JPH0315253B2 - - Google Patents
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- JPH0315253B2 JPH0315253B2 JP56050775A JP5077581A JPH0315253B2 JP H0315253 B2 JPH0315253 B2 JP H0315253B2 JP 56050775 A JP56050775 A JP 56050775A JP 5077581 A JP5077581 A JP 5077581A JP H0315253 B2 JPH0315253 B2 JP H0315253B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- deposited
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- vacuum
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
この発明はCo，Niの如き強磁性金属またはそ
の合金などからなる磁性金属蒸着膜を有する磁気
記録媒体に関する。 従来、この種の磁性金属蒸着膜をベース上に形
成した磁気記録媒体は、高密度磁気記録に好適な
ものとして知られており、その実用化に当たつて
電磁変換特性や耐久特性の面での改良が種々検討
されている。 磁性金属蒸着膜の電磁変換特性を支配するひと
つの因子として、蒸着膜を消磁状態にしたときに
生じる磁化の反転領域つまり磁区（ドメイン）が
ある。この磁区は、一般に保磁力に依存するもの
と考えられており、事実、真空蒸着時に、窒素な
どの気体を導入した蒸着金属粒子間にこれらのガ
スを介在させ、また蒸着速度などを選定して蒸着
粒子の大きさを小さくすることなどにより、蒸着
粒子間の相互作用を低くして保磁力を大にする
と、磁区は小さくなり、電磁変換特性上好ましい
結果が得られる。 したがつて、保磁力の増大によつて磁区の存在
が実質的に認められない程度にまで小さくできれ
ば、より改善された電磁変換特性が得られるはず
であるが、かかる磁区の極小化には限度がある。
これを図面を用いて説明する。 まず、第４図Ａ，Ｂは、ポリエステルフイルム
ベース上にCo金属を常法により蒸着して約900Å
厚で約1000エルステツドの蒸着膜を形成したとき
の蒸着膜表面を7500倍に拡大して示した電子顕微
鏡写真であり、Ａ図はデフオーカス法つまり焦点
をずらして画像を観察したときの写真、Ｂ図は同
一画面を焦点を合わせて観察した正焦点法による
写真である。 ここで、デフオーカス法につき第６図の原理図
により説明すると、ベース２０上に形成された消
磁状態の磁性膜２１では、最小単位の磁区２２内
で磁化方向が反転しており、ために磁性膜２１上
から照射される電子顕微鏡の電子線２３は上記反
転した磁化（図中、○・と×）２４によつてそれぞ
れ屈曲され、磁壁２５上ではあたかも電子線２３
が通過しないような空白部２６または電子線２３
が集中した濃縮部２７が形成され、これが白色ま
たは黒色となつて顕出され、縞模様が磁区として
観察される。一方、正焦点法では磁性膜表面位置
にピントを合わせて観察するものであるから、上
述の如き空白ないし黒色部は顕出されず、したが
つてデフオーカス法と正焦点法による写真を対比
し、正焦点法ではみられない縞模様がデフオーカ
ス法に現われておれば、これが磁区の存在を示す
こととなる。 上記の観点から、第４図ＡとＢとを対比する
と、デフオーカス法による第４図Ａには明らかに
磁区の存在を示す縞模様が観察される。すなわ
ち、蒸着膜の保磁力を約1000エルステツド程度の
高値にしているにもかかわらず、かなりの大きさ
の磁区が存在している。 つぎに、第５図Ａ，Ｂは、前記蒸着膜の保磁力
をさらに大きくし約1400エルステツドとしたとき
の蒸着膜表面の前記同様のデフオーカス法および
