JPH03190171A - Ccd型固体撮像素子 - Google Patents
Ccd型固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH03190171A JPH03190171A JP1322459A JP32245989A JPH03190171A JP H03190171 A JPH03190171 A JP H03190171A JP 1322459 A JP1322459 A JP 1322459A JP 32245989 A JP32245989 A JP 32245989A JP H03190171 A JPH03190171 A JP H03190171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image sensor
- state image
- vertical
- type solid
- horizontal transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はCCD型固体撮像素子に係るものであり、特に
信号電荷を上下に伝送させて画素部の上下に水平伝送C
CDを設置することによって、水平CCD間の伝送のた
めの多結晶シリコン電極なしに信号電荷を伝送し得る二
層の多結晶シリコン電極構造となっている固体撮像素子
に係るものである。
信号電荷を上下に伝送させて画素部の上下に水平伝送C
CDを設置することによって、水平CCD間の伝送のた
めの多結晶シリコン電極なしに信号電荷を伝送し得る二
層の多結晶シリコン電極構造となっている固体撮像素子
に係るものである。
従来の技術
電荷結合素子(COD (Charge Couple
d Device)型の固体撮像素子において、高解像
度を得るために多画素化が行なわれている。この場合、
水平転送部の駆動周波数が高(なって駆動回路の能力が
及ばないようになり、転送効率が落ちるようになるので
、二つの水平転送部を採用している。
d Device)型の固体撮像素子において、高解像
度を得るために多画素化が行なわれている。この場合、
水平転送部の駆動周波数が高(なって駆動回路の能力が
及ばないようになり、転送効率が落ちるようになるので
、二つの水平転送部を採用している。
第1図は従来の固体撮像素子の断面図を示したものであ
る。固体撮像素子は感光部であるホトダイオード1に入
射された光によって各画素に電荷を発生し、この電荷は
、垂直のブランキング期間に隣接設置された伝送部であ
る各垂直伝送チャンネル8に同時に移動される。伝送部
である垂直伝送チャンネル8には二つの電極2.3が設
置されており、各電極に所定のパルス電圧を印加するこ
とによって垂直伝送チャンネル8に移動された電荷が下
方向9に順次伝送される。
る。固体撮像素子は感光部であるホトダイオード1に入
射された光によって各画素に電荷を発生し、この電荷は
、垂直のブランキング期間に隣接設置された伝送部であ
る各垂直伝送チャンネル8に同時に移動される。伝送部
である垂直伝送チャンネル8には二つの電極2.3が設
置されており、各電極に所定のパルス電圧を印加するこ
とによって垂直伝送チャンネル8に移動された電荷が下
方向9に順次伝送される。
この時、下方向に移動される電荷は各垂直伝送チャンネ
ル8で並列に移動される。この間にホトダイオード1は
次の信号を蓄積する状態になる。
ル8で並列に移動される。この間にホトダイオード1は
次の信号を蓄積する状態になる。
垂直伝送チャンネル8の下方向には第1と第2水平転送
部5.6が設置されており、下方向に移動した電荷が第
1、第2水平転送部5.6に移送され、出力アンプ7を
通じて順次に第1、第2出力端子3に出力される。
部5.6が設置されており、下方向に移動した電荷が第
1、第2水平転送部5.6に移送され、出力アンプ7を
通じて順次に第1、第2出力端子3に出力される。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記従来の固体撮像素子は、水平転送部5.6
間の信号電荷を移送するために、第3多結晶シリコン電
極4が別途に必要である。従って、多結晶シリコン電極
2.3.4を3層構造にするため製造工程が複雑になり
、水平転送部5.6間の転送電極を駆動するための別途
の駆動パルスが必要になる短所がある。
間の信号電荷を移送するために、第3多結晶シリコン電
極4が別途に必要である。従って、多結晶シリコン電極
2.3.4を3層構造にするため製造工程が複雑になり
、水平転送部5.6間の転送電極を駆動するための別途
の駆動パルスが必要になる短所がある。
本発明を目的は、製造工程を簡単にすることができ、且
つ、駆動パルス数を減らし得るCCD型固体撮像素子を
提供することである。
つ、駆動パルス数を減らし得るCCD型固体撮像素子を
提供することである。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために本発明は、画素部の上下に水
平転送部を配置して垂直転送電極である第1と第2多結
晶シリコン電極を上下方向に交互に配置して、信号電荷
を転送電極なしに上下水平転送部に移送する構成から成
るものである。
平転送部を配置して垂直転送電極である第1と第2多結
晶シリコン電極を上下方向に交互に配置して、信号電荷
を転送電極なしに上下水平転送部に移送する構成から成
るものである。
実施例
以下、添付図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明
する。
する。
第2図は本発明のCCD型固体撮像素子の断面図である
。
。
同図において、水平転送部5.6を受光部の上下に各々
一つずつ形成し、垂直転送電極である第1と第2多結晶
シリコン電極2.3を同一行に上下方向に交互に配置す
る。この構成によって、奇数番目の列の垂直転送チャン
ネル8の信号電荷は、下方向9に移送されて第2水平転
送部6に転送されるようにする。そして、数番目の列の
垂直伝送チャンネル8の信号電荷は、上方向に移送され
て第1水平転送部5に転送される。
一つずつ形成し、垂直転送電極である第1と第2多結晶
シリコン電極2.3を同一行に上下方向に交互に配置す
る。この構成によって、奇数番目の列の垂直転送チャン
ネル8の信号電荷は、下方向9に移送されて第2水平転
送部6に転送されるようにする。そして、数番目の列の
垂直伝送チャンネル8の信号電荷は、上方向に移送され
て第1水平転送部5に転送される。
したがって、本発明のCCD型固体撮像素子は、水平転
送部間の信号電荷を転送するための第3多結晶シリコン
電極4なしに、第1多結晶シリコン電極2と第2多結晶
シリコン電極3に印加される同一の垂直駆動パルスによ
って、奇数番目の列の垂直転送チャンネル8の信号電荷
を下方向9に移送して第2水平転送部6に、偶数番目の
列の垂直転送チャンネル8の信号電荷を上方向10に移
送して第1水平転送部に、各々転送する。
送部間の信号電荷を転送するための第3多結晶シリコン
電極4なしに、第1多結晶シリコン電極2と第2多結晶
シリコン電極3に印加される同一の垂直駆動パルスによ
って、奇数番目の列の垂直転送チャンネル8の信号電荷
を下方向9に移送して第2水平転送部6に、偶数番目の
