JPH03152709A - 浮上型複合磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気ディスク装置において記録媒体表面より
ごく僅かに浮上させて用いる浮上型複合磁気ヘッドに関
するものである。

［従来の技術］ 磁気ディスク装置での情報の書き込み、読み出しに用い
らねる磁気ヘッドとして、磁気コアを非磁性のスライダ
中に埋設固着した構成の浮上型複合磁気ヘットは、米国
特許３，５６２，４４４号に初めて開示された。また、
本発明者等は特開昭６１−１９９２１９号にて、磁気コ
アを非磁性スライダ中に埋設した磁気ヘッドの望ましい
形状について提案した。

このタイプの浮上型磁気ヘッドの特徴は、磁気ヘッド全
体を磁性体で構成された磁気ヘッドに比べで、磁気変換
部に所定の巻線を施した後のインダクタンスが小さく、
高周波での記録が有利になることが挙げられる。

磁気記録の高容址化の要望に従い、磁気ヘッドの小型化
、薄型化、狭トラツク化の傾向が著しいいが、小型化、
薄型化、狭トラツク化が進むほどに磁気ヘッドの記録再
生出力が小さくなるという問題が発生している。

記録再生特性の向上を図るために、例えばＶＴＲ用ヘッ
ドとして単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトを用いた磁気ヘッ
ドが、特公昭６２−１８９６８号、特開昭５５−１２５
５１９号に記載されている。

また、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトに金属磁性薄膜を成
膜した磁気ヘッドについては、例えば日本応用磁気学会
誌１３．８９−９４　（１９８９）等の研究がある。

なお、上記特公昭６２−１８９６８号は、作動ギャップ
を介して相対峙する２個の高透磁率磁性体を有し、該高
透磁率磁性体の少なくとも一方が単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェ
ライトからなり、少なくとも１個の該単結晶Ｍｎ−Ｚｎ
フェライトの（１１０）面を主磁路形成面とほぼ平行に
するとともに該（１１０）面内に存在する（１００）方
向と該作動ギャップの形成面とのなす角θが５゜〜４０
＠もしくは８０゜〜１２０°になるように構成され、且
つ少なくとも該作動ギャップの側面近傍の該高透磁率磁
性体面に、ガラス固着温度から室温まで温度を下げる場
合の収縮率が該フェライトより低いガラスを溶融付着せ
しめてなることを特徴とする磁気ヘッドに関するもので
ある。この磁気ヘッドにあっては、作動ギャップ近傍の
フェライト内に引張応力を発生させ、この引張応力の存
在によりフェライトの磁気異方性を制御して記録再生特
性を高めるものである。

また、特開昭５６−１６３５１８号は、Ｍｎ−Ｚｎフェ
ライトがＳｎＯ２を固溶したものについて特公昭６２−
１８９６８号と同様に構成した磁気ヘッドに関する。

［発明が解決しようとする課題］ 特公昭６２−１８９６８号はＶＴＲ用磁気ヘッドに関す
るものであり、本発明の如く浮上型磁気ヘッドに直ちに
通用できるものではない。

また、同号の発明は、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトに金
属磁性薄膜を配した磁気コアについて直ちに適用できる
ものではない、さらに、磁気コアを非磁性スライダ内に
埋設した浮上型複合磁気ヘッドに直ちに適用できるもの
ではない。

即ち、本発明の如き浮上型複合磁気ヘッドでは、その製
造に一次ガラスならびに二次ガラスの２種類のガラスを
使用するが、記録再生出力を向上させるためのそれぞれ
の熱膨張係数の最適範囲は全く未知のものである。

また、特公昭６２−１８９６８号においては、単結晶フ
ェライトヘッドにおける磁気的異方性の挙動を応力と関
連付けて検討されている。即ち、同公報では、フェライ
トヘッドのフェライトに引張応力を加え、逆磁走効果と
結晶磁気異方性とのバランスにより（ｉｏｏ＞方向が磁
化容易軸として明確に現われるようにし、結晶の軸の配
向を最適化している。