正焦点法による電子顕微鏡写真である。この場
合、磁区は第４図の場合に較べて小さくなつてお
り、保磁力増大による磁区の小型化は認められる
ものの、磁区の存在はなお明らかである。 このように、この発明者らは、保磁力増大によ
つて磁区を小さくすることにはおのずと限度があ
り電磁変換特性の大巾な向上を望みえないことか
ら、かかる方法によらないで電磁変換特性を向上
させることのできる新規手段を探究するべく鋭意
検討を続けてきた。 この検討過程において、少なくとも記録方向に
おいて100Å以上の幅を有し、かつ10μ内で３個
以上の磁気的相互作用を緩和する隔壁を有する磁
性蒸着膜をベース上に形成したときには蒸着膜の
磁区が著るしく小さくなることを究明した。 第２図Ａ，Ｂは、前述の第４図Ａ，Ｂおよび第
５図Ａ，Ｂと同様に、それぞれデフオーカス法お
よび正焦点法により観察した上記構造を有する蒸
着膜についての電子顕微鏡写真である。この第２
図ＡとＢとを比較すれば明らかなように、前述の
縞模様がほとんど観察されず、磁区がほとんど消
失されていることが明らかである。なお、この図
の磁性膜の保磁力は約1000エルステツドであり、
前述の第５図で示す磁性膜の保磁力約1400エルス
テツドより低い値を示す。それにもかかわらず磁
区が消失していることは、従来では全く予想でき
ないものである。 この発明者らは、上記究明に基づき、さらに検
討を行なつた結果、蒸着膜の密着性を改善するた
めにベース上に設けた樹脂被膜に特定手段でへこ
みを形成し、この上に強磁性金属または合金を斜
方向から真空蒸着したときには、これより形成さ
れる蒸着膜の磁区は著るしく小さくなり、電磁変
換特性上極めて良好な結果が得られることを知
り、この発明を完成するに至つたものである。 第１図は、上記方法により得られるこの発明の
磁気記録媒体の一例を示す断面図であり、１はベ
ース、２はベース１に針状もしくは薄片状の無機
物質を含む樹脂塗料を塗工したのち上記無機物質
を塩酸などで溶出して形成されたへこみ３を有す
る樹脂被膜、４は上記被膜２上に斜方向から真空
蒸着された強磁性金属または合金からなる磁性膜
で、この磁性膜４は多数の空隙５を持つた蒸着部
６と各蒸着部６，６の相互作用を緩和する間隙か
らなる隔壁７とで構成されている。 すなわち、へこみ３を持つた樹脂被膜２上に斜
方向、つまりベース１面に対して入射角αを持た
せて強磁性金属または合金を真空蒸着すると、蒸
着部６は入射角αより小さい角度βで成長し、こ
のとき真空系内に存在する窒素、酸素やあるいは
蒸着速度に応じた微小幅（通常20〜30Å）の空隙
５が形成される。この蒸着部６の構造自体は従来
と本質的に変らない。一方、入射角αを持たせて
真空蒸着したときには、樹脂被膜２に存在するへ
こみ３により、このへこみ３の肩口側つまり強磁
性金属または合金が蒸発してくる側が影となつて
蒸発金属ないし合金が到達できない未蒸着部分、
つまり前記間隙からなる隔壁７が形成される。 この隔壁７は通常100Å以上、とくに好ましく
は100〜1000Åの幅を有しかつ10μ以内で３個以
上、好ましくは３〜100個の個数とされたもので
あり、かかる隔壁７の存在が従来の蒸着膜構造と
は大きく相違する点であり、これによつて従来で
は予測不可能な磁区の極小化が可能となることが
見い出されたものである。 このように、この発明によれば、磁性膜の膜構
造を従来とは異なる構成とすることができ、これ
によつて磁区を極めて小さくできるため電磁変換
特性の大巾な向上を図ることができる。しかも樹
脂被膜の存在により磁性膜とベースとの密着強度
が向上し、この種の磁気記録媒体の耐久性も改善
される。 この発明において、へこみを有する樹脂被膜の
形成に当たつては、一般に樹脂としてベース面へ
の親和性を有するカルボキシル基、水酸基、スル
ホン基などの官能基を持つたもの、たとえば塩化
ビニル−酢酸ビニル共重合体、ブチラール樹脂な
どを使用し、これをメチルイソブチルケトン、酢
酸ブチル、シクロヘキサンなどの比較的沸点の高
