トホイール１３，１４間にはチエーン１７が掛装
されている。前記タンク１の外側にはモータ１８
が支持板１９を介して配設支持され、そのモータ
軸２０が軸受筒２１を介してタンク１内に突出し
ている。そして、このモータ軸２０の内端には歯
車２２が固定され、タンク１内への回転支持台６
の出入れに伴つて支持フレーム７上の歯車１５に
係合離脱するようになつている。
第１，２図に示すように前記回転支持台６の両
回転円盤１１間には複数個のハンガー２３がその
左右両側板の上端部において支軸２４により相対
回転可能に支持され、その上部に合成樹脂製の自
動車用バンパー等の被加工物Ｗの内側を下方より
支持できるようになつている。その被加工物Ｗと
対応するように前記タンク１の内周面には、その
円周方向にほぼ等角度間隔をおいて位置する複数
のライン（実施例では90度の角度間隔をおいて位
置する４つのライン）上において、それぞれ複数
個の支持金具２５が突設され、任意の一又は複数
のライン上の支持金具２５には外周に多数の噴射
口（図示しない）を有するプラズマ噴射管２６が
支持されている。そして、このプラズマ噴射管２
６の噴射口からタンク１内へ酸素等のプラズマガ
スが噴射され、ハンガー２３内の被加工物Ｗの表
面にプラズマ処理が施されるようになつている。
回転円盤１１間には複数個のハンガー２３がその
左右両側板の上端部において支軸２４により相対
回転可能に支持され、その上部に合成樹脂製の自
動車用バンパー等の被加工物Ｗの内側を下方より
支持できるようになつている。その被加工物Ｗと
対応するように前記タンク１の内周面には、その
円周方向にほぼ等角度間隔をおいて位置する複数
のライン（実施例では90度の角度間隔をおいて位
置する４つのライン）上において、それぞれ複数
個の支持金具２５が突設され、任意の一又は複数
のライン上の支持金具２５には外周に多数の噴射
口（図示しない）を有するプラズマ噴射管２６が
支持されている。そして、このプラズマ噴射管２
６の噴射口からタンク１内へ酸素等のプラズマガ
スが噴射され、ハンガー２３内の被加工物Ｗの表
面にプラズマ処理が施されるようになつている。
次に、この発明の主要部の構成について説明す
ると、第１，２，４図に示すようにこの実施例に
おける各ハンガー２３はその左右両側に支持部と
しての一対の側板２７を備え、その上端部におい
て支軸２４により回転支持台６の回転円盤１１内
面に相対回転可能に支持されている。そして各側
板２７の下部中央には切欠窓２８が形成され、そ
の切欠窓２８にはプラズマガスの通過を許容する
ネツト２９が張設されている。
ると、第１，２，４図に示すようにこの実施例に
おける各ハンガー２３はその左右両側に支持部と
しての一対の側板２７を備え、その上端部におい
て支軸２４により回転支持台６の回転円盤１１内
面に相対回転可能に支持されている。そして各側
板２７の下部中央には切欠窓２８が形成され、そ
の切欠窓２８にはプラズマガスの通過を許容する
ネツト２９が張設されている。
前記左右一対の側板２７の下端部前縁間には１
本の棒材よりなる連結杆３０が架設されている。
第４図に示すようにその連結杆３０の左右両端に
は、連結杆３０から後方に向かつて延びる支持部
３１ａと、その支持部３１ａの後端から側板２７
の下端部後縁に向かつて横方向に延びる連結部３
１ｂと、前記支持部３１ａの後端から連結杆３０
に向かつて内側前方へ斜状に延びる補強部３１ｃ
とよりなる補強枠３１が設けられている。
本の棒材よりなる連結杆３０が架設されている。
第４図に示すようにその連結杆３０の左右両端に
は、連結杆３０から後方に向かつて延びる支持部
３１ａと、その支持部３１ａの後端から側板２７
の下端部後縁に向かつて横方向に延びる連結部３
１ｂと、前記支持部３１ａの後端から連結杆３０
に向かつて内側前方へ斜状に延びる補強部３１ｃ
とよりなる補強枠３１が設けられている。
その補強枠３１の支持部３１ａ上には前後一対
の端縁支持突片３２が突設され、その上端には自
動車用バンパー等の被加工物Ｗをその左端及び右
端部の前後両端縁において内側の下方から支持す
るための支持部３２ａが内側下方に向かつて折曲
形成されている。又、この端縁支持突片３２間に
おいて補強枠３１の支持部３１ａ上には中央支持
突片３３が突設され、その上端には被加工物Ｗを
その左端及び右端部の前後中央において内側の下
方から支持するための支持部３３ａが、前記端縁
支持突片３２の支持部３２ａよりも高い位置にお
いて内側下方に向かい折曲形成されており、その
支持部３３ａの前端が前記連結杆３０に結合され
ている。
の端縁支持突片３２が突設され、その上端には自
動車用バンパー等の被加工物Ｗをその左端及び右
端部の前後両端縁において内側の下方から支持す
るための支持部３２ａが内側下方に向かつて折曲
形成されている。又、この端縁支持突片３２間に
おいて補強枠３１の支持部３１ａ上には中央支持
突片３３が突設され、その上端には被加工物Ｗを
その左端及び右端部の前後中央において内側の下
方から支持するための支持部３３ａが、前記端縁
支持突片３２の支持部３２ａよりも高い位置にお