しかしながら、本発明のように単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェラ
イトのコア片のギャップ面に金属磁性薄膜を設けてなる
磁気コアをスライダに埋設した浮上型磁気ヘッドにおい
ては、フェライトヘッドに発生する応力が特公昭６２−
１８９６８号のものと異なる。

これを詳細に説明すると次の通りである。

第９図にフェライト、ガラス、及び金属磁性薄膜の熱膨
張曲線を示す。第９図から明らかなように、これらのう
ちでは金属磁性薄膜の熱膨張係数が最も大きい。また、
第１０．１１図には、フェライト基板上にガラスを溶解
した場合及びフェライト基板上にセンダストの薄膜を形
成したものを所定の温度で熱処理を行なった場合の変形
を模式％式％ ｉｌｏ、１１図に示す如く、ガラスとフェライトの組合
せではフェライトに引張応力が生じ、フェライトとセン
ダスト膜との組合せではフェライトに圧縮応力が生じる
。これらのことから、金属磁性薄膜をフェライトコア片
のギャップ面に設けてなる磁気ヘッドに実際に生じる応
力は、第１２図に示す通りとなる。第１２図において、
５はＩ型コア、６はＣ型コア、７はセンダスト膜、８は
接合ガラスを示す。また士は引張応力の存在を示し、−
は圧縮応力の存在を示す、第１３図は特公昭６２−１８
９６８号の磁気ヘッドの応力分布を示す。

さらに、本発明の如く磁気コアをスライダのコア装着用
スリットに収容し、この磁気コアを二次ガラスを利用し
て非磁性スライダに固着する磁気ヘッドにあっては、二
次ガラスの収縮により発生する応力も磁気コアに加えら
れる。従って、本発明の如く磁気コアをスライダに装着
した磁気ヘッドにあっては、特公昭６２−１８９６８号
や特開昭５６−１６３５１８号の磁気ヘッドと、前記角
θの好適範囲や接合用ガラスの熱膨張係数の好適範囲は
異なるはずである。

また、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトコア片に対しセンダ
ストに代表される金属磁性薄膜を設けた場合、両者の熱
膨張係数差が比較的大きいので、フェライトコア片をガ
ラスにより接合するときにフェライトコア片にクラック
が生じ易いという問題がある。

本発明の目的は、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトコア片を
備え、ギャップ部に金属磁性薄膜を配した磁気コアを有
する浮上型複合磁気ヘッドにおいて、その記録再生特性
を大幅に向上させることにある。

〔課題を解決するための手段］ 本発明の浮上型磁気ヘッドは、非磁性ギャップを介して
相対峙する一対のフェライトコア片の少なくとも一方の
対向面に金属磁性薄膜が形成されており、その一対のコ
ア片が１次ガラスにより接合された磁気コアと、前記磁
気コアを収容するスリットを有する非磁性スライダと、
前記磁気コアを前記スリット内に固着する２次ガラス部
とを有する浮上型複合磁気ヘッドに関する。