い溶剤に溶解させ、これにさらに針状もしくは薄
片状の無機物質を分散させた塗料が用いられる。
この塗料中には、適宜変性シリコーンオイルの如
きレベリング剤を樹脂に対し１重量％程度までの
割合で含ませてもよい。 上記の塗料をベース面に塗布乾燥して、通常
1μ以下の樹脂被膜を形成したのち、塩酸その他
の無機酸によつて処理すると、被膜中に含まれる
前記の無機物質が溶出し、無機物質の形状つまり
針状ないし薄片状の形態に応じたまた無機物質の
使用量に応じたへこみが形成される。 上記に用いる針状または薄片状の無機物質とし
ては、一般に酸化鉄（ベンガラ）、ゲータイトな
どの非磁性物質が好適に用いられるが、γ−
Fe2O3、バリウムへライトの如き磁性物質であつ
てもよい。ここで、針状および薄片状の意味する
ところは一般の技術的解釈にしたがい、たて（長
軸）、よこ（短軸）、厚みを考えたとき、針状とは
たて≫よこ≒厚みなる関係を有し、通常軸比
（軸／短軸比）３以上とされたものであり、また
薄片状とはたて＞よこ≫厚みなる関係を有するも
のである。 この無機物質の大きさおよび使用割合は、無機
物質の溶出によつて形成されるへこみの形状ない
し数を決めるものであり、またこれが隔壁の形成
に影響するものであるから、前述した隔壁を形成
するために適宜の範囲に設定されるのが望まし
い。まず、大きさとしては、一般に長軸が通常
0.3〜5μ、好適には0.3〜1μで、針状物質では軸比
３以上、好ましくは10〜30、薄片状物質では厚み
が長軸の1/1000以上で1/10以下程度であるのがよ
い。また、使用割合は通常0.5〜50重量％、とく
に好適には1.0〜10重量％である。上記無機物質
が小さすぎたりまた使用割合が少なすぎると、有
効な隔壁が形成されず、磁区の極小化ないし消失
に好結果が得られない。一方、無機物質が大きく
なりすぎたり、あるいは使用割合が多くなりすぎ
ると、上記同様の問題を生じたり逆に隔壁過多と
なつて再生出力の低下を免れない。 なお、前記隔壁は、少なくとも記録方向に交叉
する如く形成されておれば前記磁区消失効果が得
られるものであるが、望ましくは一方向だけでな
くあらゆる方向に形成されているのがよい。一般
に、針状物質は一方向に配向されやすい傾向があ
るが、薄片状物質ではこの傾向が弱い。したがつ
て、この発明においては、とくに薄片状の無機物
質が好適に用いられる。 このようにしてへこみを形成した樹脂被膜上に
斜方向に真空蒸着する手段は任意であり、たとえ
ば、第３図に示されるように、真空ポンプ８を配
設した真空系９内で、円筒形回転キヤン１０を介
して走行するへこみを有する樹脂被膜が設けられ
たベース１面に、炉床１１内の強磁性金属または
合金１２を電子ビームの如き加熱源１３によつて
蒸発させて真空蒸着させる際に、蒸発金属ないし
合金がベース１面に対して入射角αで到達するよ
うなしやへい板１４を配設すればよい。このとき
の入射角αは、樹脂被膜に形成されたへこみの大
きさによつても異なるが、一般には10〜80度、と
くに好適には30〜70度である。 この発明により磁性膜を形成する材料には、前
述のCo金属のほか、Fe，Ni金属もしくはこれら
の合金、またはこれらとCu，Zn，Mn，Cr，Al
などの他の金属との合金などが用いられる。これ
ら材料をこの発明にしたがつてへこみを有する樹
脂被膜を有するベース上に形成したときの磁性膜
の保磁力は、通常300エルステツド以上とされる
が、電磁変換特性にさらに好結果を与え、また高
密度記録に好結果を与える観点から、好ましく
は、500〜2500エルステツドとするのがよい。 ベースとしては、ポリエステルフイルムの如き
プラスチツクフイルムのほか、紙、金属であつて
もよく、その形状はテープ状、円板状、カード状
など適宜必要に応じて選択しうる。 つぎに、この発明の実施例を記載し、より具体
的に説明する。 実施例 １ 約10μ厚のポリエステルベースフイルムに、ブ
チラール樹脂の５重量％酢酸ブチル溶液に上記樹