いて内側下方に向かい折曲形成されており、その
支持部３３ａの前端が前記連結杆３０に結合され
ている。
従つて、このように構成されたプラズマ処理装
置において、ハンガー２３上に自動車用バンパー
等の被加工物Ｗを載置した場合、連結杆３０両端
の補強杆３１上に設けられた複数個の支持突片３
２，３３の上端支持部３２ａ，３３ａが被加工物
Ｗの下面にそれぞれ係合し、被加工物Ｗはハンガ
ー２３上において下方から安定状態で支持され
る。そして、この状態においては、被加工物Ｗの
表面に遮蔽物が全く存在しないため、プラズマ噴
射管２６から噴射されるプラズマガスが被加工物
Ｗに対してむらなく効果的に行き渡り、被加工物
Ｗの表面全体にわたつて均一なプラズマ処理が施
される。
置において、ハンガー２３上に自動車用バンパー
等の被加工物Ｗを載置した場合、連結杆３０両端
の補強杆３１上に設けられた複数個の支持突片３
２，３３の上端支持部３２ａ，３３ａが被加工物
Ｗの下面にそれぞれ係合し、被加工物Ｗはハンガ
ー２３上において下方から安定状態で支持され
る。そして、この状態においては、被加工物Ｗの
表面に遮蔽物が全く存在しないため、プラズマ噴
射管２６から噴射されるプラズマガスが被加工物
Ｗに対してむらなく効果的に行き渡り、被加工物
Ｗの表面全体にわたつて均一なプラズマ処理が施
される。
なお、この発明は前記実施例の構成に限定され
るものではなく、例えば支持部２７として板状、
棒状、網状、格子状等のものを使用したり、この
発明の趣旨から逸脱しない範囲で各部の構成を任
意に変更して具体化することも可能である。
るものではなく、例えば支持部２７として板状、
棒状、網状、格子状等のものを使用したり、この
発明の趣旨から逸脱しない範囲で各部の構成を任
意に変更して具体化することも可能である。
発明の構成
以上詳述したようにこの発明は、被加工物をハ
ンガー上に妄動するおそれもなく安定状態で支持
することができ、しかもタンク内に自動車用バン
パー等の大型の被加工物を多数収容してプラズマ
処理を行う場合にも、被加工物の表面がハンガー
にて遮蔽されることなく、その被加工物の端部等
までプラズマガスが効果的に行き渡り、被加工物
の表面全体にわたつて均一なプラズマ処理を施す
ことができるという優れた効果を奏する。
ンガー上に妄動するおそれもなく安定状態で支持
することができ、しかもタンク内に自動車用バン
パー等の大型の被加工物を多数収容してプラズマ
処理を行う場合にも、被加工物の表面がハンガー
にて遮蔽されることなく、その被加工物の端部等
までプラズマガスが効果的に行き渡り、被加工物
の表面全体にわたつて均一なプラズマ処理を施す
ことができるという優れた効果を奏する。
第１図はこの発明を具体化したプラズマ処理装
置の縦断面図、第２図は同装置の斜視図、第３図
は同じく部分拡大側断面図、第４図はハンガーの
部分拡大斜視図である。 図において、１はタンク、６は回転支持台、７
は支持フレーム、８は回転体、２３はハンガー、
２６はプラズマ噴射管、２７は側板、３０は連結
杆、３２，３３は支持突片である。
置の縦断面図、第２図は同装置の斜視図、第３図
は同じく部分拡大側断面図、第４図はハンガーの
部分拡大斜視図である。 図において、１はタンク、６は回転支持台、７
は支持フレーム、８は回転体、２３はハンガー、
２６はプラズマ噴射管、２７は側板、３０は連結
杆、３２，３３は支持突片である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被加工物Ｗを収容するためのタンク１と、 該タンク１内に設けられ、前記被加工物Ｗの表
面にプラズマ処理を施すためのプラズマガスを噴
射するプラズマガス噴射管２６と、 前記タンク１内に設けられ、支持フレーム７及
び該支持フレーム７に回転可能に支持された一対
の回転盤１１，１１を有する回転支持台６と、 前記回転支持盤１１，１１間に設けられ前記回
転盤１１，１１に回転可能に支持された一対の対
向する支持部２７，２７と、該支持部２７，２７
間に架設された連結部３０と、該連結部３０から
上方に向つて突設され、前記被加工物Ｗの内側を
下方より支持するための一対の支持突片３２，３
３とを有するハンガー２３、 とからなることを特徴とするプラズマ処理装置。 ２ 前記被加工物は合成樹脂製バンパーである特
許請求の範囲第１項に記載のプラズマ処理装置。 ３ 前記支持部２７には切欠窓２８が設けてある
特許請求の範囲第２項に記載のプラズマ処理装
置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023384A JPS6128531A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | プラズマ処理装置 |
| DE19853520924 DE3520924A1 (de) | 1984-06-12 | 1985-06-11 | Plasmaverfahrensanlage |
| KR1019850004094A KR870001171B1 (ko) | 1984-06-12 | 1985-06-11 | 플라즈마 처리장치 |
