JPH0317579U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0317579U JPH0317579U JP7756289U JP7756289U JPH0317579U JP H0317579 U JPH0317579 U JP H0317579U JP 7756289 U JP7756289 U JP 7756289U JP 7756289 U JP7756289 U JP 7756289U JP H0317579 U JPH0317579 U JP H0317579U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- suction collet
- collet
- probe
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１を示す断面図、第２
図は本考案の実施例２を示す断面図、第３図は従
来の半導体用Ｏ／Ｓチエツク機構を示す断面図、
第４図はミニモールドトランジスタを示す斜視図
である。 １……ミニモールドトランジスタ、２……モー
ルド部、３……吸着コレツト、４……ベース、５
……ベースプローブ、６……リード、７……プロ
ーブ、８……エアシリンダ、９……スプリング、
１０……コレツトホルダ、１１……エアチユーブ
、１２……ストツパーアーム、１３……貫通孔、
１４……コレツトストツパ。
図は本考案の実施例２を示す断面図、第３図は従
来の半導体用Ｏ／Ｓチエツク機構を示す断面図、
第４図はミニモールドトランジスタを示す斜視図
である。 １……ミニモールドトランジスタ、２……モー
ルド部、３……吸着コレツト、４……ベース、５
……ベースプローブ、６……リード、７……プロ
ーブ、８……エアシリンダ、９……スプリング、
１０……コレツトホルダ、１１……エアチユーブ
、１２……ストツパーアーム、１３……貫通孔、
１４……コレツトストツパ。
Claims (1)
- 樹脂封止半導体装置の特性選別に用いるプロー
ブユニツトにおいて、前記半導体装置のモールド
部を真空吸着する吸着コレツトと、前記吸着コレ
ツトを昇降可能に保持するコレツトホルダと、特
性選別時に前記吸着コレツトを上昇させる機構と
、前記コレツトホルダの下面に垂直に取付けられ
、対をなすプローブとの間で前記半導体装置のリ
ードに対しケルビンコンタクトを行うプローブと
を有することを特徴とする半導体用特性選別プロ
ーブユニツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7756289U JPH0317579U (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7756289U JPH0317579U (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0317579U true JPH0317579U (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=31620066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7756289U Pending JPH0317579U (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0317579U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012173003A (ja) * | 2011-02-17 | 2012-09-10 | Ueno Seiki Kk | 電子部品測定装置 |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP7756289U patent/JPH0317579U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012173003A (ja) * | 2011-02-17 | 2012-09-10 | Ueno Seiki Kk | 電子部品測定装置 |