脂に対して10重量％の針状のα−Fe2O3粉（軸比
10、長軸0.5μ）と0.5重量％の変性シリコーンオ
イルとを加えてなる塗料を、常温でグラビヤ塗布
し、120℃で30秒間加熱乾燥して、針状物質を含
む平均膜厚約0.5μの樹脂被膜を形成した。つぎに
この樹脂被膜を２規定の塩酸水溶液に10分間浸漬
して上記針状物質を溶出させた。 かかる樹脂被膜を形成したポリエステルベース
フイルムを第３図に示される如き真空系内にセツ
トし、これに入射角70度の斜方向からCo金属を
真空蒸着して約800Å厚で保磁力約1000エルステ
ツドの磁性膜を形成した。なお、蒸着条件の詳細
は以下のとおりである。 円筒型回転キヤン；直径300mm 加 熱 源 ；電子ビームガン 炉 床 ；無酸素銅（水冷） 炉床からの距離 ；300mm 雰 囲 気 ；酸素／アルゴン＝1/10 で、約１×10-4Torr フイルム走行速度；約１ｍ／分 この蒸着ご、所定幅に裁断して、この発明の磁
気テープを得た。このテープの磁区の存在を、前
記デフオーカス法および正焦点法による電子顕微
鏡写真で観察したところ、第２図の場合と同様
に、磁区の存在はほとんど認められなかつた。 実施例 ２ α−Fe2O3粉の代りに、薄片状のゲータイト
（長軸1μ、短軸0.8μ、厚み0.03μ）を同量使用した
以外は、実施例１と全く同様にして磁気テープを
得た。このテープの磁区の存在を、実施例１の場
合と同様にして調べたところ、磁区の存在はほと
んど認められなかつた。 つぎに、上記各実施例のテープをカートリツジ
内に組み込み、ビデオテープレコーダに装填して
電磁変換特性およびスチール特性を調べたとこ
ろ、次の表に示されるとおりであつた。なお、表
中の比較例１，２とは、へこみを有する樹脂被膜
を形成しなかつた以外は前記実施例１と同様にし
て作製した保磁力約1400エルステツド（比較例
１）および約1000エルステツド（比較例２）の各
磁気テープの試験結果である。電磁変換特性は、
比較例２を基準（０）としてその相対値で示して
いる。
の合金などからなる磁性金属蒸着膜を有する磁気
記録媒体に関する。 従来、この種の磁性金属蒸着膜をベース上に形
成した磁気記録媒体は、高密度磁気記録に好適な
ものとして知られており、その実用化に当たつて
電磁変換特性や耐久特性の面での改良が種々検討
されている。 磁性金属蒸着膜の電磁変換特性を支配するひと
つの因子として、蒸着膜を消磁状態にしたときに
生じる磁化の反転領域つまり磁区（ドメイン）が
ある。この磁区は、一般に保磁力に依存するもの
と考えられており、事実、真空蒸着時に、窒素な
どの気体を導入した蒸着金属粒子間にこれらのガ
スを介在させ、また蒸着速度などを選定して蒸着
粒子の大きさを小さくすることなどにより、蒸着
粒子間の相互作用を低くして保磁力を大にする
と、磁区は小さくなり、電磁変換特性上好ましい
結果が得られる。 したがつて、保磁力の増大によつて磁区の存在
が実質的に認められない程度にまで小さくできれ
ば、より改善された電磁変換特性が得られるはず
であるが、かかる磁区の極小化には限度がある。
これを図面を用いて説明する。 まず、第４図Ａ，Ｂは、ポリエステルフイルム
ベース上にCo金属を常法により蒸着して約900Å
厚で約1000エルステツドの蒸着膜を形成したとき
の蒸着膜表面を7500倍に拡大して示した電子顕微
鏡写真であり、Ａ図はデフオーカス法つまり焦点
をずらして画像を観察したときの写真、Ｂ図は同
一画面を焦点を合わせて観察した正焦点法による
写真である。 ここで、デフオーカス法につき第６図の原理図
により説明すると、ベース２０上に形成された消
磁状態の磁性膜２１では、最小単位の磁区２２内
で磁化方向が反転しており、ために磁性膜２１上
から照射される電子顕微鏡の電子線２３は上記反
転した磁化（図中、○・と×）２４によつてそれぞ
れ屈曲され、磁壁２５上ではあたかも電子線２３
が通過しないような空白部２６または電子線２３
が集中した濃縮部２７が形成され、これが白色ま