請求項１の磁気ヘッドは、前記のフェライトコア片が単
結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなり、しかもその（１１
０）面を主磁路形成面とほぼ平行にすると共に前記（１
１０）面内に存在する（１００）方向と前記非磁性ギャ
ップの形成面とのなす角θが１０゜〜２６°もしくは８
５゜〜１０１°になるように構成されていることを特徴
とする 請求項２の磁気ヘッドは、請求項１において前記角θが
１５゜〜２０″″もしくは９０”〜９５゜になるように
構成されていることを特徴とする 請求項３の磁気ヘッド、は請求項１又は２において前記
一次ガラス部が５６０〜６００℃の軟化点及び４５０〜
４９０℃の固着温度を有し、かつ３０℃〜固着温度にお
ける熱膨張係数が９３〜１１１ＸＩＣＭ’／’ｅである
ことを特徴とする請求項４の磁気ヘッドは、請求項３に
おいて請求項３において熱膨張係数が１０１〜１０８×
１０−７／℃であることを特徴とする特請求項５の磁気
ヘッドは、請求項１ないし４において前記二次ガラス部
が４２０〜４７０℃の軟化点を有し、３０℃〜２８０℃
における熱膨張係数が８２〜１００ＸＩＯ−７／℃であ
ることを特徴とする 請求項６の磁気ヘッドは、請求項５において前記熱膨張
係数が８２〜８８Ｘ１０−７／ｌ：であることを特徴と
する 請求項フの磁気ヘッドは、請求項６において前記二次ガ
ラスの組成がＳｉＯ２５，５〜１１ｗｔ％、Ｂ２０３６
〜１２ｗｔ％、ｌＱ２０３６〜８　ｗ　ｔ％、Ｚ　ｎ　
ＯＯ〜５　ｗ　ｔ％及びｐｂ。

７０．５〜７７ｗｔ％からなることを特徴とする。

［作用］ 請求項１の磁気ヘッドにおいては、作動ギャップ近傍の
フェライト内に引張応力が発生し、この引張応力の存在
によりフェライトの磁気異方性が制御され、記録再生特
性が高められる。

この請求項１の如く角θが１０゜〜２６°もしくは８５
゛〜１０１°であると、後述する図面の第５図に示す通
り記録再生特性が著しく高いものとなる。

請求項２にあっては、第５図に示す通り、記録再生特性
がさらに高いものとなる。

請求項３にあっては、作動ギャグ近傍のフェライト内に
適正範囲の引張応力を生じさせることができる。また、
金属磁性薄膜がしっかりとコア片に付着する。

請求項４にあっては、該フェライト内にさらに適切範囲
の引張応力を生じさせることができる。

請求項５にあっては、二次ガラスの引張応力が重畳する
ことにより該フェライト内に適切範囲の引張応力を生じ
させ、出力特性を高めることができる。また、ガラスの
耐食性が良いと共に、ギャップ部のゆるみも生じない。

請求項６．７にあっては、それぞれ特に好適な範囲の引
張応力を該フェライト内に生じさせることができる。

［実施例コ 本発明を添付図面を参照して以下に詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例による浮上型複合磁気ヘッド
の全体構成を示す斜視図である。工１は非磁性スライダ
、１２．１３はスライダ１１に設けられたサイトレール
、１４はサイトレール１３に設けられたスリット部、１
５はスリット部１４に埋設された磁気コア、１６はその
磁気コア１５を固着するガラス部である。なおスライダ
１１としては熱膨張係数が１０５〜１１５Ｘ１０−’／
℃、空孔率が０．５％以下のＣａＴｉＯ３からなる非磁
性セラミックを用いるのが好ましい。

第２図は磁気コア！５の拡大図である。２１．２２はそ
れぞれＭｎ−ＺｎフェライトからなるＣ型コア片及びＩ
型コア片と称される磁性体であり、２３．２３′はｌ型
コア片上に被着されたＦｅ−Ａ、Ｑ−Ｓｉ薄膜である。

２４はＣ型コア片２１とＩ型コア片２２との間に形成さ
れた巻線用の窓であり、その上部にＣ型コア２１と■型
コア片２２を接合する一次ガラス部２５が設けられてい
る。Ｍｎ−Ｚｎフェライトの好適組成範囲はＭ　ｎ　０
２６〜３２　ｍ　ｏ　１％、ＺｎＯ１４〜２１ｍｏｉ１
％、Ｆｅ２Ｏ３５ｏ〜５５ｍ０１％である。

磁気コア１５のトラック面には、トラック幅Ｔｗを規制
する切り欠き２６が形成されている。

切り欠き２６は磁気コア１５の長手方向に延在する。こ
れにより磁気ギャップ２７のトラック幅Ｔｗは任意に設
定することができる。なお、磁気ギャップ２７はスパッ
タリング等により被着されたＳｉｏ２等のギャップ規制
膜により形成されている。この磁気コアの形状は次の通
りである。