列の垂直転送チャンネル8の信号電荷を上方向10に移
送して第1水平転送部に、各々転送する。
発明の効果
本発明のCCD型固体撮像素子は、水平転送部間の伝送
電極が不必要であって2層の多結晶シリコン電極だけで
製作可能であるので、製造工程も簡単になって生産性を
高めることができる利点がある。
電極が不必要であって2層の多結晶シリコン電極だけで
製作可能であるので、製造工程も簡単になって生産性を
高めることができる利点がある。
さらに、水平転送部間の転送電極を駆動させるための駆
動パルスが必要ないので、駆動回路が簡単になる利点が
ある。
動パルスが必要ないので、駆動回路が簡単になる利点が
ある。
第1図は従来の二つの水平転送部を持つCCD型固体撮
像素子の平面図、 第2図は本発明のCCD型固体撮像素子の平面図である
。 1 :ホトダイオード、 2:第1多結晶シリコン電極、 3:第2多結晶シリコン電極、 4:水平転送部間の転送のための第3多結晶シリコン電
極、 5:第1水平転送部、 6:第2水平転送部、 7:出力アンプ、 8:垂直転送チャンネル、 9.10:信号電荷転送方向。 第1図 第2図
像素子の平面図、 第2図は本発明のCCD型固体撮像素子の平面図である
。 1 :ホトダイオード、 2:第1多結晶シリコン電極、 3:第2多結晶シリコン電極、 4:水平転送部間の転送のための第3多結晶シリコン電
極、 5:第1水平転送部、 6:第2水平転送部、 7:出力アンプ、 8:垂直転送チャンネル、 9.10:信号電荷転送方向。 第1図 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)二つの水平伝送CCD5、6を持つCC型固体撮像
素子において、受光部の上下に各々第1水平伝送CCD
5と第2水平伝送CCD6を構成し、 奇数番目の列の垂直伝送チャンネル8の信号電荷は上方
向10と下方向10の中の一つの方向に伝送され、偶数
番目の垂直伝送チャンネル8の信号電荷は残りの方向に
伝送されて各々上記水平伝送CCD5、6に印加される
ように構成し、 垂直伝送電極である第1と第2多結晶シリコン電極2、
3を同一行で上下方向に交代に配置されるように構成す
ることを特徴とするCCD型固体撮像素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/300,818 US5043815A (en) | 1988-01-29 | 1989-01-23 | Video signal processing device |
| JP1322459A JPH03190171A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | Ccd型固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1322459A JPH03190171A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | Ccd型固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03190171A true JPH03190171A (ja) | 1991-08-20 |
Family
ID=18143892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1322459A Pending JPH03190171A (ja) | 1988-01-29 | 1989-12-12 | Ccd型固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03190171A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004228157A (ja) * | 2003-01-20 | 2004-08-12 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135484A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Matsushita Electronics Corp | Charge transfer device |
| JPS57207486A (en) * | 1981-06-16 | 1982-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Solid-state image pickup device |
| JPS5897971A (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 固体撮像装置 |
| JPS60206169A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-10-17 | フエアチアイルド カメラ アンド インストルメント コーポレーシヨン | 単色・カラー適合性及び信号読取多様性を有するmos画像処理装置 |
| JPH01238156A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 固体撮像装置 |
-
1989
- 1989-12-12 JP JP1322459A patent/JPH03190171A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135484A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Matsushita Electronics Corp | Charge transfer device |
| JPS57207486A (en) * | 1981-06-16 | 1982-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Solid-state image pickup device |
| JPS5897971A (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 固体撮像装置 |
| JPS60206169A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-10-17 | フエアチアイルド カメラ アンド インストルメント コーポレーシヨン | 単色・カラー適合性及び信号読取多様性を有するmos画像処理装置 |
| JPH01238156A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 固体撮像装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004228157A (ja) * | 2003-01-20 | 2004-08-12 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
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