たは黒色となつて顕出され、縞模様が磁区として
観察される。一方、正焦点法では磁性膜表面位置
にピントを合わせて観察するものであるから、上
述の如き空白ないし黒色部は顕出されず、したが
つてデフオーカス法と正焦点法による写真を対比
し、正焦点法ではみられない縞模様がデフオーカ
ス法に現われておれば、これが磁区の存在を示す
こととなる。 上記の観点から、第４図ＡとＢとを対比する
と、デフオーカス法による第４図Ａには明らかに
磁区の存在を示す縞模様が観察される。すなわ
ち、蒸着膜の保磁力を約1000エルステツド程度の
高値にしているにもかかわらず、かなりの大きさ
の磁区が存在している。 つぎに、第５図Ａ，Ｂは、前記蒸着膜の保磁力
をさらに大きくし約1400エルステツドとしたとき
の蒸着膜表面の前記同様のデフオーカス法および
正焦点法による電子顕微鏡写真である。この場
合、磁区は第４図の場合に較べて小さくなつてお
り、保磁力増大による磁区の小型化は認められる
ものの、磁区の存在はなお明らかである。 このように、この発明者らは、保磁力増大によ
つて磁区を小さくすることにはおのずと限度があ
り電磁変換特性の大巾な向上を望みえないことか
ら、かかる方法によらないで電磁変換特性を向上
させることのできる新規手段を探究するべく鋭意
検討を続けてきた。 この検討過程において、少なくとも記録方向に
おいて100Å以上の幅を有し、かつ10μ内で３個
以上の磁気的相互作用を緩和する隔壁を有する磁
性蒸着膜をベース上に形成したときには蒸着膜の
磁区が著るしく小さくなることを究明した。 第２図Ａ，Ｂは、前述の第４図Ａ，Ｂおよび第
５図Ａ，Ｂと同様に、それぞれデフオーカス法お
よび正焦点法により観察した上記構造を有する蒸
着膜についての電子顕微鏡写真である。この第２
図ＡとＢとを比較すれば明らかなように、前述の
縞模様がほとんど観察されず、磁区がほとんど消
失されていることが明らかである。なお、この図
の磁性膜の保磁力は約1000エルステツドであり、
前述の第５図で示す磁性膜の保磁力約1400エルス
テツドより低い値を示す。それにもかかわらず磁
区が消失していることは、従来では全く予想でき
ないものである。 この発明者らは、上記究明に基づき、さらに検
討を行なつた結果、蒸着膜の密着性を改善するた
めにベース上に設けた樹脂被膜に特定手段でへこ
みを形成し、この上に強磁性金属または合金を斜
方向から真空蒸着したときには、これより形成さ
れる蒸着膜の磁区は著るしく小さくなり、電磁変
換特性上極めて良好な結果が得られることを知
り、この発明を完成するに至つたものである。 第１図は、上記方法により得られるこの発明の
磁気記録媒体の一例を示す断面図であり、１はベ
ース、２はベース１に針状もしくは薄片状の無機
物質を含む樹脂塗料を塗工したのち上記無機物質
を塩酸などで溶出して形成されたへこみ３を有す
る樹脂被膜、４は上記被膜２上に斜方向から真空
蒸着された強磁性金属または合金からなる磁性膜
で、この磁性膜４は多数の空隙５を持つた蒸着部
６と各蒸着部６，６の相互作用を緩和する間隙か
らなる隔壁７とで構成されている。 すなわち、へこみ３を持つた樹脂被膜２上に斜
方向、つまりベース１面に対して入射角αを持た
せて強磁性金属または合金を真空蒸着すると、蒸
着部６は入射角αより小さい角度βで成長し、こ
のとき真空系内に存在する窒素、酸素やあるいは
蒸着速度に応じた微小幅（通常20〜30Å）の空隙
５が形成される。この蒸着部６の構造自体は従来
と本質的に変らない。一方、入射角αを持たせて
真空蒸着したときには、樹脂被膜２に存在するへ
こみ３により、このへこみ３の肩口側つまり強磁
性金属または合金が蒸発してくる側が影となつて
蒸発金属ないし合金が到達できない未蒸着部分、
つまり前記間隙からなる隔壁７が形成される。 この隔壁７は通常100Å以上、とくに好ましく
は100〜1000Åの幅を有しかつ10μ以内で３個以
上、好ましくは３〜100個の個数とされたもので
あり、かかる隔壁７の存在が従来の蒸着膜構造と