トラック幅Ｔｗ：　　１１μｍ 磁気ギャップ長さＧｆＬ：　　０．６５μｍ磁気ギャッ
プ深さＧｄ：　　３μｍ コア高さ：　８６４μｍ コア全幅：　　１２４６μｍ この磁気コアは以下のプロセスにより製造する。

まず、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトの育成インゴツトよ
り、予め定めた所定の面方位が得られるように切り出し
、さらにそれを所定の寸法に加工してＣ型コアブロック
、及び夏型コアブロックを得る。

いずれかのコアブロックに金属磁性薄膜を形成するが、
夏型コアブロックに設ける方が容易であり好ましい。金
属磁性薄膜としてはＦｅ−Ａｆｌ−Ｓｉ合金をスパッタ
リングで被着したものが好ましい。

Ｆｅ−Ａρ−Ｓｉ膜の組成としては高透磁率を得るため
、２〜１０ｗｔ％のＡ１．３〜１６ｗｔ％のＳｉ、残部
Ｆｅが好ましい、Ｆｅ−Ａｌ１−Ｓｉ膜には耐食性を向
上させる目的で微量の添加物を加えても良い。この場合
、２重量％以下のＴｉ、Ｒｕ、Ｃｒ等を単独あるいは複
合添加するのが望ましい、また、Ｆｅ−Ａｌ１−Ｓｉ膜
の被着性を良くする目的で、夏型コアブロック上に３〜
１ＯＯＡのＣｒ膜を下地膜としてスパッタリングしても
良い。Ｆｅ−Ａｊ！−５ｉ膜の厚さは磁気ヘッド特性及
びクラックの発生等の問題も考慮して決定するが、本実
施例においては２μｍとした。

次に第３図に示すように、■型コアブロック５２にＣ型
コアブロック５１を接触させ、治具５６内にセットし、
ねじ５７により締め付けて固定する。巻線窓５４中に一
次ガラスの棒５５を置いた状態で加熱し、接触界面に溶
けたガラスに流入させ、その後に冷却することにより、
両コアブロックを接合する（一次ボンデイング）。この
接合ブロックを切断し、トラック幅７ｗ規制用の切り欠
きを設けることにより磁気コアを得ることができる。

この磁気コアのスライダのスリット部への固着（二次ボ
ンディング）は次のようにして行なう。

第４図は接合した磁気コア６３をスライダ６１のスリッ
ト部６２内に設置すると共に、二次ガラスの棒６８をス
ライダ６１の上面に乗せた状態を示す部分斜視図である
。磁気コア６３の切り欠き６５はスライダの片端部６４
に向けられているので、磁気コア６３が片端部６４に押
し付けられていても、スリット部の内面との間に隙間６
７．６９が確保される。磁気コア６３の固定はバネ材６
６による仮固定で容易に達成される。二次ガラス棒６８
は二次ガラスとして磁気コア６３をスリット部６２に固
着する。二次ガラスによる固着後、磁気ヘッドの空気ベ
アリング面を研削後研摩加工し、磁気ヘットを完成する
。

前記の製造方法を基準とし、本発明を以下の具体的な実
験例により説明する。

実験例１ 次の組成及び特性を有する単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト
を用い、前記の製造方法に従い浮上型磁気ヘッドを作成
し、その記録再生特性を第６図に示した。この単結晶Ｍ
ｎ−Ｚｎフェライトの組成は、Ｍｎ０２８ｍｏｆＬ％、
ＺｎＯ１９ｍｏ１％、Ｆｅ２０２５３ｍ０Ｊ２％であり
、熱膨張係数は３０→５００℃で１２０Ｘ１０−７／℃
、３０→３００℃で１０８Ｘ１０−’／’ｅである。