| CA000483614A CA1249926A (en) | 1984-06-12 | 1985-06-11 | Plasma processing apparatus |
| AU43492/85A AU565026B2 (en) | 1984-06-12 | 1985-06-12 | Plasma processing |
| US06/744,061 US4668479A (en) | 1984-06-12 | 1985-06-12 | Plasma processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023384A JPS6128531A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6128531A JPS6128531A (ja) | 1986-02-08 |
| JPH0312573B2 true JPH0312573B2 (ja) | 1991-02-20 |
Family
ID=15492459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15023384A Granted JPS6128531A (ja) | 1984-06-12 | 1984-07-19 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6128531A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8914694B2 (en) | 2006-02-17 | 2014-12-16 | Mentor Graphics Corporation | On-chip comparison and response collection tools and techniques |
| US9134370B2 (en) | 1999-11-23 | 2015-09-15 | Mentor Graphics Corporation | Continuous application and decompression of test patterns and selective compaction of test responses |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6223822A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-01-31 | Aisin Warner Ltd | ４輪駆動用自動変速機 |
| EP0524707B1 (en) * | 1988-07-28 | 1995-09-20 | Fuji Jukogyo Kabushiki Kaisha | Transmission system for a two and four-wheel drive motor vehicle |
| US5234091A (en) * | 1988-07-28 | 1993-08-10 | Fuji Jukogyo Kabushiki Kaisha | Power transmission system for a four-wheel drive motor vehicle |
| CN105032657B (zh) * | 2015-07-24 | 2018-07-17 | 上海卫星装备研究所 | 一种大型卫星框架喷漆翻身装置 |
| CN106179848B (zh) * | 2016-08-27 | 2019-01-11 | 徐州市凯诺机械有限公司 | 一种五金制作用门锁高效喷漆装置 |
-
1984
- 1984-07-19 JP JP15023384A patent/JPS6128531A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9134370B2 (en) | 1999-11-23 | 2015-09-15 | Mentor Graphics Corporation | Continuous application and decompression of test patterns and selective compaction of test responses |
| US8914694B2 (en) | 2006-02-17 | 2014-12-16 | Mentor Graphics Corporation | On-chip comparison and response collection tools and techniques |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6128531A (ja) | 1986-02-08 |
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