は大きく相違する点であり、これによつて従来で
は予測不可能な磁区の極小化が可能となることが
見い出されたものである。 このように、この発明によれば、磁性膜の膜構
造を従来とは異なる構成とすることができ、これ
によつて磁区を極めて小さくできるため電磁変換
特性の大巾な向上を図ることができる。しかも樹
脂被膜の存在により磁性膜とベースとの密着強度
が向上し、この種の磁気記録媒体の耐久性も改善
される。 この発明において、へこみを有する樹脂被膜の
形成に当たつては、一般に樹脂としてベース面へ
の親和性を有するカルボキシル基、水酸基、スル
ホン基などの官能基を持つたもの、たとえば塩化
ビニル−酢酸ビニル共重合体、ブチラール樹脂な
どを使用し、これをメチルイソブチルケトン、酢
酸ブチル、シクロヘキサンなどの比較的沸点の高
い溶剤に溶解させ、これにさらに針状もしくは薄
片状の無機物質を分散させた塗料が用いられる。
この塗料中には、適宜変性シリコーンオイルの如
きレベリング剤を樹脂に対し１重量％程度までの
割合で含ませてもよい。 上記の塗料をベース面に塗布乾燥して、通常
1μ以下の樹脂被膜を形成したのち、塩酸その他
の無機酸によつて処理すると、被膜中に含まれる
前記の無機物質が溶出し、無機物質の形状つまり
針状ないし薄片状の形態に応じたまた無機物質の
使用量に応じたへこみが形成される。 上記に用いる針状または薄片状の無機物質とし
ては、一般に酸化鉄（ベンガラ）、ゲータイトな
どの非磁性物質が好適に用いられるが、γ−
Fe2O3、バリウムへライトの如き磁性物質であつ
てもよい。ここで、針状および薄片状の意味する
ところは一般の技術的解釈にしたがい、たて（長
軸）、よこ（短軸）、厚みを考えたとき、針状とは
たて≫よこ≒厚みなる関係を有し、通常軸比
（軸／短軸比）３以上とされたものであり、また
薄片状とはたて＞よこ≫厚みなる関係を有するも
のである。 この無機物質の大きさおよび使用割合は、無機
物質の溶出によつて形成されるへこみの形状ない
し数を決めるものであり、またこれが隔壁の形成
に影響するものであるから、前述した隔壁を形成
するために適宜の範囲に設定されるのが望まし
い。まず、大きさとしては、一般に長軸が通常
0.3〜5μ、好適には0.3〜1μで、針状物質では軸比
３以上、好ましくは10〜30、薄片状物質では厚み
が長軸の1/1000以上で1/10以下程度であるのがよ
い。また、使用割合は通常0.5〜50重量％、とく
に好適には1.0〜10重量％である。上記無機物質
が小さすぎたりまた使用割合が少なすぎると、有
効な隔壁が形成されず、磁区の極小化ないし消失
に好結果が得られない。一方、無機物質が大きく
なりすぎたり、あるいは使用割合が多くなりすぎ
ると、上記同様の問題を生じたり逆に隔壁過多と
なつて再生出力の低下を免れない。 なお、前記隔壁は、少なくとも記録方向に交叉
する如く形成されておれば前記磁区消失効果が得
られるものであるが、望ましくは一方向だけでな
くあらゆる方向に形成されているのがよい。一般
に、針状物質は一方向に配向されやすい傾向があ
るが、薄片状物質ではこの傾向が弱い。したがつ
て、この発明においては、とくに薄片状の無機物
質が好適に用いられる。 このようにしてへこみを形成した樹脂被膜上に
斜方向に真空蒸着する手段は任意であり、たとえ
ば、第３図に示されるように、真空ポンプ８を配
設した真空系９内で、円筒形回転キヤン１０を介
して走行するへこみを有する樹脂被膜が設けられ
たベース１面に、炉床１１内の強磁性金属または
合金１２を電子ビームの如き加熱源１３によつて
蒸発させて真空蒸着させる際に、蒸発金属ないし
合金がベース１面に対して入射角αで到達するよ
うなしやへい板１４を配設すればよい。このとき
の入射角αは、樹脂被膜に形成されたへこみの大
きさによつても異なるが、一般には10〜80度、と
くに好適には30〜70度である。 この発明により磁性膜を形成する材料には、前
述のCo金属のほか、Fe，Ni金属もしくはこれら