また、その比透磁率μ′はＩＭＨ２で１１００〜１３０
０．５ＭＨｚで５００〜７００である。

なお、比較のために、多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトを用
いて同様にして浮上型磁気コアを作成し、その記録再生
特性を測定した。多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトの組成は
、Ｍｎ０３０ｍｏＪ２％、ＺｎＯ１５，５ｍｏＩＬ％、
Ｆｅ２０ｓ　５４．５ｍｏβ％であり、熱膨張係数は３
０−５００℃で１１２　（ｘｔｏ−’／１：）、３０→
３００℃で１２４　（ｘ　１０−’／’ｅ）である。ま
た、その比透磁率μ′はＩＭＨｚで２５４０．５ＭＨｚ
で１０５０のものを使用した。

特性測定条件は次の通りである。

媒体保磁カニ　　１２０００ｅ 周　　速：　　　９．４ｍ／ｓ 浮上量：０．１９μｍ 磁気ヘッドの巻線数：　　２６Ｘ２（ターン）測定周波
数：　　ＬＨ：ＩＭＨｚ ＩＦ　：　４ＭＨｚ また、使用したガラスの組成ならびに特性を第１表なら
びに第２表に示す。ここで、第１表における固着温度は
以下のように規定する。

１ 固着温度ＴｓｅｔｗＴｇ−（Ｔｇ−Ｔｎ）Ｔｇ：転移温
度 Ｔｈ：転移の終わる温度 第６図にその内容を詳細に示す。（以下、「ガラス工学
ハンドブック」　（朝食書店）、Ｐ５２５による。） 第６図の結果から、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトを用い
た場合には、多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトを使用した磁
気ヘッドよりも出力が向上することが判る。特に角θが
１５゜〜２６°もしくは８５゜〜１０１°を示す面方位
において最大の出力を示した。特に角θが１５゜〜２０
”もしくは９０’〜９５°であると出力がさらに高いも
のとなり、特に角θが約１８°もしくは９３°であると
最大の出力が得られる。

なお、第６図には前記特公昭６２−１８９６８号の出力
特性も併せて記入しである。角θが１０゜〜２６＠もし
くは８５＠〜１０１°の範囲にありでは、本発明の磁気
ヘッドの出力は特公昭６２−１８９６８号の出力を上回
っていることが明瞭に認められる。

軟化点Ｔｓ　　５７３℃ 固着温度Ｔｓｅｔ　　４６２℃ 熱膨張係数　（３θ→３８０℃）　９６Ｘ　ｔｏ−’／
を熱膨張係数　（３０−Ｔｓｅｔ）　ＩＱｌｘｌＯ−７
／℃：軟化点Ｔｓ　　４２８℃ 熱膨張係数　（３０→２８０℃）　９２Ｘ１Ｇ−’／を
実験例２ 一次ボンディングガラスの熱膨張係数と磁気ヘッド出力
との相関を調査するために、第３表に示した一次ガラス
を用いて磁気ヘッドを作成した。本実施例に使用した単
結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトは、実験例１と同一のもので
ある。また方位はθ＝１８°のものを使用した。二次モ
ールドガラスは、第２表のガラスを使用した。また、特
性測定条件は実験例１に準じた。

第７図に一次ボンディングガラスの熱膨張係数と磁気コ
ア加工時のガラスクラック発生率の相関を示した。また
、第８図に第３表の一次ガラスの中から特にＮｏｔ、２
．４の３　ｆＩ類のガラスを選び、それぞれのガラスを
使用した磁気ヘッドの特性を示した。

第７図からガラスクラック不良率の許容上限を１６％と
すると熱膨張係数ハｌ　１１　（Ｘ１０−’／℃）が上
限であることが判明し、許容上限を８％とすると１０８
　（ｘ　１０−’／℃）が上限であることが判明する。

また第８図から、一次ガラスの熱膨張係数が大きいほど
記録再生出力が良くなること、また第６図と比較して熱
膨張係数が９３（ｘｌＯ−７／℃）でも多結晶材の磁気
ヘッドより出力が良いことが判明する。