の合金、またはこれらとCu，Zn，Mn，Cr，Al
などの他の金属との合金などが用いられる。これ
ら材料をこの発明にしたがつてへこみを有する樹
脂被膜を有するベース上に形成したときの磁性膜
の保磁力は、通常300エルステツド以上とされる
が、電磁変換特性にさらに好結果を与え、また高
密度記録に好結果を与える観点から、好ましく
は、500〜2500エルステツドとするのがよい。 ベースとしては、ポリエステルフイルムの如き
プラスチツクフイルムのほか、紙、金属であつて
もよく、その形状はテープ状、円板状、カード状
など適宜必要に応じて選択しうる。 つぎに、この発明の実施例を記載し、より具体
的に説明する。 実施例 １ 約10μ厚のポリエステルベースフイルムに、ブ
チラール樹脂の５重量％酢酸ブチル溶液に上記樹
脂に対して10重量％の針状のα−Fe2O3粉（軸比
10、長軸0.5μ）と0.5重量％の変性シリコーンオ
イルとを加えてなる塗料を、常温でグラビヤ塗布
し、120℃で30秒間加熱乾燥して、針状物質を含
む平均膜厚約0.5μの樹脂被膜を形成した。つぎに
この樹脂被膜を２規定の塩酸水溶液に10分間浸漬
して上記針状物質を溶出させた。 かかる樹脂被膜を形成したポリエステルベース
フイルムを第３図に示される如き真空系内にセツ
トし、これに入射角70度の斜方向からCo金属を
真空蒸着して約800Å厚で保磁力約1000エルステ
ツドの磁性膜を形成した。なお、蒸着条件の詳細
は以下のとおりである。 円筒型回転キヤン；直径300mm 加 熱 源 ；電子ビームガン 炉 床 ；無酸素銅（水冷） 炉床からの距離 ；300mm 雰 囲 気 ；酸素／アルゴン＝1/10 で、約１×10-4Torr フイルム走行速度；約１ｍ／分 この蒸着ご、所定幅に裁断して、この発明の磁
気テープを得た。このテープの磁区の存在を、前
記デフオーカス法および正焦点法による電子顕微
鏡写真で観察したところ、第２図の場合と同様
に、磁区の存在はほとんど認められなかつた。 実施例 ２ α−Fe2O3粉の代りに、薄片状のゲータイト
（長軸1μ、短軸0.8μ、厚み0.03μ）を同量使用した
以外は、実施例１と全く同様にして磁気テープを
得た。このテープの磁区の存在を、実施例１の場
合と同様にして調べたところ、磁区の存在はほと
んど認められなかつた。 つぎに、上記各実施例のテープをカートリツジ
内に組み込み、ビデオテープレコーダに装填して
電磁変換特性およびスチール特性を調べたとこ
ろ、次の表に示されるとおりであつた。なお、表
中の比較例１，２とは、へこみを有する樹脂被膜
を形成しなかつた以外は前記実施例１と同様にし
て作製した保磁力約1400エルステツド（比較例
１）および約1000エルステツド（比較例２）の各
磁気テープの試験結果である。電磁変換特性は、
比較例２を基準（０）としてその相対値で示して
いる。
【表】
上表から明らかなように、この発明の磁気テー
プは、従来の磁気テープに較べて電磁変換特性が
著るしく向上しており、また耐久性も格段にすぐ
れていることが判る。
プは、従来の磁気テープに較べて電磁変換特性が
著るしく向上しており、また耐久性も格段にすぐ
れていることが判る。
第１図はこの発明の磁気記録媒体の一例を示す
断面図、第２図Ａはこの発明の説明のために供さ
れる磁気記録媒体の磁性膜表面のデフオーカス法
による電子顕微鏡写真、第２図Ｂはこの発明の説
明のために供される磁気記録媒体の磁性膜表面の
正焦点法による電子顕微鏡写真、第３図はこの発
明による真空蒸着法の一例を示す説明図、第４図
Ａおよび第５図Ａはそれぞれこの発明とは異なる
磁気記録媒体の磁性膜表面のデフオーカス法によ
る電子顕微鏡写真、第４図Ｂおよび第５図Ｂはそ
れぞれこの発明とは異なる磁気記録媒体の磁性膜
表面の正焦点法による電子顕微鏡写真、第６図は
デフオーカス法による電子顕微鏡の原理図であ
る。 １……ベース、２……樹脂被膜、３……へこ
み、４……磁性膜、７……隔壁、１２……強磁性
金属または合金。