実験例３ 磁気ヘッドの製造工程には、ガラスボンディング等の熱
処理工程を必要とする。この熱処理温度の上限を調査す
るために以下のテストを行った。

実験例２に使用した単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトの■型
コアブロック上の磁気ギャップ及びバックギャップに相
当する位置に、ラッピングによる鏡面加工を施した後、
トリクロロエチレン煮沸し、さらにトリクロロエチレン
、アセトン、及びアルコールにて超音波洗浄を施す。さ
らにフレオン煮沸を施し、最後にフレオン蒸気で洗浄を
行った。

次に上記の■型コアブロウクの境面部にマグネトロンス
パッタ装首により、２μｍ厚のＦｅ−Ａ１１−Ｓｉ薄膜
を形成した。スパッタ条件は第４表に示した条件Ｉ又は
条件１１に従った。また、Ｆｅ−Ａ１１−Ｓｉ薄膜の組
成は、８５ｗｔ％のＦｅ、６ｗｔ％のＡｎ及び９ｗｔ％
のＳｔである。

Ｆｅ−Ａｌ１−５ｉ薄膜を形成した■型コアブロックに
６４０−７２０℃の種々の温度で３０分間の熱処理を施
し、Ｆｅ−Ａｎ−３ｔ薄膜の剥離の有無を顕微鏡により
調査した。その結果を第５表に示す。表中のＯは異常無
し、×はＦｅ−Ａｌ２−Ｓｉ薄膜の剥離等の異常が発生
したことを示す。

第５表からスパッタ条件Ｈの場合の熱処理温度の上限は
７００℃であることが判明する。請求項３において一次
ガラスの軟化点の上限を６００℃としたのは、軟化点が
６００℃を越える場合には、ボンディング温度７００℃
を越えてしまうためである。

実験例４ ２次ボンディングガラスの熱膨張係数と磁気ヘッド出力
との相関を調査するために、第６表に示した２次ガラス
を用いて磁気ヘッドを作成した。第６表の中のａ、ｂの
ガラスは、特願平１−７３３４０号にて本発明者等が提
供したガラスであり、特にガラスｂは実施例１ならびに
２において使用したガラスである。また、Ｃ〜ｈまでの
６種類のガラスが今回新たに試作したガラスである。

本実施例において使用した単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト
は、実験例２において使用したものである。また、１次
ボンディングガラスは、第７表のガラス８を使用した。

また、スライダには、熱膨張係数（３０−２８０℃）１
１２（ｘｌＯ−７／℃）のＣａＴｉＯｓを使用した。第
９表に２次ボンディング後のガラスクラック発生率を示
す。さらに、第６表の２次ガラスの中のａ、ｂ、ｄ、ｇ
の４種類を使用した磁気ヘッドについて特性測定を行っ
た。測定条件は、実験例１および２に準する。第１４図
にその結果を示す。

第１４図の結果から、２次ガラスの熱膨張係数が１００
　（Ｘ　１　（Ｍ７／ｌｌ：）より小さい場合には、実
験例１の金属磁性薄膜を付加しない磁気ヘッドよりも出
力が高いことが判明する。特に、熱膨張係数の小さいガ
ラスｄ及びｇの方が熱膨張係数の大きいガラスａ、ｂよ
り出力が高いことが判明する。また第８表の結果から熱
膨張係数が７９（ＸＩＯ−７／℃）のガラスｈではガラ
スクラックが多発することも判明する。請求項５あるい
は６の熱膨張係数の有効範囲はこれらの実験結果から決
定した。