断面図、第２図Ａはこの発明の説明のために供さ
れる磁気記録媒体の磁性膜表面のデフオーカス法
による電子顕微鏡写真、第２図Ｂはこの発明の説
明のために供される磁気記録媒体の磁性膜表面の
正焦点法による電子顕微鏡写真、第３図はこの発
明による真空蒸着法の一例を示す説明図、第４図
Ａおよび第５図Ａはそれぞれこの発明とは異なる
磁気記録媒体の磁性膜表面のデフオーカス法によ
る電子顕微鏡写真、第４図Ｂおよび第５図Ｂはそ
れぞれこの発明とは異なる磁気記録媒体の磁性膜
表面の正焦点法による電子顕微鏡写真、第６図は
デフオーカス法による電子顕微鏡の原理図であ
る。 １……ベース、２……樹脂被膜、３……へこ
み、４……磁性膜、７……隔壁、１２……強磁性
金属または合金。
Claims (1)
- １ ベース上に針状もしくは薄片状の無機物質の
溶出によつて形成されたへこみを有する樹脂被膜
と、この上に斜方向から真空蒸着された強磁性金
属または合金からなる磁性膜とを設け、この磁性
膜が、少なくとも記録方向において100Å以上の
幅を有しかつ10μ内で３個以上の個数とされた磁
気的相互作用を緩和する隔壁を有するものである
ことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5077581A JPS57167125A (en) | 1981-04-03 | 1981-04-03 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5077581A JPS57167125A (en) | 1981-04-03 | 1981-04-03 | Magnetic recording medium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57167125A JPS57167125A (en) | 1982-10-14 |
| JPH0315253B2 true JPH0315253B2 (ja) | 1991-02-28 |
Family
ID=12868200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5077581A Granted JPS57167125A (en) | 1981-04-03 | 1981-04-03 | Magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57167125A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60117414A (ja) * | 1983-11-29 | 1985-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜型磁気記録媒体 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52103481A (en) * | 1976-02-27 | 1977-08-30 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | Drawn laminated hollow articles and production thereof |
| JPS53109605A (en) * | 1977-03-04 | 1978-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
-
1981
- 1981-04-03 JP JP5077581A patent/JPS57167125A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57167125A (en) | 1982-10-14 |
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