請求項５において、軟化点の下限を４２０℃としたのは
、これより軟化点の低いガラスでは耐食性が悪いためで
ある。また、軟化点の上限を４７０℃としたのは、これ
より軟化点の高いガラスでは、２次ボンディングにおい
て、磁気コアの１次ガラス部がゆるみ、ギャップ部が広
がってしまうためである。同様に請求項３において、１
次ガラスの軟化点の下限を５６０℃としたのも、これよ
り軟化点が低いガラスを使用すると、やはり２次ボンデ
ィングにおいてギャップ部が広がってしまうためである
。また、第６表のガラスｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇの組成より
請求項７のガラス組成の範囲を定めた。

第４表　　流側３のＦｅ−＾Ｉｔ−５ｔの生　スパッタ
条件第１図 ［効果］ 請求項１によると記録再生特性がきわめて高い磁気ヘッ
ドが提供される。

請求項２〜７の磁気ヘッドは記録再生特性がさらに高い
ものとなる。特に、請求項３によると、金属磁性薄膜の
剥離が確実に防止される。請求項５．６によるとガラス
のクラック発生が確実に防止される。請求項５によると
ガラスの耐食性が良く、また磁気ギャップのゆるみもな
い。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図は磁
気コアの正面図、第３図及び第４図は磁気コアの製造説
明図、第５図、第６図第７図及び第８図は測定結果を示
すグラフ、第９図は収縮特性図、第１０図及び第１１図
は熱変形挙動図、第１２図及び第１３図は応力分布図で
ある。第１４図は測定結果を示すグラフである。 １１・・・スライダ、　　　１５・・・磁気コア、２１
・・・Ｃ型コア片、　　２２・・・■型コア片。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性ギャップを介して相対峙する一対のフェラ
   イトコア片の少なくとも一方の対向面に金属磁性薄膜が
   形成されており、その一対のコア片が一次ガラスにより
   接合された磁気コアと、前記磁気コアを収容するスリッ
   トを有する非磁性スライダと、前記磁気コアを前記スリ
   ット内に固着する二次ガラス部とを有する浮上型複合磁
   気ヘッドにおいて、前記のフェライトコア片が単結晶Ｍ
   ｎ−Ｚｎフェライトからなり、しかもその（１１０）面
   を主磁路形成面とほぼ平行にすると共に前記（１１０）
   面内に存在する〈１００〉方向と前記非磁性ギャップの
   形成面とのなす角θが１０゜〜２６゜もしくは８５゜〜
   １０１゜になるように構成されていることを特徴とする
   浮上型複合磁気ヘッド。
2. （２）請求項１において前記角θが１５゜〜２０゜もし
   くは９０゜〜９５゜になるように構成されていることを
   特徴とする浮上型複合磁気ヘッド。
3. （３）前記一次ガラス部が５６０〜６００℃の軟化点及
   び４５０〜４９０℃の固着温度を有し、かつ３０℃〜固
   着温度における熱膨張係数が９３〜１１１×１０＾−＾
   ７／℃であることを特徴とする請求項１もしくは請求項
   ２に記載の浮上型複合磁気ヘッド。
4. （４）請求項３において熱膨張係数が特に １０１〜１０８×１０＾−＾７／℃であることを特徴ヒ
   する浮上型複合磁気ヘッド。
5. （５）前記二次ガラス部が４２０〜４７０℃の軟化点を
   有し、３０℃〜２８０℃における熱膨張係数が８２〜１
   ００×１０＾−＾７／℃であることを特徴とする請求項
   １ないし４のいずれか１項に記載の浮上型複合磁気ヘッ
   ド。
6. （６）請求項５において前記熱膨張係数が特に８２〜８
   ８×１０＾−＾７／℃であることを特徴とする浮上型複
   合磁気ヘッド。
7. （７）請求項６において前記二次ガラスの組成がＳｉＯ
   ＿２５．５〜１１ｗｔ％、Ｂ＿２Ｏ＿３６〜１２ｗｔ％
   、Ａｌ＿２Ｏ＿３６〜８ｗｔ％、ＺｎＯ０〜５ｗｔ％及
   びＰｂＯ７０．５〜７７ｗｔ％からなることを特徴とす
   る浮上型複合磁気ヘッド。